专利名称：弹性表面波装置及使用该装置的电子零件的制作方法
技术领域：
本发明是有关使用于通信机器的弹性表面波装置及使用该装置的电子零件。
此方法以抑制弹性表面波朝向双方向激振而在降低变换损耗上有其效果，但由于作为梳状电极的激振源的交叉部分并不一定在同一传播路径上，因此一部分会产生朝向双方向传播的弹性表面波而会增加损耗的情形。
为了解决此问题，采取了将邻接于梳状电极的电极指的共通部分的间隔设在1/8波长以内且在梳状电极的电极指设置分岐(分支)部分，或是切除(切掉)梳状电极或反射器电极的共通部分顶角的角部。
另外，有关该发明的技术可举出特开平7-263994号公报及特开平9-186543号公报。
图6A是现有技术的弹性表面波装置的主视图，图6B是现有技术的弹性表面波装置的局部放大图。此弹性表面波装置具有压电基板1、梳状电极2、反射器电极3、梳状电极2的共通部分4、反射器电极3的共通部分5。这些现有技术的梳状电极群的交叉部分形成在同一传播路径上而能将弹性表面波的传播方向收齐在一个方向，从而能改善因传播方向的不一致所导致的变换损耗。但是，一旦在邻接的电极之间形成电极之际所发生的电位差变大的话，则因电极的形状会变钝，弹性表面波能量会泄漏到外部而造成传播损耗变大。另外，虽然通过切除共通部分项角的角部能防止电极之间的短路，但因会留下电极指形状的钝角，因此会使弹性表面波能量泄漏到外部而造成传播损耗变大。
此弹性表面波装置及使用此装置的电子零件的传播损耗小。
图1B是实施例1的弹性表面波装置的局部放大图。
图2A是现有技术的的弹性表面波装置的局部放大图。
图2B是图2A的弹性表面波装置的沿2B-2B的剖视图。
图2C是实施例1的弹性表面波装置的局部放大图。
图2D是图2C的弹性表面波装置的沿2D-2D的剖视图。
图3是实施例1的电子零件的剖视图。
图4是本发明实施例2的弹性表面波装置的局部放大图。
图5是本发明实施例3的弹性表面波装置的局部放大图。
图6A是现有技术的的弹性表面波装置的主视图。
图6B是现有技术的的弹性表面波装置的局部放大图。
在图1B中，电极被切入之前的梳状电极2与反射器电极3的间隔为间隔H0，将电极切入后的梳状电极2与反射器电极3的最大间隔为间隔H1。相对于条带部分的长边方向，将电极切入前的共通部分的宽度为宽度D0，而共通部分的最大切入宽度为宽度D1。相对于条带部分的长边方向以条带部分的端部为基准的条带部分的最大切入宽度设为D2，而将要切入前的条带部分的宽度设为d0。
另外，图1A是模式化地表示实施例1的弹性表面波装置，而非表示电极长度及电极间的间隔的相对性的关系。
在实施例1中，在反射器电极3的共通部分5上的与梳状电极2对向的角部的一部分被直线性地切入，邻接梳状电极2的反射器电极3的最外侧的条带部分10的一部分被直线性地切入。因此梳状电极2与反射器电极3的间隔形成部分地扩大，如此一来，可防止因蚀刻金属薄膜而形成电极图形之际所发生的、因邻接电极的电位的影响而造成电极形状变钝的情形，从而能降低弹性表面波装置的传播损耗。
以下说明以实施例1所构成的装置的制造步骤。
例如以溅射法在LiTaO3等所构成的晶圆状压电基板1上将Ti等所构成的金属形成10nm的Ti薄膜。
其次以溅射等方法在Ti薄膜上将Al等所构成的金属形成100nm的Al薄膜。
反复此操作2次来层叠Ti薄膜与A1薄膜而获得最上层形成Al薄膜的金属薄膜22。最后的金属对膜22的膜厚为220nm。Ti薄膜与Al薄膜的层叠顺序、膜厚可视情况而改变。
接着在金属薄膜22上涂布抗蚀层21，并配合一定的光掩模由例如分层曝光器进行曝光、显影、而去除不要的抗蚀剂从而形成规定的图形。
