基板230例如可具有介于上部内表面236和下部 内表面243之间的大约0. 50至0. 60英寸的厚度，例如约0. 524英寸的厚度。
[0033] 根据一示例性实施方式，安装固定架200优选具有其环形形状并适于将弹性体带 160安装在半导体衬底支撑件100周围的安装沟槽145中。例如，根据一示例性实施方式， 使用安装固定架200将弹性体带160安装在衬底支撑件100周围可以减少在弹性体带160 中的局部应力，并降低弹性体带160在操作条件下（例如，当暴露于等离子体的环境时）开 裂的概率。此外，相比于用手以5点星形拉伸模式安装弹性体带160,利用安装固定架200 可导致弹性体带160具有较长的工作寿命。另外，在此公开的两件式设计可以提供可更换 的环形环210,其尺寸可以取决于半导体衬底支撑件100的外径。另外，单一的基板230可 用于不同尺寸的环形环210。例如，根据一示例性实施方式，环形环210可以在使用一定次 数后和/或如果在使用或运输过程中损坏的情况下更换。本文所公开的安装固定架200还 可以使围绕半导体衬底支撑件100的弹性体带160的对准改善，从而可以改善等离子体反 应器10的性能。
[0034] 根据一示例性实施方式，多个径向延伸部240中的每个可包括通孔242。根据一示 例性实施方式，径向延伸部240适于在与半导体衬底支撑件100中的安装孔对应的位置接 纳多个机械紧固件260。优选地，安装固定架200的基板230包括四个径向延伸部240。每 个安装固定架200围绕径向延伸部240的间隔没有特别限制，例如，每个径向延伸部240可 设置为与相邻的径向延伸部240相隔约45°至约135°。可替代地，例如，每个径向延伸部 240可以设置成与相邻的径向延伸部240相隔约90°。
[0035] 安装固定架200的环形环210的内径211和外径213没有特别限定，只要安装固 定架200相对于所述衬底支撑件100相应地设定尺寸即可。例如，相对于被设计用于处理 直径为300_的衬底或晶片的衬底支撑件，环形环210可以具有相对于垂直延伸部220的 最外表面的在约11. 0至12. 0英寸之间的外径213。优选地，外径213为约11. 7英寸。相 对于处理直径小于300mm(例如200mm)或大于300mm(例如450mm)的衬底或晶片，安装固 定架200的直径可以相应地缩放。环形环210的外径213也可以由弹性体带160 (未示出） 的直径和该带的拉伸公差确定。
[0036] 图4示出了安装固定架200另一透视图，该安装固定架200包括环形环210和基 板230以及保护盖300。如图4所示，环形环210具有在环形环210的上表面216的内侧 部分228上的环形凹部226。环形凹部226适于被定位于衬底支撑件100的上表面的外侧 部分或外围上方。例如，环形环210的上表面216可适于在陶瓷层135的外侧部分或外围 接纳并接触陶瓷层135。根据一示例性实施方式，上表面216的未凹进部分224可接触陶 瓷层135的外围。根据一示例性实施方式，凹部226的深度没有特别的限制，只要在内侧部 分228的设置为与陶瓷层135的最外表面最接近的水平表面与陶瓷层135的最外表面之间 提供有足够的间隔即可。例如，凹部226可以具有介于约0. 01至0. 05英寸之间的深度，例 如，约0.025英寸的深度。
[0037] 根据一示例性实施方式，垂直延伸部220在其自由端221可以包括成角度的尖端 (未示出）。优选地，成角度的尖端的角度为在约10°至约45°之间，最优选地在约20°。 基板230的径向延伸部240的通孔242适于与冷却板110的通孔140对齐。
[0038] 根据一示例性实施方式，例如在不使用固定架200和/或在运输固定架200的过 程中，保护盖300可以装有安装固定架200,以保护环形环210的垂直延伸部220 (或唇部）。 保护盖300优选地具有凹部310,凹部310被构造成配合在环形环210的垂直延伸部220和 外边缘214的周围和上面。此外，凹部310可被构造成与环形环210的上表面216接触。
