芯片散热结构、芯片结构、电路板和超算设备的制作方法

文档序号:18020705发布日期:2019-06-26 01:13阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种芯片散热结构,设置在芯片上,其特征在于,所述芯片散热结构包括:覆盖在所述芯片的晶圆上的镀层;

其中,所述镀层包括依次设置的第一金属层、第二金属层和第三金属层。

2.根据权利要求1所述的芯片散热结构,其特征在于,所述芯片散热结构还包括:与所述镀层连接的散热器。

3.根据权利要求1所述的芯片散热结构,其特征在于,所述第一金属层覆盖在所述晶圆上,所述第二金属层覆盖在所述第一金属层上,所述第三金属层覆盖在所述第二金属层上。

4.根据权利要求1所述的芯片散热结构,其特征在于,所述芯片包括所述晶圆和塑封结构,所述晶圆的上表面裸露。

5.根据权利要求1所述的芯片散热结构,其特征在于,所述镀层的面积与所述晶圆的上表面的面积相同。

6.根据权利要求1-5任一项所述的芯片散热结构,其特征在于,所述第一金属层为钛金属层。

7.根据权利要求6所述的芯片散热结构,其特征在于,所述第一金属层的厚度为1000埃。

8.根据权利要求1-5任一项所述的芯片散热结构,其特征在于,所述第二金属层为镍钒合金金属层。

9.根据权利要求8所述的芯片散热结构,其特征在于,所述第二金属层的厚度为3500埃。

10.根据权利要求1-5任一项所述的芯片散热结构,其特征在于,所述第三金属层由金制成的。

11.根据权利要求10所述的芯片散热结构,其特征在于,所述第三金属层的厚度为1000埃。

12.根据权利要求1-5任一项所述的芯片散热结构,其特征在于,所述第一金属层的面积、所述第二金属层的面积和所述第三金属层的面积三者相同。

13.根据权利要求2所述的芯片散热结构,其特征在于,所述散热器通过焊料层焊接在所述镀层上。

14.根据权利要求13所述的芯片散热结构,其特征在于,所述焊料层中的焊料为锡。

15.根据权利要求14所述的芯片散热结构,其特征在于,所述焊料层的厚度为0.1-0.15毫米。

16.根据权利要求13所述的芯片散热结构,其特征在于,所述焊料层的面积与所述镀层的面积相同,或者,所述焊料层的面积与所述散热器的下表面的面积相同。

17.根据权利要求4所述的芯片散热结构,其特征在于,所述镀层的上表面与所述塑封结构的上表面齐平,或者,所述镀层的下表面与所述塑封结构的上表面齐平。

18.一种芯片结构,其特征在于,包括芯片本体以及设置在所述芯片本体上的如权利要求1-17任一项所述的芯片散热结构。

19.一种电路板,其特征在于,所述电路板上设置有至少一个如权利要求18所述的芯片结构。

20.一种超算设备,其特征在于,所述超算设备中设置有至少一个如权利要求19所述的电路板。

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