次印刷在背面指状交叉的P+扩散层区域和背面n+扩散层区 域的纯化层上，然后利用红外带式烧结炉烧结，烧结后，所述导电浆料烧穿背面纯化层并分 别在背面P+扩散层区域和背面n+扩散层区域上形成接触指插状电极，完成全背电极太阳能 电池的制造;其中红外加热的带式烧结炉在空气中烧结，不同的烧结炉的设定溫度是不同 的，但一般要求烧结时，娃片上的实际峰值溫度在700-860°C，大于800°C的时间不要超过5 秒，其中图1示出了实施例1制备的全背电极太阳能电池的结构示意图，图中1为导电浆料烧 结后形成的接触电极。
[0058] 其中，所述导电浆料重量百分比的成分如表3所示；
[0化9] 表3
[0060]
[0061] 在实施例2中所述无机玻璃粉包括W下重量百分比的各组分:20%氧化铅，5%氧 化娃，5 %氧化棚，8 %氧化祕，10 %氧化蹄，2 %氧化侣，3 %氧化锁，1 %氧化钢，2 %氧化裡， 3 %氧化儀，3 %氧化鹤，8 %氧化儘，10 %氧化锋，2 %氣化钢，3 %氣化侣，15 %氣化铅。
[0062] 在实施例2中所述有机载体的成分按重量百分比计包括:改性纤维素衍生物10%， 二乙二醇下酸83%，1-乙基-3-甲基氯化咪挫2%，巧樣酸Ξ下醋5%，其中改性纤维素衍生 物的制备方法为:取化g径丙基甲基纤维素加入lOOkgl-乙基-3-甲基氯化咪挫中，于60°C溫 度下揽拌2小时，然后加入2kgS乙胺，并O.lkg/min的滴加速递将10kg的苯甲酯氯加入，在 80°C的条件下W50化/min揽拌反应8小时，得反应混合物;将反应混合物冷却至室溫后，加 入反应混合物3倍体积的乙醇混合，过滤，固体物用体积百分比浓度为95%的乙醇水溶液洗 涂3次后，干燥，即制得改性纤维素衍生物。
[0063] 在实施例2中所述有机添加剂为乙基硅油与苯基硅油按重量比1:1混合;所述功能 性添加剂为分散剂、防沉淀剂、抗老化剂、流变剂按重量比1:1:1:1混合。
[0064] 其中，实施例2中的导电浆料的制备方法为将改性纤维素衍生物、分散剂和粘度调 节剂加入有机溶剂中，揽拌混匀，然后加入银粉、无机玻璃粉、有机添加剂，揽拌均匀，再经 过Ξ漉研磨机研磨，使研磨后浆料的细度小于6um，调节浆料粘度至130~300Pa.s，使浆料 具有较好的印刷性，能够用设计线宽为38微米的印刷网板印刷，印刷宽度可在46微米到60 微米之间。
[0065] 在本发明制备全背电极太阳能电池的生产工艺中，采用将同一种导电浆料同时印 刷在η型娃衬底娃片P+扩散层和n+扩散层上的纯化层上，并采用同样烧结条件同时烧穿，在 P+扩散层和n+扩散层上形成低接触电阻的的导电电极，形成的接触电阻率较小，同时大大 简化了 IBC电池的生产工艺，降低了 IBC电池的生产成本。
[0066] 尽管本发明的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列 运用，它完全可W被适用于各种适合本发明的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地 实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本发明并不限 于特定的细节和运里示出与描述的图例。
【主权项】
1. 一种全背电极太阳能电池的生产工艺，其特征在于，包括以下步骤： 步骤一、在η型硅衬底硅片背面分别进行磷、硼局部扩散，形成具有指状交叉排列的背 面η+扩散层区域、背面Ρ+扩散层区域;在η型硅衬底硅片前表面进行磷扩散，形成前表面η+ 扩散层； 步骤二、将η型硅衬底硅片进行退火氧化处理，在η型硅衬底硅片的前后表面形成氧化 层； 步骤三、在η型硅衬底硅片的前表面和背面沉积钝化层，形成前表面钝化层和背面钝化 层;在前表面钝化层上沉积增反层，形成前表面增反层； 步骤四、将导电浆料单次印刷在背面指状交叉的Ρ+扩散层区域和背面η+扩散层区域的 钝化层上，然后烧结，烧结后，所述导电浆料同时烧穿背面钝化层并分别在背面Ρ+扩散层区 域和背面η+扩散层区域上形成接触电极，完成全背电极太阳能电池的制造。2. 如权利要求1所述的全背电极太阳能电池的生产工艺，其特征在于，所述导电浆料包 括以下重量百分比的各组分:银粉80-90%，无机玻璃粉0.1-10%，有机载体1-15%，有机添 加剂0 · 1-10 %，铝粉0 · 0-0 · 2 % ;功能性添加剂0 · 05-5 %。