一种硅片腐蚀工艺固定载具的制作方法

本实用新型涉及硅片腐蚀技术领域，特别涉及一种硅片腐蚀工艺固定载具。

背景技术：

硅片腐蚀是利用氢氧化钠对多晶硅进行腐蚀，目的是为了去除硅片在多线切割锯切片时产生的表面损伤层，同时利用氢氧化钠对硅腐蚀的各向异性，争取反射率较低的表面织构。

目前在硅片腐蚀工艺中，首先将圆形硅片放入到专用载具中，其次将专用载具放入到恒温腐蚀池中腐蚀一定时间，并在机械臂的抖动下加速腐蚀，使硅片在没有保护的地方腐蚀成沟槽，形成芯片的初步形状。在此过程中，由于硅片载具没有对硅片进行固定，所以硅片在抖动下回产生不可控的自旋转，导致硅片每个部位的腐蚀程度不一致，使得沟槽深度不一致，影响产品质量。

如公告号CN 104992917 B的中国专利，公开了一种“一种硅片载具”，包括：用于承放硅片的载具主体、固定单元，所述固定单元包括V形槽固定条。在具体实施中，先安装固定单元，此时，为方便硅片安装，V形槽固定条并未彻底固定，只有硅片安装完成后，才能彻底固定V形槽固定条。在此过程中，彻底固定V形槽固定条时，不可避免会对硅片施加力，硅片受力就会产生移动，导致硅片中心与载具主体中心产生偏离，最后使得硅片在腐蚀过程中，硅片浸入恒温腐蚀池的各部位高度不一(硅片在进行腐蚀时一般是先一端进行腐蚀，再转动到另一端进行腐蚀)，造成硅片各部位无法完全进行腐蚀，影响产品质量。并且在将硅片放入到V形槽固定条时，也需将硅片中心对准V形槽固定条中心，不然也会导致硅片中心与载具主体中心产生偏离，影响产品质量。

技术实现要素：

本实用新型目的之一是解决现有技术中硅片中心与载具主体中心产生偏离，影响产品质量的问题。

本实用新型目的之二是提供一种固定硅片的方法。

为达到上述目的之一，本实用新型采用以下技术方案：一种硅片腐蚀工艺固定载具，其中，包括：载具主体，载具主体用于承载硅片；第一固定单元，第一固定单元具有凹口，凹口用于夹持硅片；至少二调整固定件，调整固定件处于相对方向，调整固定件的相对端面朝向载具主体的中心，调整固定件连接载具主体与第一固定单元，其中一个调整固定件具有正螺纹，另一个调整固定件具有逆螺纹，调整固定件还具有：延伸件，延伸件具有一定长度；滑件，滑件连接延伸件；传导件，传导件具有:伸缩口，伸缩口具有一定深度，延伸件位于伸缩口中，延伸件与伸缩口相互贴合，伸缩口具有滑槽，滑槽连接滑件。

在上述技术方案中，本实用新型实施例首先将硅片放入到第一固定单元的凹口中，利用凹口壁面对硅片进行夹持。

之后拧动调整固定件驱使第一固定单元夹紧硅片，其中，调整固定件的延伸件对传导件施力，传导件受力对另一个调整固定件进行驱动，进一步驱使另一个第一固定单元夹紧硅片，在两个调整固定件的正螺纹和逆螺纹作用下，两个第一固定单元以相同的速度和相同的力度夹紧硅片。

最后在夹紧硅片过程中，如硅片和载具主体不处于相同中心点时，硅片中心点的高度高于或低于第一固定单元的中心，硅片两端弧形朝向相同的方向，就具有力的导向作用，极易将硅片挤压移动，迫使硅片移出第一固定单元，需重新安装硅片；如硅片和载具主体处于相同中心点时，硅片中心点的高度等于第一固定单元的中心，硅片两端弧形朝向不同的方向，就不具备力的导向作用，使得第一固定单元夹紧硅片，固定硅片。

