一种硅片清洗机的制作方法

本实用新型属于硅片加工设备技术领域，尤其涉及一种硅片清洗机。

背景技术：

半导体器件生产中硅片须经严格清洗，微量污染也会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，清除污染的方法有物理清洗和化学清洗，物理清洗主要是采用刷洗或擦洗的方法将硅片表面杂质去除，化学清洗主要采用清洗液直接浸泡清洗，实际生产过程中，直接浸泡时硅片往往放置于吊篮内浸入溶液，由于硅片之间相互叠加，导致清洗不均匀，而且硅片与吊篮的接触面积较大，也容易产生冲洗不干净的质量问题。

中国专利公开号为CN 107716440 A，发明创造的名称为一种太阳能硅片清洗机，包括清洗机本体，所述清洗机本体的底部四角均开设有调节槽，所述调节槽的两侧内壁上均开设有驱动槽，开设在同一个调节槽上的两个驱动槽相互远离的一侧内壁上均滑动安装有推杆电机，所述调节槽的项部内壁上铰接有两个对称设置的上支杆，所述上支杆的底端延伸至相对应的驱动槽内并与推杆电机的输出轴转动安装，所述推杆电机的输出轴上还转动安装有下支杆，本发明实用性能高，结构简单，操作方便，便于对滚轮进行移动，从而便对清洗机本体进行移动，能够将滚轮收进调节槽内，对滚轮进行保护，增加了滚轮的使用寿命，且便于对滚轮进行拆卸更换，方便了人们的使用。但是现有硅片清洗机多个清洗槽进行清洗作业，容易造成硅片污染，缺少废液收集机构，清洗产生的废液污染现场环境，采用静止浸泡的方式进行清洗，清洗时间较长，且清洗效果差的问题。

因此，发明一种硅片清洗机显得非常必要。

技术实现要素：

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种硅片清洗机，以解决现有硅片清洗机多个清洗槽进行清洗作业，容易造成硅片污染，缺少废液收集机构，清洗产生的废液污染现场环境，采用静止浸泡的方式进行清洗，清洗时间较长，且清洗效果差的问题。一种硅片清洗机，包括机壳，支撑脚，支架，清洗机构，臭氧水发生器，吸气机构，工控机，电源线，集液机构，旋盖和通孔，所述支撑脚采用四个，通过螺栓固定在机壳的下方四角；所述工控机通过螺栓固定在机壳右侧的中间位置；所述电源线嵌装在工控机的下方，通过导线与工控机相连；所述吸气机构通过螺栓固定在机壳的右侧，位于工控机的上方；所述臭氧水发生器通过螺栓固定在机壳的上方右侧；所述通孔开设在机壳上方的左侧，内侧设置有螺纹；所述旋盖通过螺纹固定在通孔的上方；所述支架通过螺栓固定在机壳内部的下方；所述集液机构通过螺栓固定在机壳内部的下方，位于支架的下方；所述清洗机构通过螺栓固定在支架的上方。

所述清洗机构包括清洗槽，伺服电机，减震板，轴套和夹持机构，所述减震板通过螺栓固定在支架上方的右侧；所述伺服电机通过螺栓固定在减震板的上方，通过导线与工控机相连；所述清洗槽通过螺栓固定在支架的上方，位于减震板的左侧；所述夹持机构通过轴套固定在清洗槽内部的中间位置，通过联轴器与伺服电机的输出轴相连。

所述夹持机构包括下夹板，上夹板，固定杆，卡槽，锁耳和锁扣，所述上夹板铰接在下夹板的上方，尺寸与下夹板相同；所述锁耳焊接在下夹板的下方中间位置；所述锁扣焊接在上夹板的上方中间位置，与锁耳匹配；所述固定杆采用两个，焊接在下夹板的两侧；所述卡槽采用多个，焊接在下夹板的前侧，与硅片尺寸匹配；所述下夹板和上夹板均采用镂空结构。

