一种半导体加工用传输装置的制作方法

本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体为一种半导体加工用传输装置。

背景技术：

现有的半导体晶圆在进行加工后，大多数都是通过吸盘进行吸附和输送，从而方便了后续对晶圆进行进一步加工，但是现有的输送机构大多数仅通过吸盘进行吸附，在对晶圆进行输送的途中，容易发生掉落的危险，从而导致晶圆发生损坏，造成了经济损失，所以急需一种半导体加工用传输装置来解决上述存在的问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种半导体加工用传输装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体加工用传输装置，包括限位机构、连接板、支撑机构和吸附垫盘，

所述支撑机构的上端面均匀等距固定连接有六组用于连接的连接板，且位于所述支撑机构的底端面均匀等距固定连接有六组吸附垫盘，

所述支撑机构包括螺纹杆、支撑板、通气连接管和通气环，所述支撑板的上端面中心处转动连接有用于支撑的螺纹杆，且位于所述支撑板的外端面通过连接杆固定连接有通气环，所述通气环的顶端面均匀等距贯通固定连接有六组通气连接管，

所述支撑机构的上端面螺纹转动连接有用于限位的限位机构，且所述限位机构的底端面与连接板进行转动连接，在进行夹持时，使用者可将通气连接管与外部真空管进行连接，随后将支撑机构与外部转动机构进行连接，在进行夹持时，使用者可通过外部操控机构操控，外部转动机构向下部移动，当吸附垫盘接触到晶圆时进行吸附，此时使用者可启动外部转动机构，进而带动螺纹杆进行转动，螺纹杆能带动螺纹环向上进行螺纹转动，进而带动限位板向上部进行位移，此时限位板能通过伸缩杆与连接板和固定轴配合，带动折弯板翻转角度，当螺纹杆带动螺纹环转动越高，折弯板翻转角度越靠内部，直至弹性板完成对晶圆底部的弹性支撑。

优选的，所述限位机构包括螺纹环、限位板、伸缩杆、弹性板、折弯板和固定轴，所述限位板的内端面转动连接有用于限位的螺纹环，且位于所述限位板的外端面均匀等距固定连接有用于连接的固定轴，所述限位板通过所述固定轴转动连接有用于限位的伸缩杆，所述伸缩杆的底端面固定连接有折弯板，且位于所述折弯板的底端面弹性转动连接有用于支撑的弹性板，在螺纹杆进行转动时，能带动螺纹环螺旋上移，此时螺纹环能带动限位板向上部转动，固定轴能为伸缩杆上部转动提供足够的转动基础，同时连接板能为伸缩杆下部提供转动基础，方便后续进行转动，在螺纹环螺旋上移时，上移的角度能使得折弯板向内部位移，方便进行支撑。

优选的，所述伸缩杆包括用于支撑的伸缩杆、对称开设在支撑杆侧端端头的转轴槽以及用于连接折弯板的卡接槽，卡接槽能与连接板和固定轴配合方便后续进行转动，调节角度。

优选的，所述弹性板包括用于支撑的定位轴、对称转动连接在定位轴侧端的转动轴、用于连接转动轴与定位轴的弹簧以及固定连接在定位轴侧端的板体，弹性板能为晶圆提供足够的弹性支撑基础。

优选的，所述限位板的内端面中心处开设有转槽，且所述螺纹环的外端面中心处固定连接有卡盘，所述螺纹环通过转槽与卡盘转动连接在限位板的内端面，方便后续螺纹环与限位板发生相对转动，共同上升。

优选的，所述通气环的底端面均匀等距开设有六组用于连接的限位孔，且所述限位孔与吸附垫盘相适配固定连接，方便后续对晶圆进行吸附。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1.本实用新型通过设置支撑机构，在进行夹持时，使用者可通过外部操控机构操控，外部转动机构向下部移动，当吸附垫盘接触到晶圆时进行吸附，此时使用者可启动外部转动机构，进而带动螺纹杆进行转动，螺纹杆能带动螺纹环向上进行螺纹转动，进而带动限位板向上部进行位移，此时限位板能通过伸缩杆与连接板和固定轴配合，带动折弯板翻转角度，当螺纹杆带动螺纹环转动越高，折弯板翻转角度越靠内部，直至弹性板完成对晶圆底部的弹性支撑。

2.本实用新型通过设置限位机构，在螺纹杆进行转动时，能带动螺纹环螺旋上移，此时螺纹环能带动限位板向上部转动，固定轴能为伸缩杆上部转动提供足够的转动基础，同时连接板能为伸缩杆下部提供转动基础，方便后续进行转动，在螺纹环螺旋上移时，上移的角度能使得折弯板向内部位移，方便进行支撑。

