rect write silver nano-ink conductors for microelectronic applications. Proc. SPIE 6879 (2008))。
[0052] 与此不同，该照射装置具有多个拥有窄带发射谱的红外辐射器。该发射谱优选地 包括IR-B和IR-C范围内的主要的辐射份额。当红外辐射器分别发射如下辐射时：所述辐 射关于相应红外辐射器的总辐射功率具有至少25%的IR-B辐射份额和最高13%的IR-C辐 射份额，实现良好的结果。
[0053] 含金属的墨汁是固体金属颗粒在分散剂中的分散体。金属颗粒本身对入射的IR-B 和IR-辐射具有高反射率。由红外辐射器发射的IR-B和IR-C辐射和由金属颗粒漫反射的 辐射分布在要干燥的层内，并且因此主要可供用于照射含金属的墨汁的另外的组成部分。 这些组成部分常常包括对具有该范围内的波长的辐射具有良好吸收特性的有机化合物。 IR-B和IR-C辐射有规律地被分散剂和挥发性物质吸收，使得这些组成部分可以蒸发。因 此，IR-B和IR-C辐射在金属颗粒在烧结过程中彼此连接以前有助于墨汁的良好干燥。
[0054] 在该上下文中已经经受考验的是，红外辐射器还发射可见和IR-A范围内的辐射 份额。具有该范围内的波长的辐射与IR-B和IR-C辐射相比具有更高的辐射能量并且尤其 是适于烧结金属颗粒。
[0055] 关于该装置，根据本发明，上述任务从开头提到类型的一种用于照射衬底的装置 出发来解决，其方式是，为了个别化地调节相应红外辐射器的额定运行功率，设置调节单 元，该调节单元从预先给定的额定辐射谱和预先给定的总照射功率个别化地确定红外辐射 器的相应额定运行功率，使得由所述额定运行功率相加得出额定辐射谱和总运行功率，所 依照的准则是，红外辐射器是构造相同的并且总照射功率与预先给定的额定值相差最大 15% 〇
[0056] 照射装置具有多个拥有圆柱形辐射器管和辐射器管纵轴的红外辐射器，所述红外 辐射器被布置成，使得辐射器管纵轴彼此平行地延伸。为了在这样的装置中既能够调整总 照射功率、又能够调整由红外辐射器发射的辐射谱，根据本发明设置多个红外辐射器和确 定红外福射器的相应额定运行功率的调节单元。
[0057] 主发射线的位置进而红外辐射器的发射谱由红外辐射器的温度来确定。伴随着红 外辐射器的温度的变化而来的是波长分布的变化。因为红外辐射器的温度依赖于其运行功 率，所以可以通过合适地选择运行功率来调整预先给定的辐射谱。
[0058] 通过根据本发明的装置包括多个红外灯，根据本发明规定，各个红外辐射器以个 别化的额定运行功率运行，以便获得所期望的频谱。红外辐射器尤其是可以以较小的运行 功率来运行（调暗的运行)。红外辐射器可以个别化地被激励。除此之外，因为总照射功率 从红外辐射器的运行功率之和得出，所以规定，各个红外辐射器可以被调节单元关断或接 通，以便调整总照射功率。通过合适地选择各个运行功率，实现了发射谱和总照射功率的调 整。
[0059] 红外辐射器布置在共同的照射单元中。与多个单独的辐射器不同，这样的照射单 元仅仅需要用于红外辐射器的共同的壳体，并且因此有助于该装置的紧凑构造形式。红外 辐射器以其辐射器管纵轴彼此平行的方式布置在照射单元内。通过辐射器管的平行布置， 获得面辐射器，该面辐射器适于以高照射密度平面地照射衬底。 实施例
[0060] 下面根据实施例和三个附图进一步描述本发明。其中以示意图： 图1以纵截面图示出了可根据本发明的运行方法运行的用于照射衬底的装置，该装置 包括四个双管红外辐射器； 图2示出了用于根据图1的双管红外辐射器的加热丝的电路装置；以及 图3示出了根据本发明的运行方法的一个扩展方案的流程图。
[0061] 图1示意性地示出了用于干燥和烧结衬底103上的含金属的墨汁的装置100的一 个实施方式，该装置按照根据本发明的方法来运行。装置100尤其是被用于干燥和烧结以 辊到辊方法制造的印刷电子组件中的墨汁。
[0062] 装置100包括：福射器模块101，其具有四个布置在其中的用于发射光学福射105 的红外辐射器102 ;反射器107 ;以及镜104,其用于将由辐射器模块101发射的辐射105的 一部分反射到衬底103上。