其次以例如干式蚀刻等方法，在金属薄膜22上形成图1A所示的电极图形。之后去除残留的抗蚀剂并使用切割装置来切断以获得单片的弹性表面波装置12。由此因可降低在压电基板晶圆面内蚀刻时所发生的电位及热的影响，故能减小在压电基板晶圆面内电极形状变钝的不一致。因此，可减小从一个晶圆所得到的多个弹性表面波装置的传播损耗的不一致。
如图1A所示，电极图形具有将邻接的梳状电极2与反射器电极3之中反射器电极3的共通部分5的一部分切入的形状，而使与梳状电极对向的共通部分5的四个角部被切入。电极的膜厚为220nm，电极间隔(S)与膜厚(L)的比率(S/L)为2.7。
另外，所谓电极间隔(S)是将邻接的电极切入前的状态下的梳状电极与反射器电极3的间隔。对切入部的条件是H1/H0＝1.7；D1/D0＝0.75；D2/d0＝1.5。
在此条件下几乎不会发生电极形状的变钝。
然而，电极形状的钝化在蚀刻金属薄膜22的时会发生以下的变化过程。图2A～图2D是电极形状与蚀刻状态的概念图。图2A与图2B表示邻接的电极间无切入的现有技术的弹性表面波装置。
当以干式蚀刻法来蚀刻图2A的图形时，由于离子束23是带正电的离子，因此抗蚀剂21带负电，金属薄膜22及压电基板1带正电。因此在蚀刻的初期阶段离子束23会垂垂直进入入，而使金属薄膜大致按照抗蚀剂21的形状被蚀刻，但随着蚀刻的进展而渐使金属薄膜22及压电基板1的带电量增大起来。
由于压电基板1、金属薄膜22、离子束23均带正电，所以离子束23因金属薄膜22及压电基板1的正电荷而受到排斥力以致于难以垂直进入，前进方向在中途弯曲而会冲击到金属薄膜22的侧面。一旦形成如此的状态，则离子束23会冲击金属薄膜22的侧面而发生侧面蚀刻。如此一来，金属薄膜22侧面的原子会被离子束23打飞，其中一部分会重新附着在金属薄膜22的端部或压电基板1上。因连续发生如此现象而使金属薄膜22成分堆积在金属薄膜22侧面及压电基板上，看上去电极形成钝化的形状。以此状态再继续干式蚀刻的话，则抗蚀剂21的一部分由离子束23打飞，并在电极形状变钝部分24表面附着已碳化的抗蚀剂21成分。
一旦形成如此状态，则弹性表面波的传播能量会通过电极形状变钝部分而泄漏到外部，从而使传播损耗变大并且在极端的情形下，邻接的电极间会短路而明显恶化弹性表面波装置的特性。
为了避免这种现象，实施例1在反射器电极3的共通部分5与梳状电极2对向的角部的一部分被直线地切入，同时在反射器电极3邻接梳状电极2的最外侧的条带部分的一部分被直线性地切入。因此，梳状电极2与反射器电极3的间隔会部分地扩大。
由此形状，梳状电极2与反射器电极3的电极间隔比现有技术的弹性表面波装置宽，因此金属薄膜22的带电所造成的影响会变小而离子23的弯曲程度会变小，而不易发生侧面蚀刻。因此能抑制共通部分及条带部分产生形状变钝。
特别是通过扩大共通部分的角部的电极间隔而能抑制共通部分间的短路，通过扩大反射器电极3的条带部分10与梳状电极2的交叉部分9的间隔而能减小弹性表面波装置的传播能量的泄漏，从而能减小传播损耗。
梳状电极2与反射器电极3的间隔较窄，与此连接地设置有无电极的宽区域。在这种窄小区域与宽广区域连接的部分，在同时形成这些区域的蚀刻工艺中，离子束会在宽广区域的蚀刻上使用了大半而令离子束难以充分供给至窄小区域的蚀刻。特别是在窄小区域与宽广区域的连接部分，窄小区域不易被蚀刻。
难以被蚀刻的区域是由共通部分至条带部分的一部分，因此仅扩大共通部分的电极间隔的话，固然可抑制电极之间的短路，但是无法防止弹性表面波传播能量的泄漏。