附图说明

图1为本实用新型的主体爆炸图；

图2为本实用新型的主体组装图；

图3为本实用新型的限位机构爆炸图；

图4为本实用新型的限位机构组装图；

图5为本实用新型的支撑机构结构示意图。

图中：1-限位机构、2-连接板、3-支撑机构、4-吸附垫盘、101-螺纹环、102-限位板、103-伸缩杆、104-弹性板、105-折弯板、106-固定轴、301-螺纹杆、302-支撑板、303-通气连接管、304-通气环。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供的一种实施例：一种半导体加工用传输装置，包括限位机构1、连接板2、支撑机构3和吸附垫盘4，

支撑机构3的上端面均匀等距固定连接有六组用于连接的连接板2，且位于支撑机构3的底端面均匀等距固定连接有六组吸附垫盘4，

支撑机构3包括螺纹杆301、支撑板302、通气连接管303和通气环304，支撑板302的上端面中心处转动连接有用于支撑的螺纹杆301，且位于支撑板302的外端面通过连接杆固定连接有通气环304，通气环304的顶端面均匀等距贯通固定连接有六组通气连接管303，

支撑机构3的上端面螺纹转动连接有用于限位的限位机构1，且限位机构1的底端面与连接板2进行转动连接，在进行夹持时，使用者可将通气连接管303与外部真空管进行连接，随后将支撑机构3与外部转动机构进行连接，在进行夹持时，使用者可通过外部操控机构操控，外部转动机构向下部移动，当吸附垫盘4接触到晶圆时进行吸附，此时使用者可启动外部转动机构，进而带动螺纹杆301进行转动，螺纹杆301能带动螺纹环101向上进行螺纹转动，进而带动限位板102向上部进行位移，此时限位板102能通过伸缩杆103与连接板2和固定轴106配合，带动折弯板105翻转角度，当螺纹杆301带动螺纹环101转动越高，折弯板105翻转角度越靠内部，直至弹性板104完成对晶圆底部的弹性支撑。

限位机构1包括螺纹环101、限位板102、伸缩杆103、弹性板104、折弯板105和固定轴106，限位板102的内端面转动连接有用于限位的螺纹环101，且位于限位板102的外端面均匀等距固定连接有用于连接的固定轴106，限位板102通过固定轴106转动连接有用于限位的伸缩杆103，伸缩杆103的底端面固定连接有折弯板105，且位于折弯板105的底端面弹性转动连接有用于支撑的弹性板104，在螺纹杆301进行转动时，能带动螺纹环101螺旋上移，此时螺纹环101能带动限位板102向上部转动，固定轴106能为伸缩杆103上部转动提供足够的转动基础，同时连接板2能为伸缩杆103下部提供转动基础，方便后续进行转动，在螺纹环101螺旋上移时，上移的角度能使得折弯板105向内部位移，方便进行支撑。

伸缩杆103包括用于支撑的伸缩杆、对称开设在支撑杆侧端端头的转轴槽以及用于连接折弯板105的卡接槽，卡接槽能与连接板2和固定轴106配合方便后续进行转动，调节角度。

弹性板104包括用于支撑的定位轴、对称转动连接在定位轴侧端的转动轴、用于连接转动轴与定位轴的弹簧以及固定连接在定位轴侧端的板体，弹性板104能为晶圆提供足够的弹性支撑基础。

限位板102的内端面中心处开设有转槽，且螺纹环101的外端面中心处固定连接有卡盘，螺纹环101通过转槽与卡盘转动连接在限位板102的内端面，方便后续螺纹环101与限位板102发生相对转动，共同上升。

通气环304的底端面均匀等距开设有六组用于连接的限位孔，且限位孔与吸附垫盘4相适配固定连接，方便后续对晶圆进行吸附。

工作原理：在进行夹持时，使用者可通过外部操控机构操控，外部转动机构向下部移动，当吸附垫盘4接触到晶圆时进行吸附，此时使用者可启动外部转动机构，进而带动螺纹杆301进行转动，螺纹杆301能带动螺纹环101向上进行螺纹转动，进而带动限位板102向上部进行位移，此时限位板102能通过伸缩杆103与连接板2和固定轴106配合，带动折弯板105翻转角度，当螺纹杆301带动螺纹环101转动越高，折弯板105翻转角度越靠内部，直至弹性板104完成对晶圆底部的弹性支撑。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。