所述臭氧水发生器包括水箱，气液混合泵和臭氧发生器，所述水箱通过螺栓固定在机壳上方的右侧；所述臭氧发生器通过螺栓固定在水箱上方的右侧，右侧通过管道与吸气罩相连，通过导线与工控机相连；所述气液混合泵通过螺栓固定在水箱上方的左侧，右侧通过管道与水箱相连，上侧通过管道与臭氧发生器相连，左侧管道贯穿至清洗槽的上方，通过导线与工控机相连。

所述吸气机构包括吸气罩，抽风机和止逆阀，所述吸气罩通过螺栓固定在机壳左侧的上方，左侧与机壳相通；所述抽风机通过螺栓固定在吸气罩内部的中间位置，通过导线与工控机相连；所述止逆阀通过螺栓固定在吸气罩与臭氧发生器之间的管道上。

所述集液机构包括集液箱，电磁阀和排液阀，所述集液箱通过管道与清洗槽相连；所述电磁阀通过螺栓固定在集液箱与清洗槽之间的管道上，通过导线与工控机相连；所述排液阀通过螺栓固定在集液箱下端的管道上，位于机壳的外侧。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1.本实用新型的臭氧水发生器的设置，工控机控制臭氧发生器通电运行产生臭氧，工控机控制气液混合泵通电运行，气液混合泵将臭氧和水混合均匀，通过管道输送到清洗槽内对硅片进行清洗作业，臭氧水在硅片表面形成一层质量较高的氧化膜，在较短时间内使硅片表面洁净度达到工艺要求，有效的避免多个清洗槽对硅片产生污染，提高清洗效率。

2.本实用新型的集液机构的设置，清洗作业结束后，工控机控制电磁阀通电打开，将清洗槽内的清洗液通过管道输送到集液箱内，有效的避免清洗产生的液体对现场环境的污染。

3.本实用新型的清洗机构的设置，工控机控制伺服电机通电运行，带动夹持机构在清洗液中转动，提高清洗液的流动性，并且采用双面清洗，提高硅片清洗效率。

4.本实用新型的吸气机构的设置，抽风机将机壳内的臭氧抽出，通过管道输送到臭氧发生器，有效的避免臭氧挥发到周围环境，防止臭氧浓度过高出现人员中毒的现象，保证操作人员的人身安全。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型的清洗机构的结构示意图。

图3是本实用新型的夹持机构的结构示意图。

图4是本实用新型的臭氧水发生器的结构示意图。

图5是本实用新型的吸气机构的结构示意图。

图6是本实用新型的集液机构的结构示意图。

图中：

1-机壳，2-支撑脚，3-支架，4-清洗机构，41-清洗槽，42-伺服电机，43-减震板，44-轴套，45-夹持机构，451-下夹板，452-上夹板，453-固定杆，454-卡槽，455-锁耳，456-锁扣，5-臭氧水发生器，51-水箱，52-气液混合泵，53-臭氧发生器，6-吸气机构，61-吸气罩，62-抽风机，63-止逆阀，7-工控机，8-电源线，9-集液机构，91-集液箱，92-电磁阀，93-排液阀，10-旋盖，11-通孔。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型做进一步描述：

实施例：

如附图1至附图6所示

本实用新型提供一种硅片清洗机，包括机壳1，支撑脚2，支架3，清洗机构4，臭氧水发生器5，吸气机构6，工控机7，电源线8，集液机构9，旋盖10和通孔11，所述支撑脚2采用四个，通过螺栓固定在机壳1的下方四角；所述工控机7通过螺栓固定在机壳1右侧的中间位置；所述电源线8嵌装在工控机7的下方，通过导线与工控机7相连；所述吸气机构6通过螺栓固定在机壳1的右侧，位于工控机7的上方；所述臭氧水发生器5通过螺栓固定在机壳1的上方右侧；所述通孔11开设在机壳1上方的左侧，内侧设置有螺纹；所述旋盖10通过螺纹固定在通孔11的上方；所述支架3通过螺栓固定在机壳1内部的下方；所述集液机构9通过螺栓固定在机壳1内部的下方，位于支架3的下方；所述清洗机构4通过螺栓固定在支架3的上方。

