载特性测定功能241的测定结果、自适应滤波功能251的自适应结果。
[0217]在步骤3-6中未达到最高刚性限制的情况下，在步骤3-6-1中与当前的刚性指标相对应地将谐振抑制部25的当前的设定保存在未图示的存储区域中。如果在步骤3-1中启动了自适应滤波功能251，则谐振抑制部25的设定有时按刚性而不同。该记录被有效利用于后述的步骤4。
[0218]步骤3-6-2在步骤3-6-1之后执行，对刚性设定功能231设定高一个等级的刚性指标，在步骤3-2中再次执行试运转动作。通过依次逐渐提高刚性指标，步骤3-2至步骤3-6的循环以有限次数在步骤3-4至步骤3-6中的某一个判定中结束。
[0219]步骤3-7是在步骤3-6中达到最高刚性限制的情况下执行的，将当前的刚性指标、即最高刚性限制设定为最高刚性来结束搜索，并转移到步骤3-8。
[0220]最后，步骤3-8在步骤3结束时执行，在步骤3-1中自适应滤波功能251变为有效的情况下，通过伺服调整部6使自适应处理开始信号变为“断(OFF) ”，由此使自适应滤波功能251无效化。此时的谐振抑制部25的设定通常成为最后的自适应结果。但是，在步骤3-4中探测出振荡的情况、在步骤3-5中检测出振动的情况、以及降低刚性指标以备于步骤4的执行的情况等刚性指标不同于最高刚性的情况下，需要事先将谐振抑制部25设定为通过步骤3-6-1存储的与刚性指标对应的谐振抑制部设定。
[0221]此外，关于步骤3中的各步骤，除了特别指定了顺序的步骤以外，也可以更换步骤的顺序。例如能够更换步骤3-4与步骤3-5。
[0222]图24A、图24B以及图24C是本实施方式中的伺服调整的步骤3中的动作模式图。
[0223]在此，将在步骤3-6中达到最高刚性限制的情况作为图24A的事例1、将在步骤3-4中探测出振荡的情况作为图24B的事例2、将在步骤3-5中超过振动检测水平的情况作为图24C的事例3，来表示在动作模式图中。
[0224]在图24A的事例I的情况下，从步骤2中的刚性指标11起，在步骤3-2中开始通过步骤2决定的最高加速度模式的试运转动作。由于在步骤3-4中未探测出振荡、在步骤3-5中也未检测出超过振动检测水平，因此按每两次试行次数通过步骤3-6-2使刚性指标上升I，直到在步骤3-6中达到最高刚性限制为止。在此期间，自适应滤波功能251为有效，谐振抑制部25的第三陷波滤波、第四陷波滤波设定在每次刚性指标上升时发生变化。该谐振抑制部25的设定在步骤3-6-1中与当前的刚性指标成组地被存储。在以最高刚性限制15完成了试行次数的试运转动作时，步骤3-6的判定为“是”，在步骤3-7中将最高刚性设定为15，步骤3结束。
[0225]在图24B的事例2的情况下，没有记载事例I的谐振抑制部25设定的变化，但是设为同样地进行动作。在该情况下，示出了以下情形:在步骤3-6中达到最高刚性限制之前，在以刚性指标14开始第二次动作的时间点，通过步骤3-4，振荡探测功能26探测出振荡而振荡探测信号变为“通(0N)”。通过与接收到该振荡探测信号的刚性设定功能231之间的协作，刚性指标下降到8而使振荡停止。在该情况下，在振荡停止后转移到步骤3-4-1，将最高刚性设定为从探测出振荡时的刚性指标14留出2个等级的余量后得到的刚性12，步骤3结束。此时，也可以同时对第三陷波滤波进行频率1200Hz、宽度2、深度O的设定，来作为与刚性12对应的对谐振抑制部25的设定。
[0226]在图24C的事例3的情况下也同样地，记录了谐振抑制部25设定的变化。在该情况下，通过评价指标测定功能27来测定与振动有关的评价指标，在步骤3-6中达到最高刚性限制之前的刚性指标14的试运转动作完成的时间点，步骤3-5的与振动有关的指标超过了振动检测水平，因此在步骤3-5-1中将最高刚性设定为紧前的刚性指标13，结束步骤3。与事例2同样地，可以还同时进行与刚性指标13对应的谐振抑制部25设定。