进一步地，在本实用新型实施例中，凹口为V形。一方面V形开口较大，避免安装硅片时对不准凹口。另一方面V形壁面具有力的导向作用，顺着V形壁面移动，最后使得硅片两端与V形壁面相互贴合，避免安装硅片时，对硅片施加不定向的力，使得硅片与凹口产生大的摩擦，导致硅片损坏，无法进行腐蚀工作。

进一步地，在本实用新型实施例中，凹口具有弹性。一方面凹口对硅片夹持时，利用凹口弹性压缩产生的力加强对硅片的夹持力度。另一方面硅片在腐蚀池中进行抖动时，凹口的弹性为硅片提供缓冲，防止刚性夹持迫使硅片产生裂纹。

进一步地，在本实用新型实施例中,延伸件为圆柱形。

进一步地，在本实用新型实施例中,伸缩口为圆柱形。

进一步地，在本实用新型实施例中，硅片腐蚀工艺固定载具还包括：第二固定单元，第二固定单元连接载具主体，第二固定单元与载具主体的连接处具有轴承，第二固定单元具有：容纳空间；锁件，锁件位于容纳空间中，锁件具有导向面与定位槽。

进一步地，在本实用新型实施例中，载具主体还包括：转件，转件连接第一固定单元；凸件，凸件连接转件。

更进一步地，在本实用新型实施例中，第二固定单元还具有：按钮；弹性件，弹性件连接按钮；拉绳，拉绳一端连接按钮，拉绳另一端连接锁件。

更进一步地，在本实用新型实施例中，第二固定单元还具有转轴。一方面为拉绳提供固定点，方便拉绳进行转向，另一方面在拉绳进行移动时，转轴能顺着拉绳运动方向进行移动，防止拉绳磨损。

更进一步地，在本实用新型实施例中，锁件还具有锁定口。

更进一步地，在本实用新型实施例中，第二固定单元还具有卡件，卡件活动连接在第二固定单元中，卡件与第二固定单元的连接处具有偏压弹件，卡件一端位于容纳空间内，卡件另一端为施力部。

更进一步地，在本实用新型实施例中，卡件位于容纳空间内的一端形状为弧形。

本实用新型的有益效果是：

第一，本实用新型在两个调整固定件的正螺纹和逆螺纹作用下，两个第一固定单元以相同的速度和相同的力度夹紧硅片。在夹紧硅片的同时防止硅片中心与载具主体中心产生偏离，影响产品质量。

第二，本实用新型在硅片和载具主体不处于相同中心点时，两个第一固定单元夹紧的硅片两端弧形朝向相同的方向，迫使硅片移出第一固定单元，防止硅片中心与载具主体中心产生偏离，影响产品质量。

为达到上述目的之二，本实用新型采用以下技术方案：一种固定硅片的方法，包括以下步骤：

装夹，将硅片放入到第一固定单元的凹口中，利用凹口壁面对硅片进行夹持；

相对移动，拧动调整固定件驱使第一固定单元夹紧硅片，其中，调整固定件的延伸件对传导件施力，传导件受力对另一个调整固定件进行驱动，进一步驱使另一个第一固定单元夹紧硅片，在两个调整固定件的正螺纹和逆螺纹作用下，两个第一固定单元以相同的速度和相同的力度夹紧硅片；

中心点判断，在两个第一固定单元以相同的速度和相同的力度夹紧硅片时，如硅片和载具主体不处于相同中心点时，硅片中心点的高度高于或低于第一固定单元的中心，硅片两端弧形朝向相同的方向，就具有力的导向作用，极易将硅片挤压移动，迫使硅片移出第一固定单元，需重新安装硅片；如硅片和载具主体处于相同中心点时，硅片中心点的高度等于第一固定单元的中心，硅片两端弧形朝向不同的方向，就不具备力的导向作用，使得第一固定单元夹紧硅片；

