一种晶圆装载设备的制作方法

本发明涉及晶圆检测设备领域，具体地说是一种晶圆装载设备。

背景技术：

在集成电路前道制造工艺中，需要使用到晶圆扫描映射系统对晶圆的片数进行扫描映射，从而便于抓取晶圆进行后续的处理，以及对晶圆信息的统计。

现有技术采用扫描映射均需要通过电力供应，一旦断电，无法进行工作，且采用传感器，在使用时容易出现故障，出现误报的现象。

技术实现要素：

本发明的主要目的在于克服现有技术的不足，提供一种晶圆装载设备。

本发明采用如下技术方案来实现：一种晶圆装载设备，其结构包括输送台、装载架、晶圆、立板、数目检测装置、顶板，所述输送台上设有装载架，所述装载架内设有晶圆，所述顶板设在输送台上方并通过立板与输送台相连接，所述数目检测装置安装在顶板上，所述数目检测装置包括卷动结构、顶升结构，所述顶升结构安装在顶板底部，所述卷动结构安装在顶板顶部，所述顶升结构与卷动结构相连接。

作为优化，所述顶升结构包括滚轮、轮架、弹力板、弹簧、固定架、限位板、弹簧杆，所述固定架为u形且两端与顶板垂直连接，所述弹簧杆贯穿固定架中间，所述弹簧杆顶部与限位板相连接，所述弹簧杆底部与弹力板垂直连接，所述弹力板底部连接有轮架，所述轮架上安装有滚轮，所述弹簧杆外套设有弹簧，所述弹簧设在弹力板与固定架之间。

作为优化，所述卷动结构包括放卷结构、卷尺、启动结构，所述放卷结构设在启动结构侧面且两者之间通过卷尺传动连接。

作为优化，所述放卷结构包括放卷盘、固定轴、弹簧发条、轴支架，所述固定轴通过轴支架固定在顶板上，所述放卷盘中间设有通孔，固定轴贯穿通孔，所述放卷盘通过弹簧发条与固定轴相连接。

作为优化，所述启动结构包括转盘、推动爪、顶杆、棘爪、支杆、支撑轴、棘轮，所述支撑轴通过支杆固定在顶板上，所述支撑轴上安装有转盘、棘轮，所述转盘与棘轮相连接，所述棘轮下方设有与之相配合的棘爪，所述推动爪设在棘轮侧面安装在顶杆顶部，所述顶杆底部贯穿顶板与限位板相连接。

作为优化，所述转盘的左侧设有指针，所述指针通过立杆固定在顶板上。

作为优化，所述滚轮的外圈为硅胶材质。

有益效果

工作原理：装载架在输送台上移动，而装载架的每片晶圆经过顶升结构时都会将顶升结构向上顶，上顶的次数就是晶圆的片数，而顶升结构上顶会带动卷动结构进行传动，每次传动都能够拉动卷尺移动1cm，从而通过厘米数来确定晶圆的片数。

因为固定架固定，弹簧会将滚轮下压，而晶圆顶部高于滚轮最低处，因此在晶圆经过时便会将滚轮向上顶，而滚动的设计防止对晶圆造成磨损，上顶便会使限位板上升。

因为限位板与顶杆连接，因此会带动推动爪向上移动，从而推动棘轮旋转，同时转盘旋转对卷尺进行收卷，因为放卷盘与固定轴通过弹簧发条连接，因此棘爪的设置能防止棘轮回旋，使转盘进行单向旋转，便于每次上顶都能够持续进行对卷尺进行收卷，而每次收卷时指针指向的位置所移动的距离为1cm。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：通过每片晶圆经过时都会将顶升机构上顶来获得动力，使卷尺移动1cm，通过厘米数能够得知晶圆的片数，通过全程机械传动进行工作，更加稳定可靠。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本发明一种晶圆装载设备的结构示意图。

图2为本发明顶升结构的结构示意图。

图3为本发明卷动结构的结构示意图。

图中：输送台1、装载架2、晶圆3、立板4、数目检测装置5、顶板6、卷动结构7、顶升结构8、滚轮80、轮架81、弹力板82、弹簧83、固定架84、限位板85、弹簧杆86、放卷结构70、卷尺71、启动结构72、放卷盘701、固定轴702、弹簧发条703、轴支架704、转盘720、推动爪721、顶杆722、棘爪723、支杆724、支撑轴725、棘轮726、指针727。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1

