一种晶圆装载设备的制作方法

文档序号:20197069发布日期:2020-03-27 20:15阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种晶圆装载设备,其结构包括输送台(1)、装载架(2)、晶圆(3)、立板(4)、数目检测装置(5)、顶板(6),所述输送台(1)上设有装载架(2),所述装载架(2)内设有晶圆(3),所述顶板(6)设在输送台(1)上方并通过立板(4)与输送台(1)相连接,其特征在于:

所述数目检测装置(5)安装在顶板(6)上,所述数目检测装置(5)包括卷动结构(7)、顶升结构(8),所述顶升结构(8)安装在顶板(6)底部,所述卷动结构(7)安装在顶板(6)顶部,所述顶升结构(8)与卷动结构(7)相连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆装载设备,其特征在于:所述顶升结构(8)包括滚轮(80)、轮架(81)、弹力板(82)、弹簧(83)、固定架(84)、限位板(85)、弹簧杆(86),所述固定架(84)为u形且两端与顶板(6)垂直连接,所述弹簧杆(86)贯穿固定架(84)中间,所述弹簧杆(86)顶部与限位板(85)相连接,所述弹簧杆(86)底部与弹力板(82)垂直连接,所述弹力板(82)底部连接有轮架(81),所述轮架(81)上安装有滚轮(80),所述弹簧杆(86)外套设有弹簧(83),所述弹簧(83)设在弹力板(82)与固定架(84)之间。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆装载设备,其特征在于:所述卷动结构(7)包括放卷结构(70)、卷尺(71)、启动结构(72),所述放卷结构(70)设在启动结构(72)侧面且两者之间通过卷尺(71)传动连接。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆装载设备,其特征在于:所述放卷结构(70)包括放卷盘(701)、固定轴(702)、弹簧发条(703)、轴支架(704),所述固定轴(702)通过轴支架(704)固定在顶板(6)上,所述放卷盘(701)中间设有通孔,固定轴(702)贯穿通孔,所述放卷盘(701)通过弹簧发条(703)与固定轴(702)相连接。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆装载设备,其特征在于:所述启动结构(72)包括转盘(720)、推动爪(721)、顶杆(722)、棘爪(723)、支杆(724)、支撑轴(725)、棘轮(726),所述支撑轴(725)通过支杆(724)固定在顶板(6)上,所述支撑轴(725)上安装有转盘(720)、棘轮(726),所述转盘(720)与棘轮(726)相连接,所述棘轮(726)下方设有与之相配合的棘爪(723),所述推动爪(721)设在棘轮(726)侧面安装在顶杆(722)顶部,所述顶杆(722)底部贯穿顶板(6)与限位板(85)相连接。

6.根据权利要求3所述的一种晶圆装载设备,其特征在于:所述转盘(720)的左侧设有指针(727),所述指针(727)通过立杆固定在顶板(6)上。

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