硅片盛放大花篮结构的制作方法

文档序号:17969167发布日期:2019-06-21 23:08阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅片盛放大花篮结构,其特征在于:包括相对设置的一对花篮侧板、可拆卸地连接于花篮侧板之间的支撑件、均匀分布在所述支撑件上的若干卡齿及形成于相邻卡齿之间用以收容硅片的卡槽,所述支撑件包括用以向上支撑硅片的下侧支撑件,所述下侧支撑件在上下方向上倾斜设置。

2.根据权利要求1所述的硅片盛放大花篮结构,其特征在于:一对所述花篮侧板的高度不同,所述下侧支撑件两端与花篮侧板的固定位置到对应花篮侧板顶端的距离相同,所述下侧支撑件两端与花篮侧板的固定位置到对应花篮侧板底部距离不同。

3.根据权利要求1所述的硅片盛放大花篮结构,其特征在于:每一所述支撑件两端与花篮侧板的固定位置到对应花篮侧板底部的距离的差值为2-5厘米。

4.根据权利要求2所述的硅片盛放大花篮结构,其特征在于:所述支撑件还包括位于下侧支撑件上方的上侧支撑件,所述上侧支撑件两端与花篮侧板的固定位置到对应花篮侧板顶端的距离相同,所述上侧支撑件两端与花篮侧板的固定位置到对应花篮侧板底部距离不同。

5.根据权利要求4所述的硅片盛放大花篮结构,其特征在于:所述上侧支撑件上的卡齿的延伸方向垂直于所述下侧支撑件上的卡齿的延伸方向。

6.根据权利要求2所述的硅片盛放大花篮结构,其特征在于:每一支撑件上的所述卡齿的延伸方向均垂直于该支撑件的延伸方向。

7.根据权利要求2所述的硅片盛放大花篮结构,其特征在于:所述卡齿为圆锥形结构。

8.根据权利要求7所述的硅片盛放大花篮结构,其特征在于:所述卡齿圆锥形结构的中心轴所在方向垂直于所述支撑件的延伸方向。

9.根据权利要求7所述的硅片盛放大花篮结构,其特征在于:所述卡齿圆锥形结构的高度不小于所述卡齿圆锥形结构的底面直径的1.5倍。

10.根据权利要求1所述的硅片盛放大花篮结构,其特征在于:所述花篮侧板上设置有若干镂空孔。

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