技术总结
本实用新型公开了一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置，包括第一支撑板，第一支撑板的顶端侧壁固定有气缸，气缸的活塞杆穿过第一支撑板固定有第二支撑板，第二支撑板的底端侧壁开设有第一凹槽，第一凹槽的一侧侧壁固定有旋转电机，旋转电机的输出轴通过联轴器固定有转轴，转轴远离旋转电机的一端延伸至第一凹槽外部固定有第三支撑板，第三支撑板的两端均开设有第二凹槽，第二凹槽的一侧侧壁固定有推杆电机，推杆电机的输出轴延伸至第二凹槽外部固定有第一连接板。本实用新型本实用新型能够对晶圆进行智能搬运，能够对不同大小的晶圆进行搬运，提高了实用性，而且能够根据不同距离进行调节下料搬运距离，提高了便捷性。
技术研发人员：徐峥
受保护的技术使用者：南阳凯鑫光电股份有限公司
技术研发日：2019.05.27
技术公布日：2019.11.01