长寿命型键合夹具的制作方法

[0001]
本申请涉及键合夹具的领域，尤其是涉及一种长寿命型键合夹具。


背景技术：

[0002]
键合是将两片表面清洁、原子级平整的同质或异质半导体材料经表面清洗和活化处理后，在一定条件下直接结合为一体。
[0003]
键合的过程一般是将两块经过处理后的半导体材料放置到两块夹板之间，然后在两块夹板上分别施加一个夹紧半导体材料的夹紧力，两块半导体材料在夹紧力的作用下结合为一体。
[0004]
由于半导体材料的键合需要在夹板上施加一个作用力，当作用力作用夹板时，夹板的内部会产生应力，夹板在长时间受到应力的作用下，会逐渐产生永久性累积损伤，当循环一定次数后，夹板就会产生裂纹或者发生断裂，导致夹板的使用寿命较短，存在明显不足。
[0005]
针对上述中的相关技术，发明人认为存在有夹板长时间受应力的作用下发生损坏的缺陷。


技术实现要素：

[0006]
为了改善夹板长时间受应力的作用下会发生损坏的问题，本申请提供一种长寿命型键合夹具。
[0007]
本申请提供的一种长寿命型键合夹具采用如下的技术方案：
[0008]
一种长寿命型键合夹具，包括夹板，所述夹板上开有用于放置半导体材料的容纳腔，所述夹板上设有用于泄压的泄压组件。
[0009]
通过采用上述技术方案，在夹板上设置泄压组件，从而减小了夹板内应力对夹板造成损坏的可能性。本申请具有增长夹具使用寿命的优点。
[0010]
优选的，所述泄压组件包括夹板上开设的两个呈长条型的泄压槽一，所述泄压槽一的长度方向与容纳腔的长度方向平行，两个泄压槽一关于容纳腔对称设置，所述泄压槽一靠近容纳腔，所述夹板上开有引导槽，所述引导槽的端部与泄压槽一相通。
[0011]
通过采用上述技术方案，当作用力作用夹板时，夹板的内部产生应力，应力传播到引导槽内后，沿着引导槽的长度方向进行传播，由于泄压槽一的设置，使得引导槽的端部断开，以此当应力传播到引导槽的端部后缺少继续传播的介质，应力就会逐渐自然消散，减小了夹板内应力的量，以此有利于减小应力对夹板造成损坏的可能性，增长了夹板的使用寿命。
[0012]
优选的，所述引导槽垂直于泄压槽一。
[0013]
通过采用上述技术方案，当应力传播到引导槽内后，能够以最短的路径传播到引导槽的端部进行消散，有利于提高引导槽的引导效果。
[0014]
优选的，所述泄压槽一的端部沿着远离容纳腔的方向开有泄压槽二，所述泄压槽
二垂直于泄压槽一。
[0015]
通过采用上述技术方案，夹板内会有部分的应力从泄压槽一和夹板的侧壁之间穿过，设置泄压槽二，当应力从泄压槽一的端部和夹板的侧壁之间穿过时，会有部分应力通过泄压槽二的内侧壁自然消散，以此减少了应力在整个夹板上传播的量。
[0016]
优选的，所述泄压槽二沿其长度方向呈波浪形设置。
[0017]
通过采用上述技术方案，波浪形设置增大了泄压槽二内侧壁的面积，以此使得能够有更多的应力通过泄压槽二进行消散，提高了泄压槽二消散应力的效果。
[0018]
优选的，所述泄压槽二靠近夹板垂直于容纳腔长度方向的侧壁。
[0019]
通过采用上述技术方案，减小了应力从泄压槽一的端部和夹板侧壁之间穿过的传播路径，减小了应力在整个夹板上传播的可能性。
[0020]
优选的，所述引导槽沿着容纳腔的长度方向设有若干个，所述夹板上开有通槽，所述通槽与若干个引导槽分别相通。
[0021]
通过采用上述技术方案，引导槽设有若干个，有利于提高引导槽引导应力传播的引导效率。通槽的设置使得应力能够均匀的分散到若干个引导槽内，减小了某一引导槽内应力过度集中导致夹板发生损坏的可能性。
[0022]
优选的，所述泄压组件包括固定连接在夹板用于夹紧半导体材料另一侧的弹性垫。
[0023]
通过采用上述技术方案，当作用力作用在弹性垫时，弹性垫会发生形变，部分的作用力分散到弹性垫上，以此减小了作用在夹板上作用力的大小，减少了夹板内产生的应力的量。
[0024]
综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0025]
1.当作用力作用夹板时，夹板的内部产生应力，应力通过引导槽的引导，传递至其端部。由于泄压槽一的设置，使得引导槽的端部断开，以此当应力传播到引导槽的端部后缺少继续传播的介质，应力就会逐渐自然消散，以此减小了夹板内应力的量，减小了应力对夹板造成损坏的可能性，增长了夹板的使用寿命；
[0026]
