长度方向部72相连的第二连结部73A、第一连结部73B和第二连结部75A、第一连结部75B。
[0124]上述第二连结部73A与上述漏极电极87的长度方向上的中央之间的长度方向上的距离，比上述第一连结部73B与上述漏极电极87的长度方向上的中央之间的长度方向上的距离长。而且，上述第一连结部73B的面积比上述第二连结部73A的面积大。
[0125]另外，上述第二连结部75A与上述漏极电极87的长度方向上的中央之间的长度方向上的距离，比上述第一连结部75B与上述漏极电极87的长度方向上的中央之间的长度方向上的距离长。而且，上述第一连结部75B的面积比上述第二连结部75A的面积大。
[0126]如上所述，通过使比第二连结部73A、75A更靠近漏极电极87的长度方向上的中央的第一连结部73B、75B的面积大于上述第二连结部73A、75A的面积，如后文所述，能够提高上述漏极电极焊盘65的集电效率，并且能够提高作为配线的可靠性。
[0127]上述第二连结部73A和第一连结部73B彼此在上述长度方向上隔开预先规定的尺寸。上述第二连结部73A设置在比长度方向部72的长度方向上的中央更靠近长度方向上的端部72B的位置。另外，上述第一连结部73B设置在比长度方向部72的长度方向上的中央更靠近长度方向上的端部72A的位置。另外，上述第二连结部73A和第一连结部73B的长度方向上的尺寸随着向上述接合部71去而增大。
[0128]S卩，上述连结部73A中，与上述接合部71接近的第一部分73A-1的面积大于从上述接合部71远离的第二部分73A-2的面积。另外，上述连结部73B中，与上述接合部71接近的第一部分73B-1的面积大于从上述接合部71远离的第二部分73B-2的面积。
[0129]另外，上述连结部73B的上述接合部71侧的一端的长度方向上的尺寸比上述连结部73A的上述接合部71侧的一端的长度方向上的尺寸长。
[0130]上述连结部75A和连结部75B彼此在上述长度方向上隔开预先规定的尺寸。上述连结部75A设置在比长度方向部72的长度方向上的中央比更靠近长度方向上的端部72B的位置。另外，上述连结部75B设置在比长度方向部72的长度方向上的中央更靠近长度方向上的端部72A的位置。另外，上述连结部75A和连结部75B的长度方向上的尺寸随着向上述接合部71去而增大。
[0131]S卩，上述连结部75A中，与上述接合部71接近的第一部分75A-1的面积大于从上述接合部71远离的第二部分75A-2的面积。另外，上述连结部75B中，与上述接合部71接近的第一部分75B-1的面积大于从上述接合部71远离的第二部分75B-2的面积。
[0132]在与上述漏极电极焊盘65所具有的各长度方向部72的长度方向上的两端部72A、72B对应的部位的层间绝缘膜58形成有通孔74。经该通孔74，上述漏极电极焊盘65的各长度方向部72与各漏极电极87电连接。
[0133]另一方面，上述源极电极焊盘66具有沿上述源极电极88在长度方向上延伸的多个长度方向部76。另外，上述源极电极焊盘66在大致中央部具有用于接合的接合部77。该接合部77中，多个(图3中为6)长度方向部76与上述接合部77成为一体。
[0134]另外，上述源极电极焊盘66具有在与上述长度方向交叉的方向上延伸并与上述多个长度方向部76相连的第二连结部79A、第一连结部79B和第二连结部80A、第一连结部80B。
[0135]上述第二连结部79A与上述源极电极88的长度方向上的中央之间的长度方向上的距离，比上述第一连结部79B与上述源极电极88的长度方向上的中央之间的长度方向上的距离长。而且，上述第一连结部79B的面积大于上述第二连结部79A的面积。
[0136]另外，上述第二连结部80A与上述源极电极88的长度方向上的中央之间的长度方向上的距离，比上述第一连结部80B与上述源极电极88的长度方向上的中央之间的长度方向上的距离长。而且，上述第一连结部80B的面积大于上述第二连结部80A的面积。
[0137]如上所述，通过使比第二连结部79A、80A更靠近源极电极88的长度方向上的中央的第一连结部79B、80B的面积大于上述第二连结部79A、80A的面积，如后文所述，能够提高上述漏极电极焊盘66的集电效率，并且能够提高作为配线的可靠性。
[0138]上述第二连结部79A和第一连结部79B彼此在上述长度方向上隔开预先规定的尺寸。上述第二连结部79A设置在比长度方向部76的长度方向上的中央更靠近长度方向上的端部76B的位置。另外，上述第一连结部79B设置在比长度方向部76的长度方向上的中央更靠近长度方向上的端部76A的位置。另外，上述第二连结部79A和第一连结部79B的长度方向上的尺寸随着向上述接合部71去而增大。
[0139]S卩，上述第二连结部79A中，与上述接合部71接近的第一部分79A-1的面积大于从上述接合部71远离的第二部分79A-2的面积。另外，上述第一连结部79B中，与上述接合部71接近的第一部分79B-1的面积大于从上述接合部71远离的第二部分79B-2的面积。
[0140]另外，上述第一连结部79B的上述接合部71侧的一端的长度方向上的尺寸，比上述第二连结部79A的上述接合部71侧的一端的长度方向上的尺寸长。
