挡液板结构与以之制备的蚀刻设备及蚀刻方法与流程

文档序号:25544104发布日期:2021-06-18 20:44阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种挡液板结构,适用于一湿式蚀刻机,该挡液板结构(10)包括有一第一挡板(11)、一与该第一挡板(11)接合的第二挡板(12),以及一与该第二挡板(12)接合的第三挡板(13),其特征在于:该第二挡板(12)具有复数个贯穿该第二挡板(12)且错位设置的宣泄孔(121)。

2.如权利要求1所述的挡液板结构,其特征在于,该第一挡板(11)与该第二挡板(12)呈正交设置,且该第二挡板(12)与该第三挡板(13)呈正交设置。

3.如权利要求1所述的挡液板结构,其特征在于,该第一挡板(11)、该第二挡板(12)与该第三挡板(13)围设成一凹槽的态样。

4.如权利要求1所述的挡液板结构,其特征在于,该第二挡板(12)的一长度(h)介于10厘米至15厘米之间。

5.如权利要求1所述的挡液板结构,其特征在于,该宣泄孔(121)的一孔径(a0)小于3毫米。

6.如权利要求1所述的挡液板结构,其特征在于,该宣泄孔(121)为千鸟排列或矩阵排列其中之一。

7.如权利要求5所述的挡液板结构,其特征在于,该宣泄孔(121)为直通孔或斜锥孔其中之一态样或两者的混合。

8.如权利要求7所述的挡液板结构,其特征在于,该宣泄孔(121)具有一第一壁面(1211),以及一第二壁面(1212),且该第二挡板(12)具有一下表面(122),当该宣泄孔(121)为斜锥孔态样时,该第一壁面(1211)与该下表面(122)的一第一夹角(θ1)不同于该第二壁面(1212)与该下表面(122)的一第二夹角(θ2)。

9.如权利要求7所述的挡液板结构,其特征在于,当该宣泄孔(121)为斜锥孔态样时,该宣泄孔(121)的一上孔径(a1)与一下孔径(a2)不相等。

10.如权利要求7所述的挡液板结构,其特征在于,当该宣泄孔(121)为斜锥孔态样时,该宣泄孔(121)的一上孔径(a1)小于一下孔径(a2)。

11.如权利要求8所述的挡液板结构,其特征在于,当该宣泄孔(121)为斜锥孔态样时,该宣泄孔(121)由该第二挡板(12)的下表面(122)朝向一上表面(123)的方向渐缩。

12.一种蚀刻设备,设置于一湿式蚀刻机的一槽体内,其特征在于,该蚀刻设备(1)至少包括有:

一如权利要求1至11中任一所述的挡液板结构(10);

一基板(20),设置于该挡液板结构(10)的下方;

一输送装置(30),设置于该基板(20)的下方,该输送装置(30)包括有至少一滚轮(31),其中该滚轮(31)与该基板(20)接触以运行该基板(20);以及

一风刀装置(40),设置于该挡液板结构(10)的一端部,该风刀装置(40)包括有一设置于该基板(20)上方的第一风刀(41),以及一设置于该基板(20)下方的第二风刀(42),其中该第一风刀(41)与该第二风刀(42)分别吹出一气体(43)至该基板(20)。

13.如权利要求12所述的蚀刻设备,其特征在于,该蚀刻设备(1)设置有一喷洒装置(50),该喷洒装置(50)相对于该风刀装置(40)一端而设置于该挡液板结构(10)的另一端部。

14.如权利要求13所述的蚀刻设备,其特征在于,该喷洒装置(50)喷洒一药液(51)至该基板(20)上。

15.如权利要求12所述的蚀刻设备,其特征在于,该挡液板结构(10)与该基板(20)的垂直距离介于8毫米至15毫米之间。

16.如权利要求13所述的蚀刻设备,其特征在于,该滚轮(31)呈顺时针方向转动,并带动该基板(20)由喷洒装置(50)下端部朝向该风刀装置(40)的该第一风刀(41)下端部的方向移动。

17.如权利要求12所述的蚀刻设备,其特征在于,该气体(43)远离该第一风刀(41)与该第二风刀(42)的方向分别与该基板(20)的法线方向夹设有一第三夹角(θ3)。

18.如权利要求17所述的蚀刻设备,其特征在于,该第三夹角(θ3)介于20度至35度之间。

19.一种蚀刻方法,于一湿式蚀刻机的一槽体内运行,其特征在于,该蚀刻方法包括有下列步骤:

步骤一(s1):设置一挡液板结构(10),其中该挡液板结构(10)设置有复数个宣泄孔(121);

步骤二(s2):使用一设置于该挡液板结构(10)下方的输送装置(30)输送一基板(20),以经过一喷洒装置(50)进行一药液(51)喷洒;

步骤三(s3):使用一设置于该挡液板结构(10)下方的风刀装置(40)对该基板(20)吹出一气体(43),以使该基板(20)干燥;以及

步骤四(s4):该气体(43)经由该复数个宣泄孔(121)宣泄。

20.如权利要求19所述的蚀刻方法,其特征在于,该输送装置(30)借由至少一呈顺时针方向转动的滚轮(31)带动该基板(20)由该喷洒装置(50)下端部朝向该风刀装置(40)的第一风刀(41)下端部的方向移动。

21.如权利要求19所述的蚀刻方法,其特征在于,该风刀装置(40)分别借由一设置于该输送装置(30)的上端部的第一风刀(41)与一设置于该输送装置(30)的下端部的第二风刀(42)朝向该基板(20)的上表面(123)与下表面(122)吹送该气体(43)。


技术总结
本发明有关于一种挡液板结构与以之制备的蚀刻设备及蚀刻方法,是一种适用于湿式蚀刻机的挡液排液功能且增加其透气性以降低产品损耗的挡液板结构与以之制备的蚀刻设备,以及蚀刻方法;本发明主要借由具有复数个宣泄孔的挡液板结构搭配风刀装置的设计,有效使风刀装置吹出的气体得以经由宣泄孔宣泄,并利用水滴的表面张力现象防止水滴由宣泄孔落下造成基板显影不均等异常现象,确实达到保有原始挡液板的挡液效果,以及增加透气性以破除真空以减少因真空吸板导致的基板刮伤或破片风险等主要优势。

技术研发人员:邱显炜;郑宇轩;李宗荣
受保护的技术使用者:亚智科技股份有限公司
技术研发日:2019.12.13
技术公布日:2021.06.18
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