一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置的制作方法

文档序号:19028710发布日期:2019-11-01 22:04阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置,包括第一支撑板,其特征在于,所述第一支撑板的顶端侧壁固定有气缸,气缸的活塞杆穿过第一支撑板固定有第二支撑板,第二支撑板的底端侧壁开设有第一凹槽,第一凹槽的一侧侧壁固定有旋转电机,旋转电机的输出轴通过联轴器固定有转轴,转轴远离旋转电机的一端延伸至第一凹槽外部固定有第三支撑板,第三支撑板的两端均开设有第二凹槽,所述第二凹槽的一侧侧壁固定有推杆电机,推杆电机的输出轴延伸至第二凹槽外部固定有第一连接板,第一连接板的底端侧壁固定有垂直设置的第二连接板,第二连接板的底端侧壁固定有真空吸盘,所述第二连接板的一侧侧壁固定有真空泵,且真空泵与真空吸盘连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置,其特征在于,所述第二支撑板的底端侧壁开设有环形结构的滑槽,滑槽上滑动连接有滑柱,滑柱远离滑槽的一端与第三支撑板顶端侧壁固定,且滑柱与第三支撑板之间垂直设置。

3.根据权利要求1所述的一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置,其特征在于,所述第二支撑板的一侧侧壁固定有控制箱,控制箱的内部设置有单片机。

4.根据权利要求3所述的一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置,其特征在于,所述单片机的输入端连接有输入屏,所述单片机的输出端连接有气缸、旋转电机以及真空泵。

5.根据权利要求1所述的一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置,其特征在于,所述第三支撑板的顶端侧壁固定有对称设置的导向板,导向板的底端侧壁滑动连接有滑块,所述滑块远离导向板的一端与第一连接板顶端侧壁固定。

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