一种硅片腐蚀工艺固定载具的制作方法

文档序号:18439990发布日期:2019-08-16 21:54阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅片腐蚀工艺固定载具,其中,包括:

载具主体;

第一固定单元,所述第一固定单元具有凹口;

至少二调整固定件,所述调整固定件处于相对方向,所述调整固定件的相对端面朝向所述载具主体的中心,所述调整固定件连接所述载具主体与所述第一固定单元,其中一个所述调整固定件具有正螺纹,另一个所述调整固定件具有逆螺纹,所述调整固定件还具有:

延伸件;

滑件,所述滑件连接所述延伸件;

传导件,所述传导件具有:

伸缩口,所述延伸件位于所述伸缩口中,所述伸缩口具有滑槽,所述滑槽连接所述滑件。

2.根据权利要求1所述硅片腐蚀工艺固定载具,其中,所述凹口为V形。

3.根据权利要求1所述硅片腐蚀工艺固定载具,其中,所述凹口具有弹性。

4.根据权利要求1所述硅片腐蚀工艺固定载具,其中,所述延伸件为圆柱形。

5.根据权利要求1所述硅片腐蚀工艺固定载具,其中,所述伸缩口为圆柱形。

6.根据权利要求1所述硅片腐蚀工艺固定载具,其中,所述硅片腐蚀工艺固定载具还包括:

第二固定单元,所述第二固定单元连接所述载具主体,所述第二固定单元与所述载具主体的连接处具有轴承,所述第二固定单元具有:

容纳空间;

锁件,所述锁件位于所述容纳空间中,所述锁件具有导向面与定位槽。

7.根据权利要求1所述硅片腐蚀工艺固定载具,其中,所述载具主体还包括:

转件,所述转件连接所述第一固定单元;

凸件,所述凸件连接所述转件。

8.根据权利要求6所述硅片腐蚀工艺固定载具,其中,所述第二固定单元还具有:

按钮;

弹性件,所述弹性件连接所述按钮;

拉绳,所述拉绳一端连接所述按钮,所述拉绳另一端连接所述锁件。

9.根据权利要求6所述硅片腐蚀工艺固定载具,其中,所述第二固定单元还具有转轴。

10.根据权利要求6所述硅片腐蚀工艺固定载具,其中,所述锁件还具有锁定口。

11.根据权利要求6所述硅片腐蚀工艺固定载具,其中,所述第二固定单元还具有卡件,所述卡件活动连接在所述第二固定单元中,所述卡件与所述第二固定单元的连接处具有偏压弹件,所述卡件一端位于所述容纳空间内,所述卡件另一端为施力部。

12.根据权利要求11所述硅片腐蚀工艺固定载具,其中,所述卡件位于所述容纳空间内的一端形状为弧形。

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