[0227]如以上那样，本实施方式的伺服调整方法的步骤3按步骤2的最高加速度模式进行通过步骤I指定的试行次数的试运转动作。而且，本步骤3包括以下结构:提高刚性指标直到达到通过步骤I指定的最高刚性限制为止，在刚性指标达到通过步骤I指定的最高刚性限制时，以此为基准来决定最高刚性。
[0228]另外，本步骤3包括以下结构:在开始试运转动作之前，进行通过步骤I指定的自适应滤波功能的有效或无效设定，在决定最高刚性后使自适应滤波功能无效化。
[0229]另外，本步骤3包括以下结构:将即将提高刚性指标时的谐振抑制部的设定值与当前的刚性设定相对应地进行存储。
[0230]另外，本步骤3包括以下结构:在试运转动作中探测出振荡的情况下，以探测出振荡时的刚性指标为基准来决定最尚刚性。
[0231]另外，本步骤3包括以下结构:在试运转动作中与振动有关的评价指标超过了通过步骤I指定的振动探测水平的情况下，以紧前的刚性指标为基准来决定最高刚性。
[0232]这样，在本实施方式4中，通过伺服调整的步骤3，与步骤I协作来进行决定最高刚性所需的初始设定，进行与步骤2相协作的试运转动作，能够存储最高刚性的决定以及与刚性指标对应的谐振抑制部的设定。
[0233](实施方式5)
[0234]图25是表示实施方式5中的伺服调整步骤4的操作画面的图。
[0235]在图25中，左半部分是指令选择块，具备用于选择与步骤3及之前步骤同样的试运转功能211在内部位置指令下的动作和按照外部位置指令的动作的单选按钮(rad1button)ο
[0236]在此，在选择了外部位置指令的情况下，使试运转功能211无效化，将向指令选择部21的指令选择信号切换到外部位置指令侧。另外，在选择了内部位置指令的情况下，继续当前的试运转功能。在默认情况下，在画面的移动量、最高速度、加减速时间处显示通过步骤2决定的最高加速度模式的设定，但是在步骤4中能够与用户对装置所要求的动作模式相应地变更试运转设定。
[0237]另外，为了指定在通过步骤2设定的动作范围内的启动位置，也能够利用正负方向的移动按钮来使电动机动作。
[0238]右半部分是指令响应测定块，以所选择的位置指令对指令响应测定进行控制。在指定了移动方向和步骤4的每个检索模式的试行次数后，按下测定/暂停按钮(START，“开始”)，由此开始指令响应测定。每当试运转动作结束时，作为通过评价指标测定功能27测定出的评价指标的定位整定时间、过冲量、振动水平、INP变化次数被实时地显示在画面上。
[0239]如果指令响应测定完成并对测定结果满足，则按下右下方的“下一步”按钮，由此能够进入步骤5。如果在该时间点对结果不能满足，则再次按下开始按钮来进行测定或按下左下方的“返回”按钮，由此能够废弃测定结果并返回到步骤3。
[0240]图26是表示本实施方式中的伺服调整的步骤4的过程的流程图。
[0241]在步骤4-1中，在步骤4-4中开始指令响应测定之前，基于通过步骤3指定的最高刚性，来决定将多个刚性指标与指令响应指标相组合的检索模式。利用图27A、图27B以及图27C来详细叙述该检索模式。
[0242]在步骤4-2中，在步骤4-4中开始指令响应测定之前，按照通过步骤I设定的负载特性测定结果向负载特性补偿部24的反映的有无，将在步骤2中通过负载特性测定功能241测定出的负载特性估计值应用于负载特性补偿部24。特别是，关于摩擦补偿的设定，既可以应用以步骤2的最高加速度模式所估计出的结果，也可以基于测定结果的平均、最大、最小值进行计算或者根据通过步骤4选择出的动作模式来决定。
[0243]在步骤4-3中，在步骤4-4中开始指令响应测定之前，对操作画面的指令选择块进行操作来进行指令重选。
[0244]在步骤4-4中，通过按下操作画面的指令响应测定块的测定/暂停按钮(START，“开始”)，来开始指令响应测定。
[0245]在步骤4-5中，在步骤4-7中实际进行动作之前，按照通过步骤4_1决定的检索模式来变更刚性指标与指令响应指标的组合。然后，利用指令响应设定功能221按照上述指令响应指标对指令响应设定部22进行设定，利用刚性设定功能231按照上述刚性指标对位置速度控制部23进行设定。
