1.一种硅片腐蚀工艺固定载具,其中,包括:
载具主体;
第一固定单元,所述第一固定单元具有凹口;
至少二调整固定件,所述调整固定件处于相对方向,所述调整固定件的相对端面朝向所述载具主体的中心,所述调整固定件连接所述载具主体与所述第一固定单元,其中一个所述调整固定件具有正螺纹,另一个所述调整固定件具有逆螺纹,所述调整固定件还具有:
延伸件;
滑件,所述滑件连接所述延伸件;
传导件,所述传导件具有:
伸缩口,所述延伸件位于所述伸缩口中,所述伸缩口具有滑槽,所述滑槽连接所述滑件。
2.根据权利要求1所述硅片腐蚀工艺固定载具,其中,所述凹口为V形。
3.根据权利要求1所述硅片腐蚀工艺固定载具,其中,所述凹口具有弹性。
4.根据权利要求1所述硅片腐蚀工艺固定载具,其中,所述延伸件为圆柱形。
5.根据权利要求1所述硅片腐蚀工艺固定载具,其中,所述伸缩口为圆柱形。
6.根据权利要求1所述硅片腐蚀工艺固定载具,其中,所述硅片腐蚀工艺固定载具还包括:
第二固定单元,所述第二固定单元连接所述载具主体,所述第二固定单元与所述载具主体的连接处具有轴承,所述第二固定单元具有:
容纳空间;
锁件,所述锁件位于所述容纳空间中,所述锁件具有导向面与定位槽。
7.根据权利要求1所述硅片腐蚀工艺固定载具,其中,所述载具主体还包括:
转件,所述转件连接所述第一固定单元;
凸件,所述凸件连接所述转件。
8.根据权利要求6所述硅片腐蚀工艺固定载具,其中,所述第二固定单元还具有:
按钮;
弹性件,所述弹性件连接所述按钮;
拉绳,所述拉绳一端连接所述按钮,所述拉绳另一端连接所述锁件。
9.根据权利要求6所述硅片腐蚀工艺固定载具,其中,所述第二固定单元还具有转轴。
10.根据权利要求6所述硅片腐蚀工艺固定载具,其中,所述锁件还具有锁定口。
11.根据权利要求6所述硅片腐蚀工艺固定载具,其中,所述第二固定单元还具有卡件,所述卡件活动连接在所述第二固定单元中,所述卡件与所述第二固定单元的连接处具有偏压弹件,所述卡件一端位于所述容纳空间内,所述卡件另一端为施力部。
12.根据权利要求11所述硅片腐蚀工艺固定载具,其中,所述卡件位于所述容纳空间内的一端形状为弧形。