所述清洗机构4包括清洗槽41，伺服电机42，减震板43，轴套44和夹持机构45，所述减震板43通过螺栓固定在支架3上方的右侧；所述伺服电机42通过螺栓固定在减震板43的上方，通过导线与工控机7相连；所述清洗槽41通过螺栓固定在支架3的上方，位于减震板43的左侧；所述夹持机构45通过轴套44固定在清洗槽41内部的中间位置，通过联轴器与伺服电机42的输出轴相连。

所述夹持机构45包括下夹板451，上夹板452，固定杆453，卡槽454，锁耳455和锁扣456，所述上夹板452铰接在下夹板451的上方，尺寸与下夹板451相同；所述锁耳455焊接在下夹板451的下方中间位置；所述锁扣456焊接在上夹板452的上方中间位置，与锁耳455匹配；所述固定杆453采用两个，焊接在下夹板451的两侧；所述卡槽454采用多个，焊接在下夹板451的前侧，与硅片尺寸匹配；所述下夹板451和上夹板452均采用镂空结构。

所述臭氧水发生器5包括水箱51，气液混合泵52和臭氧发生器53，所述水箱51通过螺栓固定在机壳1上方的右侧；所述臭氧发生器53通过螺栓固定在水箱51上方的右侧，右侧通过管道与吸气罩61相连，通过导线与工控机7相连；所述气液混合泵52通过螺栓固定在水箱51上方的左侧，右侧通过管道与水箱51相连，上侧通过管道与臭氧发生器53相连，左侧管道贯穿至清洗槽41的上方，通过导线与工控机7相连。

所述吸气机构6包括吸气罩61，抽风机62和止逆阀63，所述吸气罩61通过螺栓固定在机壳1左侧的上方，左侧与机壳1相通；所述抽风机62通过螺栓固定在吸气罩61内部的中间位置，通过导线与工控机7相连；所述止逆阀63通过螺栓固定在吸气罩61与臭氧发生器53之间的管道上。

所述集液机构9包括集液箱91，电磁阀92和排液阀93，所述集液箱91通过管道与清洗槽41相连；所述电磁阀92通过螺栓固定在集液箱91与清洗槽41之间的管道上，通过导线与工控机7相连；所述排液阀93通过螺栓固定在集液箱91下端的管道上，位于机壳1的外侧。

工作原理

本实用新型中，使用时，电源线8接通市电进行供电，打开旋盖10，打开锁扣456，将硅片放入卡槽454，放下上夹板452，通过锁扣456和锁耳455将上夹板452和下夹板451锁紧，旋上旋盖10，工控机7控制臭氧发生器53通电运行产生臭氧，工控机7控制气液混合泵52通电运行，气液混合泵52将臭氧和水混合均匀，通过管道输送到清洗槽41内对硅片进行清洗作业，臭氧水在硅片表面形成一层质量较高的氧化膜，在较短时间内使硅片表面洁净度达到工艺要求，有效的避免多个清洗槽41对硅片产生污染，提高清洗效率，工控机7控制伺服电机42通电运行，带动夹持机构45在清洗液中转动，提高清洗液的流动性，并且采用双面清洗，提高硅片清洗效率，抽风机62将机壳1内的臭氧抽出，通过管道输送到臭氧发生器53，有效的避免臭氧挥发到周围环境，防止臭氧浓度过高出现人员中毒的现象，保证操作人员的人身安全，清洗作业结束后，工控机7控制电磁阀92通电打开，将清洗槽41内的清洗液通过管道输送到集液箱91内，有效的避免清洗产生的液体对现场环境的污染。

利用本实用新型所述技术方案，或本领域的技术人员在本实用新型技术方案的启发下，设计出类似的技术方案，而达到上述技术效果的，均是落入本实用新型的保护范围。