[0246]在步骤4-6中，在步骤4-7中实际进行动作之前，进行与通过步骤4_5设定的刚性指标对应的、通过步骤3存储的谐振抑制部25的反映。此外，期望的是，步骤4-5的刚性指标设定和本步骤的谐振抑制部25设定尽可能同时地变更。虽然在本流程图上分为不同的步骤，但是也可以在电动机驱动装置2侧通过未图示的同步功能使向实际控制的反映定时一致。
[0247]在步骤4-7中，按照通过步骤4-3选择出的指令，使电动机动作试行次数。
[0248]在步骤4-8中，基于步骤4-7的电动机动作，通过评价指标测定功能27来测定各动作中的评价指标。此处的评价指标是与定位精度有关的整定时间、过冲量、INP变化次数、振动水平等。如果对存储容量没有限制，则最好收集尽可能多的评价指标。该测定结果与检索模式相对应地被存储在未图示的存储区域中。
[0249]在步骤4-9中，判定是否已完成全部检索模式的全部搜索。如果尚未完成搜索，则返回到步骤4-5，再次变更刚性指标/指令响应指标的组合。如果已完成全部搜索则结束步骤4。
[0250]此外，关于步骤4中的各步骤，除了特别指定了顺序的步骤以外，也可以更换步骤的顺序。例如步骤4-1至步骤4-3只要是在步骤4-4的指令响应测定开始前，则可以是任何顺序。
[0251]图27A是表示本实施方式中的步骤4-1的检索模式表的图。
[0252]在通过步骤3决定了最高刚性的情况下，在步骤4-1中参照检索模式表来选出6个丰旲式的指令响应指标N0.1至N0.6。另外，关于刚性指标，选择包括最尚刚性在内的从最高刚性到低5个等级的刚性指标这6个。将使它们相组合的36种检索模式作为检索模式，在步骤4-5中一边顺次地变更检索模式一边进行指令响应测定。当然，也可以为了兼顾测定精度和测定时间而根据需要增减该检索模式的组合数。
[0253]在如图27B和图27C那样取刚性指标为纵轴、取指令响应指标为横轴的情况下，该组合以排列成棋盘格的方式进行配置。刚性指标与指令响应指标的组合方法不限于本例，也能够按每个刚性参照检索模式表来选择对应的指令响应指标N0.1至N0.6。在该情况下，棋盘格成为变形为平行四边形的形状。
[0254]图28A、图28B以及图28C是本实施方式中的指令响应测定时的动作图。
[0255]在步骤4-1中如图27A那样决定了检索模式的情况下，首先通过步骤4_5将刚性指标设定为最低的值(比最高刚性15低5级)的10，选择指令响应指标N0.1的22。此时，在步骤4-6中同时反映与刚性指标10对应的谐振抑制部25设定。(在本例中第三陷波、第四陷波均无效)。
[0256]在该状态下，在步骤4-7中进行试行次数(在此为两次)的电动机动作。按每个动作，在步骤4-8中由评价指标测定功能27输出评价指标，因此与刚性指标=10/指令响应指标=22的检索模式相组合地存储最初的数据。接着，选择指令响应指标N0.2的9，进行电动机动作，存储评价指标测定结果。下面，直到指令响应指标N0.6为止是同样的。接着，将刚性指标设定为11，指令响应指标复位为N0.1的22。再次进行谐振抑制部25设定的反映，开展指令响应测定。如果得到了对于最高刚性15与指令响应指标N0.6的4的组合的评价指标测定结果，则步骤4的全部搜索已完成。
[0257]如以上那样，本实施方式的伺服调整方法的步骤4基于通过步骤3指定的最高刚性来决定将多个刚性指标与多个指令响应指标相组合的检索模式。并且，本步骤4使用指令响应设定功能和刚性设定功能，一边顺次地改变指令响应指标和刚性指标，一边通过试运转功能使电动机按步骤2的最高加速度模式动作通过步骤I设定的试行次数。而且，本步骤4为以下结构:针对检索模式的全部组合测定并存储评价指标。
[0258]另外，本步骤4包括以下结构:在变更刚性指标时，使通过步骤3存储的针对每个刚性指标的谐振抑制部设定反映到谐振抑制部。
[0259]另外，本步骤4包括以下结构:具备指令重选步骤，以此代替通过试运转功能使电动机按步骤2的最高加速度模式动作基于步骤I的设定的试行次数。在此，该指令重选步骤为以下结构:变更试运转功能的动作模式、或者选择基于外部位置指令的动作。
