设备尾气处理装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明及一种O3设备尾气处理方法及O 3设备尾气处理装置。
【背景技术】
[0002]目前，太阳能光伏领域O3工艺:03工艺指的是利用臭氧易氧化的特性对硅片表面进行处理的工艺方法。在常温、常压下03气体活性很高，易与硅片表面的断裂键形成S1-O键，形成二氧化硅，从而形成一层很薄的氧化层保护硅片表面，抑制外界水汽、正负离子、颗粒的侵袭，提升硅片抗侵蚀的能力。
[0003]03设备及尾气处理:03设备是利用氧气在紫外光照射下产生离解，形成单个的O负离子及正离子，再随机结合形成O3及其他的带电O离子；现用的03设备通过CDA (压缩空气)、cv混合气体进气提供O3及适当的压力，通过带有紫外灯管的腔体内进行光化学反应产生03，同样通过CDA将产生的O3携带到硅片表面进行表面改性，提升硅片表面的抗侵蚀能力。在此过程中，部分O3未能及时反应，需通过外围管道将剩余的气体(尾气)排出，确保设备运行的稳定性及重复性。
[0004]在现有设备上，尾气的排放无任何监控及控制措施，不利于现场技术人员对尾气的管控，导致监控漏洞。在异常情况下，尾气排放偏大或者偏下，会对喷淋板下方O3处理硅片表面的能力造成严重影响，降低硅片表面的抗腐蚀能力，直接导致电池片PID(电势诱导衰减)能力下降，从而使电池片寿命缩短。
【发明内容】
[0005]本发明所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种03设备尾气处理方法，通过该方法可以及时监控和量化03设备尾气排放的流量，提升其稳定性，从而保证电池片PID能力，增加电池片寿命。
[0006]为了解决上述技术问题，本发明的技术方案是:一种O3设备尾气处理方法，该方法的步骤如下:
[0007](a)通过在03设备尾气管道上加装的流量计来检测O 3设备尾气排放时的实时流速m ；
[0008](b)比较实时流速m和尾气管道负压稳定条件下的尾气排放时的标称流速M的大小，通过控制在03设备尾气管道上加装的阀门的开度大小来调节实时流速m，使实时流速m向标称流速M靠拢。
[0009]进一步，在所述的步骤(b)中，通过控制在O3设备尾气管道上加装的阀门的开度大小来调节实时流速m，使实时流速m等于标称流速M。
[0010]进一步，在所述的步骤(b)中，当m < M时，加大阀门的开度；当m > M时，减小阀门的开度。
[0011]本发明还提供了一种设备尾气处理方法中使用的O3设备尾气处理装置，它包括流量计和阀门，所述流量计加装在O3设备尾气管道上，以便流量计用于检测O3设备尾气排放时的实时流速；所述阀门也加装在O3设备尾气管道上，以便阀门用于调节O3设备尾气排放时的实时流速。
[0012]采用了上述技术方案后，在O3设备尾气管道上加装合适量程的流量计，来衡量尾气排放时的流速，在管道负压稳定的条件下，尾气单位时间内的流量可以精确衡量:同时在管道中间加装阀门，通过控制阀门开度大小，来调整尾气排放的流量。在结合流量计、阀门的改善后，可以有效的控制尾气排放的大小，也利于异常的排查，确保设备的稳定性，防止因尾气排放过大或者过小导致03气体与硅片表面反应的异常，改善了 O 3工艺的稳定性。
【具体实施方式】
[0013]为了使本发明的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例，对本发明作进一步详细的说明。
[0014]一种O3设备尾气处理方法，该方法的步骤如下:
[0015](a)通过在03设备尾气管道上加装的流量计来检测O 3设备尾气排放时的实时流速m ；
[0016](b)比较实时流速m和尾气管道负压稳定条件下的尾气排放时的标称流速M的大小，通过控制在03设备尾气管道上加装的阀门的开度大小来调节实时流速m，使实时流速m向标称流速M靠拢。
[0017]在所述的步骤(b)中，通过控制在03设备尾气管道上加装的阀门的开度大小来调节实时流速m，使实时流速m等于标称流速M。
[0018]在所述的步骤(b)中，当m < M时，加大阀门的开度；当m > M时，减小阀门的开度。
[0019]一种O3设备尾气处理方法中使用的O3设备尾气处理装置，它包括流量计和阀门，所述流量计加装在O3设备尾气管道上，以便流量计用于检测O3设备尾气排放时的实时流速；所述阀门也加装在O3设备尾气管道上，以便阀门用于调节O3设备尾气排放时的实时流速。
[0020]本发明的工作原理如下:
[0021]在O3设备尾气管道上加装合适量程的流量计，来衡量尾气排放时的流速，在管道负压稳定的条件下，尾气单位时间内的流量可以精确衡量:同时在管道中间加装阀门，通过控制阀门开度大小，来调整尾气排放的流量。在结合流量计、阀门的改善后，可以有效的控制尾气排放的大小，也利于异常的排查，确保设备的稳定性，防止因尾气排放过大或者过小导致03气体与硅片表面反应的异常，改善了 O 3工艺的稳定性。
[0022]以上所述的具体实施例，对本发明解决的技术问题、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种O3设备尾气处理方法，其特征在于该方法的步骤如下: (a)通过在03设备尾气管道上加装的流量计来检测O3设备尾气排放时的实时流速m ; (b)比较实时流速m和尾气管道负压稳定条件下的尾气排放时的标称流速M的大小，通过控制在O3设备尾气管道上加装的阀门的开度大小来调节实时流速m，使实时流速m向标称流速M靠拢。2.根据权利要求1所述的O3设备尾气处理方法，其特征在于:在所述的步骤(b)中，通过控制在O3设备尾气管道上加装的阀门的开度大小来调节实时流速m，使实时流速m等于标称流速M。3.根据权利要求1或2所述的O3设备尾气处理方法，其特征在于:在所述的步骤(b)中，当m < M时，加大阀门的开度；当m > M时，减小阀门的开度。4.一种如权利要求1至3中任一项所述O3设备尾气处理方法中使用的O3设备尾气处理装置，其特征在于:它包括流量计和阀门，所述流量计加装在O3设备尾气管道上，以便流量计用于检测O3设备尾气排放时的实时流速；所述阀门也加装在O3设备尾气管道上，以便阀门用于调节03设备尾气排放时的实时流速。
【专利摘要】本发明公开了一种O3设备尾气处理方法及O3设备尾气处理装置，该方法的步骤如下：(a)通过在O3设备尾气管道上加装的流量计来检测O3设备尾气排放时的实时流速m；(b)比较实时流速m和尾气管道负压稳定条件下的尾气排放时的标称流速M的大小，通过控制在O3设备尾气管道上加装的阀门的开度大小来调节实时流速m，使实时流速m向标称流速M靠拢。通过该方法可以及时监控和量化O3设备尾气排放的流量，提升其稳定性，从而保证电池片PID能力，增加电池片寿命。
【IPC分类】H01L21/67, H01L31/18
【公开号】CN105118892
【申请号】CN201510521025
【发明人】彭义富
【申请人】常州天合光能有限公司, 湖北天合光能有限公司
【公开日】2015年12月2日
【申请日】2015年8月21日