长寿命型键合夹具的制作方法

技术总结
本申请涉及键合夹具的领域，尤其是涉及一种长寿命型键合夹具，包括夹板，夹板上开有用于放置半导体材料的容纳腔，夹板上设有用于泄压的泄压组件。本申请具有增长夹具使用寿命的优点。优点。优点。


技术研发人员：潘斐
受保护的技术使用者：无锡芯智光精密科技有限公司
技术研发日：2020.07.23
技术公布日：2021/1/29