基板的膜厚检测方法、基板及显示装置与流程

文档序号:33560764发布日期:2023-03-22 14:12阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种基板的膜厚检测方法,其特征在于,方法包括:在基板的pad区底部设置基底,其中,所述基底与所述pad区接触的面为反光面;对与所述基底相对应区域的基板进行检测,确定pad区的膜厚;基于多个所述pad区的膜厚,确定基板的膜厚。2.根据权利要求1所述的膜厚检测方法,其特征在于,所述在基板的pad区底部设置基底包括:在基板的pad区底部涂覆金属,形成基底。3.根据权利要求1所述的膜厚检测方法,其特征在于,所述在基板的pad区底部设置基底包括:在基板的pad区底部的有机材料层上涂覆金属,形成基底。4.根据权利要求3所述的膜厚检测方法,其特征在于,所述有机材料层为位于所述pad区底部的像素定义层。5.根据权利要求1所述的膜厚检测方法,其特征在于,所述在基板的pad区底部设置基底包括:在基板的pad区第一坝和第二坝之间的底部设置基底。6.一种基板,其特征在于,所述基板包括:至少一个pad区;基底,设置于对应的所述pad区底部,其中,所述基底与对应的所述pad区接触的面为反光面。7.根据权利要求6所述的基板,其特征在于,所述基底的材料为金属。8.根据权利要求6所述的基板,其特征在于,所述pad区的底部具有有机材料层,所述基底设置于所述有机材料层上。9.根据权利要求8所述的基板,其特征在于,所述有机材料层为位于所述pad区底部的像素定义层。10.根据权利要求6所述的基板,其特征在于,所述pad区具有第一坝和第二坝,其中,至少部分所述基板位于所述pad区的所述第一坝和所述第二坝之间的底部。11.一种显示装置,所述显示装置包括如权利要求6-10任一所述的基板。

技术总结
本申请实施例提供一种基板的膜厚检测方法、基板及显示装置,检测方法包括在基板的Pad区底部设置基底,其中,基底与Pad区接触的面为反光面;对与基底相对应区域的基板进行检测,确定Pad区的膜厚;基于多个Pad区的膜厚,确定基板的膜厚。本实施例的检测方法,能够实现在显示屏幕进行加工的过程中,对显示屏幕的实际膜厚进行有效的管控,同时也能够有效地解决了化学气相沉积过程中电极异常或有异物时膜厚异常不能及时发现地问题。有效地提升了产品的生产效率和产品的出厂质量。生产效率和产品的出厂质量。生产效率和产品的出厂质量。


技术研发人员:王毫 王丹名 张帅 李聪 邹建峰
受保护的技术使用者:重庆京东方显示技术有限公司
技术研发日:2022.11.24
技术公布日:2023/3/21
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