固定，在第一固定单元夹紧硅片后，送开调整固定件，完成硅片固定工作。

进一步地，在本实用新型实施例中，在固定步骤完成后，将载具主体放入到腐蚀池中进行腐蚀工作。

进一步地，在本实用新型实施例中，在装夹步骤中，凹口的弹性对硅片壁面进行施力，进一步加强硅片夹持力。

更进一步地，在本实用新型实施例中，在腐蚀步骤中，当硅片一部分腐蚀一定时间后，根据硅片未腐蚀部位所需，转动载具主体一定角度，载具主体的转件受力旋转，转件上的凸件顺着锁件的导向面进行滑动顶起锁件，当凸件移动到锁件的定位槽时，定位槽卡合凸件，锁紧载具主体。

更进一步地，在本实用新型实施例中，在腐蚀步骤中，位于腐蚀池的硅片部分腐蚀一定时间后，根据硅片未腐蚀部位所需，按下按钮，按钮进行移动，通过拉绳拉动锁件，使得定位槽脱离凸件，同时使得锁件的锁定口卡合卡件，转动载具主体一定角度，转件受力旋转，凸件抵住卡件的施力部，促使卡件转动，使得卡件脱离锁定口，锁件进行复位，方便之后锁紧载具主体。

附图说明

图1为本实用新型实施例硅片腐蚀工艺固定载具的细节三维示意图。

图2为本实用新型实施例载具主体是机构示意图。

图3为本实用新型实施例传动件与延伸件的三维示意图。

图4为本实用新型实施例硅片腐蚀工艺固定载具的三维示意图。

图5为本实用新型实施例硅片腐蚀工艺固定载具的另一细节三维示意图。

图6为本实用新型实施例第二固定单元的结构示意图。

图7为图4的A局部放大图。

图8为本实用新型实施例第二固定单元的运动示意图。

图9为图6的B局部放大图。

图10为本实用新型实施例第二固定单元的另一运动示意图。

附图中

1、载具主体 2、调整固定件 21、延伸件

22、滑件 3、第一固定单元 31、凹口

4、转件 41、凸件 5、第二固定单元

6、按钮 7、弹性件 8、拉绳

9、转轴 10、锁件 101、锁定口

102、定位槽 103、导向面 11、卡件

12、施力部 13、传导件 131、伸缩口

132、滑槽

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案进行清楚、完整地描述，及优点更加清楚明白，以下结合附图对本实用新型实施例进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，仅仅用以解释本实用新型实施例，并不用于限定本实用新型实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“中”“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“顶”、“底”、“侧”、“竖直”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“一”、“第一”、“第二”、“第三”、“第四”、“第五”、“第六”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

出于简明和说明的目的，实施例的原理主要通过参考例子来描述。在以下描述中，很多具体细节被提出用以提供对实施例的彻底理解。然而明显的是。对于本领域普通技术人员，这些实施例在实践中可以不限于这些具体细节。在一些实例中，没有详细地描述公知方法和结构，以避免无必要地使这些实施例变得难以理解。另外，所有实施例可以互相结合使用。

实施例一：

如图1-3所示，一种硅片腐蚀工艺固定载具，其中，包括：载具主体1、第一固定单元3、至少二调整固定件2、传导件13。载具主体1用于承载硅片。第一固定单元3具有凹口31，凹口31用于夹持硅片。调整固定件2处于相对方向，调整固定件2的相对端面朝向载具主体1的中心，调整固定件2连接载具主体1与第一固定单元3，其中一个调整固定件2具有正螺纹，另一个调整固定件2具有逆螺纹，调整固定件2还具有延伸件21、滑件22，延伸件21具有一定长度，滑件22连接延伸件21。传导件13具有伸缩口131，伸缩口131具有一定深度，延伸件21位于伸缩口131中，延伸件21与伸缩口131相互贴合，伸缩口131具有滑槽132，滑槽132连接滑件22。