为了防止此一情形，通过将条带部分的间隔扩大而以蚀刻步骤而使离子能容易地供给狭窄的区域，由于充分地进行蚀刻而消除蚀刻不足的区域，故能减小弹性表面波的传播能量的泄漏而可减小传播损耗。
另外，即使例如金属薄膜22及压电基板1的带电量相同，也可通过将邻接的电极间隔扩大，即，将梳状电极2与反射器电极3的间隔扩大而能相对性地减小金属薄膜22所带电的电荷的相互作用。因此，可减小离子23的弯曲程度而能抑制电极形状的变钝24的发生。
另外，由于式蚀刻而使金属薄膜22及压电基板1整体带电很多，而除了带电量大小之外，局部性带电量的不平衡也会影响离子23的飞射方向。即，在梳状电极2对向的交叉部分9上带电的电荷量差异小而较易获得带电量的平衡，而在共通部分4与交叉部分9上因电极面积也不同而使共通部分4与交叉部分9之间易发生带电量的差异。
另外，反射器电种3的情形也相同，反射器电极3的条带部分10与共通部分5之间易发生带电量的差异。由于所带电的电荷全为正电荷而与离子束相同极性，所以一旦带电量不平衡则离子束会从带电量多的一方受到强的排斥力。因此离子会朝向相反方向更大幅地弯曲而促使侧面蚀刻的进程，因而电极形状的钝化更显著。
由此，在梳状电极2的共通部分4与反射器电极3的共通部分5之间容易产生带电量的差异，电极形状易产生变钝。另外，即使对向的电极间隔相同，但由于在共通部分间易产生形状的钝化，所以会成为造成电极间短路的原因。
因而，通过切入邻接的共通部分的一部分来扩大相互的电极间隔，可降低带电量不平衡的影响，而通过减小离子束弯曲来提高垂直进入的成分能抑制电极形状的变钝。
另外，梳状电极2的共通部分4与反射器电极3的共通部分5之间相比，因面积的原因梳状电极2的共通部分4带电量较大，所以其形状钝化有较大的趋势。
另外，切入梳状电极2的共通部分4，或是切入反射器电极3的共通部分5、或是切入梳状电极2及反射器电极3的双方的共通部分4、5都能获得同样的效果。但若是切入梳状电极2的共通部分4有可能会改变中心频率，因此切入反射器电极3的共通部分5的情形能减小对于弹性表面波装置特性的影响。
另外，如图1所示，在本实施例中，虽然切入了梳状电极2与反射器电极3对向的共通部分5的四处，但切入一处以上即能降低弹性表面波装置的传播损耗。
而且，以切入邻接的共通部分的全部角部而能达到最大降低传播损耗的效果。
其次说明使用以此获得的弹性表面波装置12的电子零件。
图3是使用弹性表面波装置12的电子零件的剖视图。该电子零件具有基底构件11、弹性表面波装置12、突起13、弹性表面波装置12的垫电极14、导出电极15、端子电极16、盖体17、及粘接材料18。
在弹性表面波装置12上的垫电极14上形成由金等所构成的突起13。其次在预先设置有导出电极15及端子电极16的基底构件11上，将形成有突起13的弹性表面波装置12以面朝下的状态配设成突起13接触导出电极15的状态，以超声波将突起13接合、组装于基底构件11。其后使用密封装置将已组装有弹性表面波装置12的基底构件11，与预先载置有如焊锡等粘接材料18的盖体17配设成粘接材料18侧对向于基底构件11的状态并通过加热粘接和密封，而得到电子零件。
另外，除了上述方法以外，也可因应必要而以其他例如金属线熔接法来安装弹性表面波装置12，作为粘接材料18也可使用金或含金的焊锡材、镀等方法。
弹性表面波装置的电极若是以使用带电离子或带电粒子进行蚀刻而形成的情形下，因这些电荷的存在电极易受到侧面蚀刻的影响。但是通过扩大邻接的电极间隔能减小单位长度的带电量。因此，因可减小离子束23的弯曲而能减小对电极的侧面蚀刻，所以降低弹性表面波装置的传播损耗的效果较大。
