1.一种挡液板结构,适用于一湿式蚀刻机,该挡液板结构(10)包括有一第一挡板(11)、一与该第一挡板(11)接合的第二挡板(12),以及一与该第二挡板(12)接合的第三挡板(13),其特征在于:该第二挡板(12)具有复数个贯穿该第二挡板(12)且错位设置的宣泄孔(121)。
2.如权利要求1所述的挡液板结构,其特征在于,该第一挡板(11)与该第二挡板(12)呈正交设置,且该第二挡板(12)与该第三挡板(13)呈正交设置。
3.如权利要求1所述的挡液板结构,其特征在于,该第一挡板(11)、该第二挡板(12)与该第三挡板(13)围设成一凹槽的态样。
4.如权利要求1所述的挡液板结构,其特征在于,该第二挡板(12)的一长度(h)介于10厘米至15厘米之间。
5.如权利要求1所述的挡液板结构,其特征在于,该宣泄孔(121)的一孔径(a0)小于3毫米。
6.如权利要求1所述的挡液板结构,其特征在于,该宣泄孔(121)为千鸟排列或矩阵排列其中之一。
7.如权利要求5所述的挡液板结构,其特征在于,该宣泄孔(121)为直通孔或斜锥孔其中之一态样或两者的混合。
8.如权利要求7所述的挡液板结构,其特征在于,该宣泄孔(121)具有一第一壁面(1211),以及一第二壁面(1212),且该第二挡板(12)具有一下表面(122),当该宣泄孔(121)为斜锥孔态样时,该第一壁面(1211)与该下表面(122)的一第一夹角(θ1)不同于该第二壁面(1212)与该下表面(122)的一第二夹角(θ2)。
9.如权利要求7所述的挡液板结构,其特征在于,当该宣泄孔(121)为斜锥孔态样时,该宣泄孔(121)的一上孔径(a1)与一下孔径(a2)不相等。
10.如权利要求7所述的挡液板结构,其特征在于,当该宣泄孔(121)为斜锥孔态样时,该宣泄孔(121)的一上孔径(a1)小于一下孔径(a2)。
11.如权利要求8所述的挡液板结构,其特征在于,当该宣泄孔(121)为斜锥孔态样时,该宣泄孔(121)由该第二挡板(12)的下表面(122)朝向一上表面(123)的方向渐缩。
12.一种蚀刻设备,设置于一湿式蚀刻机的一槽体内,其特征在于,该蚀刻设备(1)至少包括有:
一如权利要求1至11中任一所述的挡液板结构(10);
一基板(20),设置于该挡液板结构(10)的下方;
一输送装置(30),设置于该基板(20)的下方,该输送装置(30)包括有至少一滚轮(31),其中该滚轮(31)与该基板(20)接触以运行该基板(20);以及
一风刀装置(40),设置于该挡液板结构(10)的一端部,该风刀装置(40)包括有一设置于该基板(20)上方的第一风刀(41),以及一设置于该基板(20)下方的第二风刀(42),其中该第一风刀(41)与该第二风刀(42)分别吹出一气体(43)至该基板(20)。
13.如权利要求12所述的蚀刻设备,其特征在于,该蚀刻设备(1)设置有一喷洒装置(50),该喷洒装置(50)相对于该风刀装置(40)一端而设置于该挡液板结构(10)的另一端部。
14.如权利要求13所述的蚀刻设备,其特征在于,该喷洒装置(50)喷洒一药液(51)至该基板(20)上。
15.如权利要求12所述的蚀刻设备,其特征在于,该挡液板结构(10)与该基板(20)的垂直距离介于8毫米至15毫米之间。
16.如权利要求13所述的蚀刻设备,其特征在于,该滚轮(31)呈顺时针方向转动,并带动该基板(20)由喷洒装置(50)下端部朝向该风刀装置(40)的该第一风刀(41)下端部的方向移动。
17.如权利要求12所述的蚀刻设备,其特征在于,该气体(43)远离该第一风刀(41)与该第二风刀(42)的方向分别与该基板(20)的法线方向夹设有一第三夹角(θ3)。
18.如权利要求17所述的蚀刻设备,其特征在于,该第三夹角(θ3)介于20度至35度之间。
19.一种蚀刻方法,于一湿式蚀刻机的一槽体内运行,其特征在于,该蚀刻方法包括有下列步骤:
步骤一(s1):设置一挡液板结构(10),其中该挡液板结构(10)设置有复数个宣泄孔(121);
步骤二(s2):使用一设置于该挡液板结构(10)下方的输送装置(30)输送一基板(20),以经过一喷洒装置(50)进行一药液(51)喷洒;
步骤三(s3):使用一设置于该挡液板结构(10)下方的风刀装置(40)对该基板(20)吹出一气体(43),以使该基板(20)干燥;以及
步骤四(s4):该气体(43)经由该复数个宣泄孔(121)宣泄。
20.如权利要求19所述的蚀刻方法,其特征在于,该输送装置(30)借由至少一呈顺时针方向转动的滚轮(31)带动该基板(20)由该喷洒装置(50)下端部朝向该风刀装置(40)的第一风刀(41)下端部的方向移动。
21.如权利要求19所述的蚀刻方法,其特征在于,该风刀装置(40)分别借由一设置于该输送装置(30)的上端部的第一风刀(41)与一设置于该输送装置(30)的下端部的第二风刀(42)朝向该基板(20)的上表面(123)与下表面(122)吹送该气体(43)。