工作步骤：

首先，将硅片放入到第一固定单元3的凹口31中，利用凹口31壁面对硅片进行夹持。

之后，拧动调整固定件2驱使第一固定单元3夹紧硅片，其中，调整固定件2的延伸件21对传导件13施力，传导件13受力对另一个调整固定件2进行驱动，进一步驱使另一个第一固定单元3夹紧硅片，在两个调整固定件2的正螺纹和逆螺纹作用下，两个第一固定单元3以相同的速度和相同的力度夹紧硅片。

最后，在夹紧硅片过程中，如硅片和载具主体1不处于相同中心点时，硅片中心点的高度高于或低于第一固定单元3的中心，硅片两端弧形朝向相同的方向，就具有力的导向作用，极易将硅片挤压移动，迫使硅片移出第一固定单元3，需重新安装硅片。如硅片和载具主体1处于相同中心点时，硅片中心点的高度等于第一固定单元3的中心，硅片两端弧形朝向不同的方向，就不具备力的导向作用，使得第一固定单元3夹紧硅片，固定硅片。

具体地，凹口31为V形。凹口31具有弹性。第一方面V形开口较大，避免安装硅片时对不准凹口31。第二方面V形壁面具有力的导向作用，顺着V形壁面移动，最后使得硅片两端与V形壁面相互贴合，避免安装硅片时，对硅片施加不定向的力，使得硅片与凹口31产生大的摩擦，导致硅片损坏，无法进行腐蚀工作。第三方面凹口31对硅片夹持时，利用凹口31弹性压缩产生的力加强对硅片的夹持力度。第四方面硅片在腐蚀池中进行抖动时，凹口31的弹性为硅片提供缓冲，防止刚性夹持迫使硅片产生裂纹。

具体地,如图3所示，延伸件21为圆柱形。伸缩口131为圆柱形。圆柱形的延伸件21与圆柱形的伸缩口131相互贴合。延伸件21周身各个方向都具有限位作用，防止载具主体1抖动时，延伸件21抖动移出伸缩口131，使得延伸件21无法将旋转的力传导到传导件13上，无法让两个调整固定件2形成配合。

具体地，如图4-7所示，硅片腐蚀工艺固定载具还包括第二固定单元5，第二固定单元5连接载具主体1，第二固定单元5与载具主体1的连接处具有轴承，第二固定单元5具有容纳空间、锁件10。锁件10位于容纳空间中，锁件10具有导向面103与定位槽102。载具主体1还包括转件4、凸件41。转件4连接第一固定单元3，凸件41连接转件4。当硅片放入到腐蚀池中腐蚀一定时间后，根据硅片未腐蚀部位所需，转动载具主体1一定角度，载具主体1的转件4受力旋转，转件4上的凸件41顺着锁件10的导向面103进行滑动顶起锁件10，当凸件41移动到锁件10的定位槽102时，定位槽102卡合凸件41，锁紧载具主体1固定硅片。本实用新型在转换硅片方向时具有自锁作用，无需手动进行锁紧固定，大大加快了硅片转换时间，节省硅片腐蚀时间。

更具体地，如图6-9所示，第二固定单元5还具有按钮6、弹性件7、拉绳8。弹性件7连接按钮6。拉绳8一端连接按钮6，拉绳8另一端连接锁件10。当需要转动载具主体1时，按下按钮6拉动拉绳8移动，拉绳8进一步拉动锁件10移动，使得定位槽102脱离凸件41，完成解锁。

更具体地，第二固定单元5还具有转轴9。拉伸搭在转轴9上。一方面为拉绳8提供固定点，方便拉绳8进行转向，另一方面在拉绳8进行移动时，转轴9能顺着拉绳8运动方向进行移动，防止拉绳8磨损。

