技术特征：
技术总结
本发明实施例公开了一种表面检测装置、系统及方法。该表面检测装置包括：沿光线传播路径依次排列的光发射模块、反射模块和散射光探测回路；光发射模块用于发射第一激光光束和第二激光光束；反射模块包括反射转鼓和反射镜；散射光探测回路用于接收第一激光光束经过反射转鼓的反射并以第一方向投射到被测物体的表面后散射的第一散射光束，以及接收第二激光光束依次经过反射转鼓和反射镜的反射并以第二方向投射到被测物体的表面后散射的第二散射光束；其中，第一方向与被测物体的表面法向的夹角为A，0＜A＜90°；第二方向垂直于被测物体的表面。本发明实施例提供的表面检测装置，可以实现提高检测效率的效果。
技术研发人员：刘亮;李仲禹
受保护的技术使用者：上海精测半导体技术有限公司
技术研发日：2019.04.16
技术公布日：2019.06.25