[0063] 红外辐射器102是构造相同的双管辐射器，其具有圆柱形辐射器管和辐射器管纵 轴；红外辐射器在辐射器模块101中被布置为，使得其辐射器管纵轴彼此平行地并且垂直 于传输方向108延伸。作为短波红外辐射器，所述红外辐射器具有大约2200° C的标称色 温。所述辐射器102的发射最大值处于大约1. 2 μ m的波长处。
[0064] 红外辐射器102发射如下辐射：所述辐射具有大于25%的IR-B辐射的辐射份额以 及在IR-C范围中具有相应总辐射器功率的最高13%。在IR-A范围中，红外辐射器分别发射 总福射器功率的大于25%。
[0065] 相邻的红外辐射器102彼此具有55mm的间距111。红外辐射器102的辐射器下侧 与衬底之间的间距a为60mm。调校单元(未示出)使得能够在35mm至185mm范围内简单地 调整间距a。
[0066] 福射器模块101具有两侧弯曲的壳体106,该壳体106具有朝向红外福射器102的 侦k反射器107被施加到该侧上。通过反射器107包括基底反射器107a和两个侧面反射 器107b、107c，大份额的由红外辐射器102发射的红外辐射被耦合输入在衬底103上。反射 器107由错制成，并且适于反射具有800nm至5000nm范围内的波长的红外福射。在一个替 代的实施方式(未示出）中，将由铝、银、金、铜、镍或铬构成的高反射性涂层施加到壳体上。
[0067] 辐射器模块101照射衬底103的表面上的照射域。辐射器模块101被设计用于以 大约150 kW/m2的平均照射密度来照射照射域。该照射域具有1800cm 2的总面积。
[0068] 衬底103是由PET制成、具有0.1 mm膜强度的塑料膜，该塑料膜由传输装置(未示 出）在传输方向108上相对于辐射器模块101移动。衬底103的移动以恒定的进给速度进 行。
[0069] 在壳体106内设置有用于冷却反射器107和红外福射器102的冷却兀件(未不出）。 冷却元件是水冷装置。该水冷装置有助于该装置、尤其是辐射器和反射器层的高寿命。在 一个替代的实施方式中，冷却元件是空气冷却装置。在此，该冷却元件被设计成，使得衬底 103由于其小的热质量而不通过从辐射器模块101出发的空气流来冷却。这例如通过反射 器107的空气再冷却装置、或者红外辐射器102和反射器107的具有特殊空气引导装置和 侧面空气出口的空气冷却装置来实现。
[0070] 图2示出了图1中的双管红外辐射器102的加热丝201-208的电路装置200。加 热丝201-208被划分成具有四个加热丝205-208的第一组和布置在第一组之后的具有四个 加热丝201-204的第二组。
[0071] 加热丝201和205、202和206、203和207以及204和208并联。并联的加热丝以 运行参数、运行电压、运行电流和运行功率的相同值运行。因此，加热丝照射由两个相同子 域组成的照射域(未示出）。
[0072] 示例 1 照射装置包括四个具有总共八个丝的红外辐射器。每个红外辐射器针对2600° C标 称温度下的230V标称电压、2620W标称功率来设计。加热的丝长度为350mm。
[0073] 在预先给定的5850 W的总照射强度的情况下，运行电压U1和照明的辐射器的数 目η的改变如表1中所示实现了辐射谱的匹配。在此,P 1表达丝的运行功率，P ^表达总照 射功率，T表达丝温度，λ _表达主发射线的波长，并且P YPnenn表达单体运行功率与标称功 率的百分比率。
如表1所示，可以通过改变运行电压U1和照明的丝的数目η来实现几乎恒定的大约 5850 W ± 3 %的总照射功率。因此，照射装置的发射谱可以在任何时候都与新的衬底相匹 配。取消了辐射器的高成本的换装。
[0075] 在下面的表2中将相应辐射器温度与频谱范围VIS (380 nm - 780 nm)、IR-A (780 nm - 1400 nm)和 IR-B (1400 nm - 3.000 nm)中的能量份额相对照。
示例2 用于干燥和烧结墨汁的照射装置