[0260]另外，本步骤4包括以下结构:作为评价指标，至少测定整定时间、过冲量、振动水平、定位完成输出信号变化次数。
[0261]另外，本步骤4包括以下结构:在通过步骤I选择了有摩擦补偿时，使负载特性补偿功能的摩擦补偿有效。
[0262]这样，在本实施方式5中，通过伺服调整的步骤4，与步骤1、步骤2相协作地进行指令响应测定所需的初始设定，根据步骤3的结果来决定检索模式，能够得到所选择的指令动作下的评价指标测定结果。
[0263](实施方式6)
[0264]图29是表示实施方式6中的伺服调整的步骤5的操作画面的图。
[0265]在图29中，左半部分是推荐设定选择块，能够通过组合框来选择推荐条件。该推荐条件包括“整定时间优先” “无过冲”等用于使特定的评价指标最佳的条件、如“过冲指定” “整定时间指定”那样指定目标值来选择最接近的指标的条件、如“高刚性设定”那样对刚性指标施加固定的限制的条件等。
[0266]当选择了推荐条件时，基于通过步骤4测定出的评价指标测定结果，在与推荐条件对应的制约条件、排序条件下，选择优先级最高的刚性指标与指令响应指标的组合，同时还显示步骤4中的评价指标测定结果。
[0267]当按下微调按钮时，打开图32中详细叙述的不同画面，能够基于推荐结果来进一步进行微调。
[0268]右半部分是测试运转块，通过按下测试开始(START，“开始”)按钮，电动机按照通过步骤4选择出的指令而动作试行次数。在基于外部位置指令进行动作的情况下，只有评价指标测定功能27启动，进行试行次数的测定。测定结果被实时地显示在右下方的测试结果处，能够确认与左下方的步骤4中的测定结果之间的比较、通过微调引起的评价指标的变化。
[0269]如果最终设定完成并对测试结果满足，则按下右下方的“下一步”按钮，由此能够结束伺服调整步骤。此时，也可以将最终调整结果、此前的全部步骤中的测定结果保存在电动机驱动装置2或伺服调整部6中。如果在该时间点对结果不能满足，则再次选择推荐条件来得到不同的最终结果、或者通过按下左下方的“返回”按钮来废弃推荐结果并返回到步骤4。
[0270]图30是表示本实施方式中的伺服调整的步骤5的过程的流程图。
[0271]在步骤5-1中，首先，通过操作画面的推荐设定选择块来选择推荐条件。推荐条件的详情在图31中详细叙述。推荐条件既可以如上所述那样从组合框选择，也可以对评价指标进行图表显示来以图的方式选择。另外，也可以直接指定检索模式的指令响应指标与刚性指标的组合。总之，只要是从检索模式中选出一个以上的候选的方法，就能够容许任何方法。
[0272]在步骤5-2中，根据步骤4的评价指标测定结果，按照通过步骤5-1选择出的推荐条件，选出优先级最高的检索模式的指令响应指标和刚性指标来作为最终调整结果。如果推荐条件包括排序条件，则也可以显示优先级第二以后的候选。
[0273]在步骤5-3中，对通过步骤5-2选出的最终调整结果进行电动机控制的基本功能的参数微调。通过按下操作画面的微调按钮，启动图32中详细叙述的微调画面。
[0274]在步骤5-4中，在操作画面的测试运转块中按下测试开始(START、“开始”)按钮，由此将通过步骤4选择出的指令下的电动机动作进行试行次数。
[0275]在步骤5-5中，每当进行一次步骤5-4的电动机动作时，显示通过评价指标测定功能27重新测定出的评价指标。与步骤4同样地，若显示整定时间、过冲量、振动水平、INP分割次数则易于获知变化，从而优选。
[0276]在步骤5-6中，判定利用以上的最终调整结果是否达到了控制目标，如果未达到目标则返回到步骤5-1的推荐条件的选择，重复最终调整结果的选定和测试动作。
[0277]在步骤5-6中已达到控制目标的情况下，步骤5-7使电动机驱动装置2的全部自动调整功能无效化，结束步骤5。特别是，为了避免伺服调整后的异常动作，事先使作为常驻型的功能的负载特性测定功能241、自适应滤波功能251、振荡探测功能26无效化是非常重要的。对于作为启动型的功能的试运转功能211，在无效化的基础上设定为受理