[0141]上述第二连结部80A和第一连结部80B彼此在上述长度方向上隔开预先规定的尺寸。上述第二连结部80A设置在比长度方向部76的长度方向上的中央更靠近长度方向上的端部72B的位置。另外，上述第一连结部80B设置在比长度方向部76的长度方向上的中央更靠近长度方向上的端部76A的位置。另外，上述第二连结部80A和第一连结部80B的长度方向上的尺寸随着向上述接合部77去而增大。
[0142]S卩，上述第二连结部80A中，与上述接合部77接近的第一部分80A-1的面积大于从上述接合部77远离的第二部分80A-2的面积。另外，上述第一连结部80B中，与上述接合部77接近的第一部分80B-1的面积大于从上述接合部77远离的第二部分80B-2的面积。
[0143]此外，虽然图3中未图示，但是上述栅极电极63通过栅极电极连接配线与栅极电极焊盘连接。
[0144]上述结构的第二实施方式的GaNHFET为常导通型，通过对上述栅极电极63施加负电压而被截止。
[0145]如图3所示，该第二实施方式的上述源极电极焊盘66中，各连结部79A、79B、80A、80B覆盖漏极电极87的区域的面积，小于各长度方向部76覆盖源极电极88的区域的面积。因此，该第二实施方式中，上述源极电极焊盘66中，覆盖上述漏极电极87的区域的面积小于覆盖上述源极电极88的区域的面积。因此，能够减少源极电极焊盘66与漏极电极87之间的寄生电容。
[0146]另外，该第二实施方式的上述漏极电极焊盘65中，各连结部73A、73B、75A、75B覆盖源极电极88区域的面积，小于各长度方向部72覆盖漏极电极87的区域的面积。因此，上述漏极电极焊盘65中，覆盖上述源极电极88的区域的面积小于覆盖上述漏极电极87的区域的面积。因此，能够减少漏极电极焊盘65与源极电极88之间的寄生电容。
[0147]利用这样的源极电极焊盘66和漏极电极焊盘65的结构，在该第二实施方式中，能够减少源极-漏极间的寄生电容。因此，根据该第二实施方式，能够减少作为源极-漏极间的寄生电容与栅极-漏极间的寄生电容之和的输出电容。由此，能够防止开关时的瞬时振荡，能够提尚开关速度，能够减少开关损失。另外，因为输出电容减少，所以尚频增益提尚。
[0148]另外，该第二实施方式中，利用在与上述漏极电极焊盘65的长度方向上的两端部72A、72B对应的部位的层间绝缘层58形成的通孔74，使上述漏极电极焊盘65与上述漏极电极87电连接，所以能够提高漏极电极焊盘65的集电效率。另外，利用在与上述源极电极焊盘66的长度方向上的两端部76A、76B对应的部位的层间绝缘层58形成的通孔81，使上述源极电极焊盘66与上述源极电极88电连接，所以能够提高源极电极焊盘66的集电效率。
[0149]并且，在该第二实施方式中，上述漏极电极焊盘65构成为从与接合部71远离的一方向接近的一方去，按连结部73A的第二部分73A-2、第一部分73A-1、连结部75A的第二部分75A-2、连结部75A的第一部分75A-1的顺序，与长度方向正交的方向上的每单位尺寸的面积依次增加，由此，能够提高漏极电极焊盘65的集电效率。
[0150]另外，该第二实施方式中，上述漏极电极焊盘65构成为从与接合部71远离的一方向接近的一方去，按连结部73B的第二部分73B-2、第一部分73B-1、连结部75B的第二部分75B-2、第一部分75B-1的顺序，与长度方向正交的方向上的每单位尺寸的面积依次增加，由此，能够提尚漏极电极焊盘65的集电效率。
[0151]另外，该第二实施方式中，上述源极电极焊盘66构成为从与接合部71远离的一方向接近的一方去，按连结部79A的第二部分79A-2、第一部分79A-1、连结部80A的第二部分80A-2、第一部分80A-1的顺序，与长度方向正交的方向上的每单位尺寸的面积依次增加，由此，能够提高源极电极焊盘66的集电效率。
[0152]另外，该第二实施方式中，上述源极电极焊盘66构成为从与接合部71远离的一方向接近的一方去，按连结部79B的第二部分79B-2、第一部分79B-1、连结部80B的第二部分80B-2、第一部分80B-1的顺序，与长度方向正交的方向上的每单位尺寸的面积依次增加，由此，能够提高源极电极焊盘66的集电效率。
[0153]另外，该第二实施方式中，上述漏极电极焊盘65中，设置在与覆盖上述漏极电极87的接近长度方向上的中央的部分的长度方向部72的端部72A接近的位置的第一连结部73B的面积，大于设置在与长度方向部72的端部72B接近的位置的第二连结部73A的面积。另外，设置在与覆盖上述漏极电极87的接近长度方向上的中央的部分的长度方向部72的端部72A接近的位置的第一连结部75B的面积，大于设置在与长度方向部72的端部72B接近的位置的第二连结部75A的面积。由此，能够提高漏极电极焊盘65的集电效率。
[0154]S卩，与位于漏极电极焊盘65的长度方向部72的周边侧的端部72B的通孔74相比，在漏极电极焊盘65的长度方向部72的中央侧的端部72A的通孔74流动更多的电流，因此，通过使设置在与元件的中央侧的端部72A接近的位置的第一连结部75B比设置在与元件的周边侧的端部72B接近的位置的第二连结部75A粗，能够提高作为连结部配线的可靠性。
[0155]另外，该第二实施方式中，上述源极电极焊盘66中，设置在与