1.一种叠层电感的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：
在外延片表面沉积源级和漏级金属；
涂布第一光阻，进行增强型栅极底部及电感第一金属层底部光刻工艺；
涂布第二光阻，进行增强型栅极顶部及电感第一金属层顶部光刻工艺；
沉积金属，形成增强型栅极和电感第一金属层；
对增强型栅极和电感第一金属层进行钝化工艺，形成第一钝化层；
对耗尽型栅极及与电感第二金属层连接处的氮化物的第一钝化层进行蚀刻开口；
涂布第三光阻，进行耗尽型栅极及电感第二金属层光刻工艺；
沉积金属，形成耗尽型栅极和电感第二金属层，电感第二金属层在电感第一金属层上。
2.根据权利要求1所述的一种叠层电感的制作方法，其特征在于，还包括步骤：
对耗尽型栅极和电感第二金属层进行钝化工艺，形成第二钝化层；
对源漏级及与电感第三金属层连接处的第二钝化层进行蚀刻开口；
涂布第四光阻，进行源漏级第一金属连线及电感第三金属层光刻工艺；
沉积金属，形成源漏级第一金属连线及电感第三金属层。
3.根据权利要求1所述的一种叠层电感的制作方法，其特征在于，还包括如下步骤：
进行钝化层覆盖隔离工艺，形成第三钝化层；
对源漏级第二金属连线及与电感第四金属层连接位置的第三钝化层进行蚀刻开口；
涂布第五光阻，进行源漏级第二金属连线及电感第四金属层光刻工艺；
沉积金属，形成源漏级第二金属连线及电感第四金属层。
4.根据权利要求3所述的一种叠层电感的制作方法，其特征在于：第三钝化层蚀刻开口后还包括步骤：平坦化工艺，形成平坦层。
5.根据权利要求1所述的一种叠层电感的制作方法，其特征在于，第一钝化层为氮化物层。
6.根据权利要求1所述的一种叠层电感的制作方法，其特征在于，电感第一金属层为具有缺口的圆环形金属层。
7.一种器件，其特征在于：所述器件由权利要求1到6任意一项所述的一种叠层电感的制作方法制得。