更具体地，如图6-9所示，锁件10还具有锁定口101。第二固定单元5还具有卡件11，卡件11活动连接在第二固定单元5中，卡件11与第二固定单元5的连接处具有偏压弹件，卡件11一端位于容纳空间内，卡件11另一端为施力部12。拉绳8拉动锁件10移动的同时，锁件10的锁定口101卡合卡件11，此时，松开按钮6，一方面无需长时间按住按钮6，空出一段时间劳动力，另一方面无需判断转动载具主体1时，凸件41是否已经错过定位槽102，防止在相同位置再次锁定。如图10所示，锁定口101卡合卡件11后，转动载具主体1，转件4的凸件41在转动过程中抵住卡件11的施力部12，促使卡件11转动，使得卡件11脱离锁定口101，锁件10进行复位，方便之后锁紧载具主体1。

更具体地，卡件11位于容纳空间内的一端形状为弧形。弧形的卡件11具有导向作用，防止卡件11无法脱离容纳空间。

本实用新型的有益效果是：

第一，本实用新型在两个调整固定件2的正螺纹和逆螺纹作用下，两个第一固定单元3以相同的速度和相同的力度夹紧硅片。在夹紧硅片的同时防止硅片中心与载具主体1中心产生偏离，影响产品质量。

第二，本实用新型在硅片和载具主体1不处于相同中心点时，两个第一固定单元3夹紧的硅片两端弧形朝向相同的方向，迫使硅片移出第一固定单元3，防止硅片中心与载具主体1中心产生偏离，影响产品质量。

一种固定硅片的方法，包括以下步骤：

装夹，将硅片放入到第一固定单元3的凹口31中，利用凹口31壁面对硅片进行夹持。

相对移动，拧动调整固定件2驱使第一固定单元3夹紧硅片，其中，调整固定件2的延伸件21对传导件13施力，传导件13受力对另一个调整固定件2进行驱动，进一步驱使另一个第一固定单元3夹紧硅片，在两个调整固定件2的正螺纹和逆螺纹作用下，两个第一固定单元3以相同的速度和相同的力度夹紧硅片。

中心点判断，在两个第一固定单元3以相同的速度和相同的力度夹紧硅片时，如硅片和载具主体1不处于相同中心点时，硅片中心点的高度高于或低于第一固定单元3的中心，硅片两端弧形朝向相同的方向，就具有力的导向作用，极易将硅片挤压移动，迫使硅片移出第一固定单元3，需重新安装硅片。如硅片和载具主体1处于相同中心点时，硅片中心点的高度等于第一固定单元3的中心，硅片两端弧形朝向不同的方向，就不具备力的导向作用，使得第一固定单元3夹紧硅片。

固定，在第一固定单元3夹紧硅片后，送开调整固定件2，完成硅片固定工作。

具体地，在固定步骤完成后，将载具主体1放入到腐蚀池中进行腐蚀工作。

具体地，在装夹步骤中，凹口31的弹性对硅片壁面进行施力，进一步加强硅片夹持力。

更具体地，在腐蚀步骤中，当硅片一部分腐蚀一定时间后，根据硅片未腐蚀部位所需，转动载具主体1一定角度，载具主体1的转件4受力旋转，转件4上的凸件41顺着锁件10的导向面103进行滑动顶起锁件10，当凸件41移动到锁件10的定位槽102时，定位槽102卡合凸件41，锁紧载具主体1。

更具体地，在腐蚀步骤中，位于腐蚀池的硅片部分腐蚀一定时间后，根据硅片未腐蚀部位所需，按下按钮6，按钮6进行移动，通过拉绳8拉动锁件10，使得定位槽102脱离凸件41，同时使得锁件10的锁定口101卡合卡件11，转动载具主体1一定角度，转件4受力旋转，凸件41抵住卡件11的施力部12，促使卡件11转动，使得卡件11脱离锁定口101，锁件10进行复位，方便之后锁紧载具主体1。

尽管上面对本实用新型说明性的具体实施方式进行了描述，以便于本技术领域的技术人员能够理解本实用新型，但是本实用新型不仅限于具体实施方式的范围，对本技术领域的普通技术人员而言，只要各种变化只要在所附的权利要求限定和确定的本实用新型精神和范围内，一切利用本实用新型构思的实用新型创造均在保护之列。