3. 如权利要求2所述的全背电极太阳能电池的生产工艺，其特征在于，所述导电浆料包 括以下重量百分比的各组分:银粉87%，无机玻璃粉3%，有机载体含量为8%，有机添加剂 1.5%，功能性添加剂0.5%。4. 如权利要求2所述的全背电极太阳能电池的生产工艺，其特征在于，所述无机玻璃粉 的成分按重量百分比计包括:5~50%氧化铅，2~15%氧化硅，3~20%氧化硼，5~50%氧 化铋，10~50 %氧化碲，1~20 %氧化铝，0 · 05~20 %氧化锶，0 · 05~5 %氧化钠，0 · 5~10 % 氧化锂，0.05~5 %氧化镁，0.05~5 %氧化妈，0.05~9 %氧化猛，1~20 %氧化锌，0.05~ 5%氟化钠，0.01~5%氟化铝，0.01~50%氟化铅。5. 如权利要求2所述的全背电极太阳能电池的生产工艺，其特征在于，所述有机载体的 成分按重量百分比计包括：改性纤维素衍生物10~15%，有机溶剂55~85%，分散剂1~ 5%，粘度调节剂5~10%;所述分散剂为1-乙基-3-甲基氯化咪唑、1-丁基-3-甲基氯化咪 唑、1 -正十六烷基-3甲基溴化咪唑、1 -己基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐中的一种。6. 如权利要求5所述的全背电极太阳能电池的生产工艺，其特征在于，所述改性纤维素 衍生物的制备方法为:按重量份，取2~8份羟丙基甲基纤维素加入80~100份离子液体中， 于8~100°C温度下搅拌1~2小时，然后加入2~3份三乙胺，并0.1~0.5份/min的滴加速递 将5~15份的苯甲酰氯加入，在80~100°C的条件下以300~500r/min搅拌反应8~10小时， 得反应混合物;将反应混合物冷却至室温后，加入反应混合物3倍体积的乙醇混合，过滤，固 体物用体积百分比浓度为95%的乙醇水溶液洗涤3次后，干燥，即制得改性纤维素衍生物； 所述离子液体为1-乙基-3-甲基氯化咪唑、1-丁基-3-甲基氯化咪唑、1-正十六烷基-3甲基 溴化咪唑、1 -己基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐中的一种。7. 如权利要求1所述的全背电极太阳能电池的生产工艺，其特征在于，所述η型硅衬底 硅片为η型单晶硅，其电阻率在1-12Ω·cm，厚度为100-150微米;所述背面η+扩散层的方块 电阻为80Ω/口。8. 如权利要求1所述的全背电极太阳能电池的生产工艺，其特征在于，所述前表面钝化 层和背面钝化层为单层膜或叠层膜；所述背面钝化层的厚度为50~80nm;所述单层膜为 SiNx膜，所述叠层膜为Si02/Si3N4叠层膜、Si02/Al2〇3/Si3N4叠层膜、Al2〇3/Si3N4叠层膜中的 一种。9. 如权利要求1所述的全背电极太阳能电池的生产工艺，其特征在于，所述步骤二中， 退火温度控制在800-1000°C，退火时间控制在20-60分钟，在η型硅片的前后表面形成氧化 层，所述氧化层厚度为3_15nm〇10. 如权利要求1所述的全背电极太阳能电池的生产工艺，其特征在于，所述步骤四中， 烧结采用红外带式烧结炉。
【专利摘要】本发明公开了一种全背电极太阳能电池的生产工艺，包括：(1)在n型硅衬底硅片背面形成具有指状交叉排列的背面n+扩散层区域、背面p+扩散层区域；在n型硅衬底硅片前表面形成前表面n+扩散层；(2)将n型硅衬底硅片进行退火氧化处理形成氧化层；(3)在n型硅衬底硅片的前表面和背面沉积钝化层；在前表面钝化层上沉积增反层；(4)将导电浆料印刷在背面钝化层上，烧结后，分别在背面p+扩散层区域和背面n+扩散层区域上形成接触电极，完成全背电极太阳能电池的制造。本发明将单一导电浆料同时印刷在背面p+扩散层和n+扩散层上的钝化层上，烧结后在p+扩散层和n+扩散层上形成低接触电阻的指状交叉导电电极，简化了IBC电池的生产工艺，降低了IBC电池的生产成本。
【IPC分类】H01L31/068, H01L31/0224, H01L31/18, H01B1/22
【公开号】CN105489710
【申请号】CN201610046118
【发明人】李运钧, 朱航, 杨蔚, 曾国平, 杨墨熹, 李昕
【申请人】四川银河星源科技有限公司
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2016年1月22日