2.当作用力作用在弹性垫时，弹性垫会发生形变，部分的作用力分散到弹性垫上，以此减小了作用在夹板上作用力的大小，减少了夹板内产生的应力的量。
附图说明
[0027]
图1是本申请实施例1的结构示意图；
[0028]
图2是本申请实施例2的结构示意图；
[0029]
图3是图2中a部分的放大图。
[0030]
附图标记说明：1、夹板；2、容纳腔；3、泄压槽一；4、引导槽；5、泄压槽二；6、通槽；7、弹性垫。
具体实施方式
[0031]
以下结合附图1-3对本申请作进一步详细说明。
[0032]
本申请实施例公开一种长寿命型键合夹具。
[0033]
实施例1
[0034]
参照图1，长寿命型键合夹具包括夹板1，夹板1上开有用于放置半导体材料的容纳腔2，容纳腔2由若干个容纳口组成，若干个容纳口排成两排。夹板1上设有用于泄压的泄压组件。泄压组件能够减小夹板1内部产生的应力，以此减小了夹板1循坏受到应力的作用，从而发生损坏的可能性。
[0035]
参照图1，泄压组件包括夹板1上开设的两个呈长条型的泄压槽一3，泄压槽的长度方向与容纳腔2的长度方向平行，两个泄压槽一3关于容纳腔2对称设置，泄压槽一3靠近容纳腔2，夹板1上开有引导槽4，引导槽4的端部与泄压槽一3相通。
[0036]
参照图1，当夹板1受到作用力后，夹板1和作用力接触的位置首先产生应力，应力在夹板1的内部传播，当应力传递到引导槽4内后会沿着引导槽4的长度方向传播，应力传播到引导槽4的端部时，由于泄压槽一3的设置，使得应力和能够传播应力的介质分开，应力没有了传播的介质就会逐渐的自然消散，以此减小了夹板1内部的应力。
[0037]
参照图1，引导槽4垂直于泄压槽一3，当应力传播到引导槽4内后，能够以最短的路径传播至泄压槽一3进行消散，有利于提高泄压组件消除应力的效果。
[0038]
参照图1，引导槽4沿着容纳腔2的长度方向设有三个，夹板1上开有通槽6，通槽6与三个引导槽4分别相通，三个引导槽4沿着容纳腔2的长度方向均匀设置。引导槽4设有三个，有利于提高引导槽4引导应力传播的效率。通槽6的设置使得应力能够均匀的分散到三个引导槽4内，减小了某一引导槽4内应力过度集中导致夹板1损坏的可能性。
[0039]
参照图1，泄压槽一3的端部沿着远离容纳腔2的方向开有泄压槽二5，泄压槽二5垂直于泄压槽一3。当夹板1内产生应力时，会有部分的应力从泄压槽一3的端部和夹板1的侧壁之间穿过并传播到整个夹板1上。在夹板1上设置泄压槽二5，当应力从泄压槽一3的端部和夹板1的侧壁之间穿过时，会有部分的应力通过泄压槽二5自然消散，以此减少了在整个夹板1上传播的应力的量。
[0040]
参照图1，泄压槽二5沿其长度方向呈波浪形设置，波浪形设置增大了泄压槽二5内侧壁的面积，以此使得能够有更多的应力通过泄压槽二5进行消散，有利于减少夹板1内部的应力。
[0041]
参照图1，泄压槽二5靠近夹板1垂直于容纳腔2长度方向的侧壁，以此减小了应力从泄压槽一3的端部和夹板1的侧壁之间穿过的路径，减小了应力在整个夹板1上传播的可能性，有利于提高泄压槽一3消除应力的效果。
[0042]
实施例1的实施原理为：在夹板1上设置泄压槽一3和引导槽4，当作用力作用夹板1时，夹板1内部产生应力，应力在夹板1上传播，当应力传播至引导槽4内后会沿着引导槽4的长度方向传播，当应力传播至引导槽4的端部时，由于泄压槽一3的设置，使得引导槽4的端部断开，应力缺少传播需要的介质，以此应力会逐渐消散。引导槽4设有多个且通过通槽6相通，以此应力能够均匀的分散到若干个引导槽4内，降低了某一引导槽4内应力过度集中对夹板1造成损坏的可能性。通过设置泄压槽二5，以此对从泄压槽一3端部和夹板1侧壁之间穿过的应力进一步进行消除，减小了应力在整个夹板1上传播的可能性。
[0043]
实施例2
[0044]
参照图2和图3，与实施例1的不同之处在于泄压组件包括粘接在夹板1用于夹紧半导体材料另一侧的弹性垫7。当作用力作用在弹性垫7时，弹性垫7会发生形变，部分的作用力分散到弹性垫7上，以此减小了作用在夹板1上作用力的大小，有利于减少了夹板1内产生
的应力的量。
[0045]
实施例2的实施原理为：当作用力作用在弹性垫7上时，弹性垫7会发生形变，从而将一部分的作用力分散到弹性垫7上，减小了作用在夹板1上作用力的大小，以此减小了夹板1内部产生的应力的量。
[0046]
以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。