请参阅图1，本发明提供一种晶圆装载设备技术方案：其结构包括输送台1、装载架2、晶圆3、立板4、数目检测装置5、顶板6，所述输送台1上设有装载架2，所述装载架2内设有晶圆3，所述顶板6设在输送台1上方并通过立板4与输送台1相连接，所述数目检测装置5安装在顶板6上，所述数目检测装置5包括卷动结构7、顶升结构8，所述顶升结构8安装在顶板6底部，所述卷动结构7安装在顶板6顶部，所述顶升结构8与卷动结构7相连接。

实施例2

请参阅图1-3，本发明提供一种晶圆装载设备技术方案：其结构包括输送台1、装载架2、晶圆3、立板4、数目检测装置5、顶板6，所述输送台1上设有装载架2，所述装载架2内设有晶圆3，所述顶板6设在输送台1上方并通过立板4与输送台1相连接，所述数目检测装置5安装在顶板6上，所述数目检测装置5包括卷动结构7、顶升结构8，所述顶升结构8安装在顶板6底部，所述卷动结构7安装在顶板6顶部，所述顶升结构8与卷动结构7相连接。

所述顶升结构8包括滚轮80、轮架81、弹力板82、弹簧83、固定架84、限位板85、弹簧杆86，所述固定架84为u形且两端与顶板6垂直连接，所述弹簧杆86贯穿固定架84中间，所述弹簧杆86顶部与限位板85相连接，所述弹簧杆86底部与弹力板82垂直连接，所述弹力板82底部连接有轮架81，所述轮架81上安装有滚轮80，所述弹簧杆86外套设有弹簧83，所述弹簧83设在弹力板82与固定架84之间，限位板85能够对滚轮80的最低处进行限定。

所述卷动结构7包括放卷结构70、卷尺71、启动结构72，所述放卷结构70设在启动结构72侧面且两者之间通过卷尺71传动连接，卷尺71每移动1厘米就代表一个晶圆经过。

所述放卷结构70包括放卷盘701、固定轴702、弹簧发条703、轴支架704，所述固定轴702通过轴支架704固定在顶板6上，所述放卷盘701中间设有通孔，固定轴702贯穿通孔，所述放卷盘701通过弹簧发条703与固定轴702相连接，弹簧发条703能够将放卷盘701往回拉，从而对卷尺71提供张紧的作用。

所述启动结构72包括转盘720、推动爪721、顶杆722、棘爪723、支杆724、支撑轴725、棘轮726，所述支撑轴725通过支杆724固定在顶板6上，所述支撑轴725上安装有转盘720、棘轮726，所述转盘720与棘轮726相连接，所述棘轮726下方设有与之相配合的棘爪723，所述推动爪721设在棘轮726侧面安装在顶杆722顶部，所述顶杆722底部贯穿顶板6与限位板85相连接，棘爪723能够防止棘轮726回旋。

所述转盘720的左侧设有指针727，所述指针727通过立杆固定在顶板6上，指针727能够确定起点，指针727一开始的位置为0，便于进行计算。

所述滚轮80的外圈为硅胶材质，减少对晶圆3的磨损。

工作原理：装载架2在输送台1上移动，而装载架2的每片晶圆3经过顶升结构8时都会将顶升结构8向上顶，上顶的次数就是晶圆的片数，而顶升结构8上顶会带动卷动结构7进行传动，每次传动都能够拉动卷尺71移动1cm，从而通过厘米数来确定晶圆的片数。

因为固定架84固定，弹簧83会将滚轮80下压，而晶圆3顶部高于滚轮80最低处，因此在晶圆3经过时便会将滚轮80向上顶，而滚动的设计防止对晶圆3造成磨损，上顶便会使限位板85上升。

因为限位板85与顶杆722连接，因此会带动推动爪721向上移动，从而推动棘轮726旋转，同时转盘720旋转对卷尺71进行收卷，因为放卷盘701与固定轴702通过弹簧发条703连接，因此棘爪723的设置能防止棘轮726回旋，使转盘720进行单向旋转，便于每次上顶都能够持续进行对卷尺71进行收卷，而每次收卷时指针727指向的位置所移动的距离为1cm。

本发明相对现有技术获得的技术进步是：通过每片晶圆经过时都会将顶升机构上顶来获得动力，使卷尺移动1cm，通过厘米数能够得知晶圆的片数，通过全程机械传动进行工作，更加稳定可靠。

尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。