长寿命型键合夹具的制作方法

文档序号:23781313发布日期:2021-01-29 23:53阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种长寿命型键合夹具,包括夹板(1),其特征在于:所述夹板(1)上开有用于放置半导体材料的容纳腔(2),所述夹板(1)上设有用于泄压的泄压组件。2.根据权利要求1所述的长寿命型键合夹具,其特征在于:所述泄压组件包括夹板(1)上开设的两个呈长条型的泄压槽一(3),所述泄压槽一(3)的长度方向与容纳腔(2)的长度方向平行,两个泄压槽一(3)关于容纳腔(2)对称设置,所述泄压槽一(3)靠近容纳腔(2),所述夹板(1)上开有引导槽(4),所述引导槽(4)的端部与泄压槽一(3)相通。3.根据权利要求2所述的长寿命型键合夹具,其特征在于:所述引导槽(4)垂直于泄压槽一(3)。4.根据权利要求2所述的长寿命型键合夹具,其特征在于:所述泄压槽一(3)的端部沿着远离容纳腔(2)的方向开有泄压槽二(5),所述泄压槽二(5)垂直于泄压槽一(3)。5.根据权利要求4所述的长寿命型键合夹具,其特征在于:所述泄压槽二(5)沿其长度方向呈波浪形设置。6.根据权利要求4所述的长寿命型键合夹具,其特征在于:所述泄压槽二(5)靠近夹板(1)垂直于容纳腔(2)长度方向的侧壁。7.根据权利要求2所述的长寿命型键合夹具,其特征在于:所述引导槽(4)沿着容纳腔(2)的长度方向设有若干个,所述夹板(1)上开有通槽(6),所述通槽(6)与若干个引导槽(4)分别相通。8.根据权利要求1所述的长寿命型键合夹具,其特征在于:所述泄压组件包括固定连接在夹板(1)用于夹紧半导体材料另一侧的弹性垫(7)。
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