技术总结
本发明公开了一种晶圆装载设备，其结构包括输送台、装载架、晶圆、立板、数目检测装置、顶板，输送台上设有装载架，装载架内设有晶圆，顶板设在输送台上方并通过立板与输送台相连接，数目检测装置安装在顶板上，数目检测装置包括卷动结构、顶升结构，顶升结构安装在顶板底部，卷动结构安装在顶板顶部，顶升结构与卷动结构相连接，本发明的有益效果是：通过每片晶圆经过时都会将顶升机构上顶来获得动力，使卷尺移动1cm，通过厘米数能够得知晶圆的片数，通过全程机械传动进行工作，更加稳定可靠。
技术研发人员：陈娅雄
受保护的技术使用者：南安富诚阁工业设计有限公司
技术研发日：2019.12.23
技术公布日：2020.03.27