[0039] 如图4所示，可以使用机械紧固件260来相对于基板支撑件100旋转地约束安装 固定架200。机械紧固件260可以是适于配合穿过衬底支撑件100的通孔140并穿过安装 固定架200的通孔242的锁定销或螺栓。根据示例性实施方式，机械紧固件260的形状可 以是圆柱形或半圆柱形。机械紧固件260可以包括沿其长度具有不同直径的多个部分。例 如，机械紧固件260的一个端部266可包括最大直径，机械紧固件260的一个端部262可以 包括最小直径，而中心部264可以包括中等直径。然而，机械紧固件260可以设计成不同于 圆柱形的形状，如正方形、锥形或多边形。优选地，所述机械紧固件260的端面是凹陷的并 且适于接纳将衬底支撑件100固定到工件（如工作台或室壁）的螺栓的头部。例如，如果 将衬底支撑件100固定到工件的螺栓是圆顶形的，那么机械固定件260的端部表面可以凹 陷成类似圆顶形或类似的凹部。如果将衬底支撑件100固定到工件的螺栓是六边形，则机 械紧固件260的端部表面可以凹陷成类似六边形的形状。
[0040] 当通孔140和242对准时，机械紧固件260可插入穿过每一组对准的通孔140、 242,使得可以相对于衬底支撑件100旋转地约束安装固定架200。机械紧固件260的尺寸 没有特别的限制，只要其在安装时能充分旋转地约束安装固定架200即可。
[0041] 图5示出了根据一示例性实施方式的弹性体带安装固定架200的剖视图。如图 5所示，基板230可包括多个被配置成接纳螺钉（或紧固件）250的孔252,螺钉（或紧固 件）250通过在环形环210的下表面218上的相应凹部222将基板230附接到环形环210。 例如，根据一示例性实施方式，基板230可以包括三个或更多个等间距的与在环形环210的 下表面218上的相应凹部222对准的孔252。围绕基板230的每个孔252之间的间隔没有 特别的限定，优选地，例如，每个孔252可设置成与相邻的孔252及环形环210的下表面中 的相应的对准的凹部222相隔约120°。根据一示例性实施方式，紧固件250由聚醚醚酮 (PEEK)制成。
[0042] 图6示出了根据一示例性实施方式的弹性体带安装固定架200的剖视图。根据一 示例性实施方式，环形环210被配置成配合在外部垂直壁237的周围，外部垂直壁237将基 板230的上表面236连接到基板230的外部下表面238并且连接在基板230的凹部232的 上部。如图6所示，基板230还包括形成在基板230的下表面233上的内侧凹部239。
[0043] 根据一示例性实施方式，安装固定架200的环形环210和基板230各自可由低 摩擦的塑料材料制成，例如聚乙烯对苯二甲酸酯（PET)或碳氟化合物，例如，TEFLON? (PTFE或聚四氟乙烯，DuPont公司制造）。可替代地，安装固定架200的环形环210和基板 230可以由其它材料（例如石英、陶瓷、金属或硅）制成。制造安装固定架200的方法没有 特别的限制。例如，安装固定架200的环形环210与基板230可以由块状起始材料或环形片 状起始材料机加工制成。可替代地，安装固定架200的环形环210和基板230可以通过注 射成型制得。根据一示例性实施方式，环形环210由PTFE或特氟隆（聚四氟乙烯）制成， 并且基板230由聚乙烯对苯二甲酸酯（PET)制成。
[0044] 在使用中，每个机械紧固件260的具有最大直径的端部可被固定到冷却板110的 每个通孔140中。接下来，安装固定架200可以定位于衬底支撑件100的陶瓷层135上方， 使得具有通孔242的每个径向延伸部240与放置到冷却板110的每个通孔140中的各机械 紧固件260对准，且内侧部分228的未凹进部分224接触陶瓷层135的外围。该安装固定 架200然后可以设置在陶瓷层135上方，其中垂直延伸部220的自由端221面向远离陶瓷 层135的方向，使得安装固定架200的通孔242被设置在机械紧固件260的中央部分264 的周围。可以相对于衬底支撑件100可旋转地约束安装固定架200。
[0045] 根据一示例性实施方式，可以通过拉伸弹性体带160以配合垂直延伸部220的最 外围，从而将弹性体带160放置在该最外围。优选地，当弹性体带160放置在垂直延伸部220 的最外围时，不要拉伸超过其周长的2%，拉伸超过其周长的2%会永久地改变其弹性。可 以将弹性体