另外，由于电极的膜厚愈大则受到侧面蚀刻的区域就愈大，所以因带电离子、粒子的电荷易使电极受到侧面蚀刻的影响。但是，通过将邻接的电极间隔扩大而能减小每一单位长度的带电量。因此，离子束23的弯曲变小而能减小对电极的侧面蚀刻，因此在降低弹性表面波装置的传播损耗的效果大。
本实施例1的电极膜厚为220nm，邻接的电极的切入部为
H1/H0＝1.7；D1/D0＝0.75；D2/d0＝1.5。电极的膜厚愈厚则有必要增大H1/H0及D1/D0的值。另外，电极膜厚在不足150nm的情形下，受到侧面蚀刻影响的程度小。
另外，即使电极的膜厚相同，邻接的电极间隔愈窄则愈易受到邻接的电极带电所造成的影响，易发生电极的侧面蚀刻而有传播损耗变大的倾向。因此，有必要设置对应电极膜厚的电极间隔。本实施例1是将电极膜厚设为220nm，而电极间隔(S)与膜厚(L)的比率(S/L)为2.7。S/L愈大则愈不易发生侧面蚀刻而能减小传播损耗，电极膜厚在150nm以上时，通过使S/L为2.5以上从而不易发生侧面蚀刻而能减小传播损耗，S/L不足2.5的话，则易发生侧面蚀刻而使传播损耗变大。
如此一来，邻接的电极切入部的条件及电极间隔有必要考虑电极膜厚而决定。
另外，电极的材质若为愈难蚀刻的材质，则即使因带电离子、粒子的带电而使电极受到侧面冲击也不易被蚀刻，同时将邻接的电极间隔扩大而能使电极更不易受到侧面蚀刻的影响，因此，能进一步减小弹性表面波装置的传播损耗。
干式蚀刻的情形下，通过将带电离子束照射于金属薄膜22而使离子冲击金属薄膜将其打飞而蚀刻金属薄膜。因此，金属薄膜22的质量愈大则要打飞构成金属薄膜22的原子所必要的能量就变得愈大。故以质量大的元素构成金属薄膜22的情形下，即便是离子照射在金属薄膜22也不易被侧面蚀刻。
弹性表面波装置的电极材料一般使用Al，而比Al质量大的元素，例如以Ti构成电极则能抑制电极的侧面蚀刻。但是仅以质量大的元素构成电极的话，则弹性表面波装置的中心频率会被限制在低频率。因此，通过层叠组合质量轻的元素与质量重的元素，既可调节中心频率又不易被侧面蚀刻。
切入部的条件为
H1/H0＝1.7D1/D0＝0.75；D2/d0＝1.5。
为了抑制电极形状的变钝，H1/H0及/或D1/D0愈大，即邻接的电极间隔愈宽则愈能抑制电极形状变钝，从而愈能减小弹性表面波装置的传播损耗。但是其效果在H1/H0≥1.2；及/或1/4≤D1/D0≤1，且1/2≤D2/d0≤6的情形下有效。
另外，在切入反射器电极3的共通部分5的情形下，H1/H0至相当大的值仍有效果，即使是H1/H0＝10也能减小弹性表面波装置的传播损耗。
在H1/H0为1.2以下时，或是D1/D0不足1/4的情形下、或是D2/d0不足1/2的情形下，则看不出有大幅降低传播损耗的效果。
另外，一旦D2/d0超过6时，则切入至弹性表面波的主要传播区域而破坏弹性表面波的传播平衡并使传播损耗变大。
另外，H1/H0、D1/D0、D2/d0中即使仅一个为极端大的值，其效果也小，故有必要取得H1/H0、D1/D0、D2/d0全部值的平衡。
特别是通过切入反射器电极的条带部分10而以弹性表面波的主要传播区域抑制传播能量的泄漏，故能减小弹性表面波装置的传播损耗。
另外，以干式蚀刻将金属薄膜22形成电极图形的情形下，从设备上的问题而论，离子束23要完全地以相同条件照射于压电基板1的集合体的晶圆上极困难。即，在晶圆的中央部，相对而言离子束23对于晶圆约垂直地照射，在晶圆的周边部分离子束23对晶圆以偏离垂直某角度来照射。
因此，晶圆的周边部的电极易被离子23斜斜地照射，因此易被侧面蚀刻，而晶圆的温度变高乃会促进蚀刻，而使电极形状有易发生变钝的倾向。
为了解决此现象，将晶圆周边部的弹性表面波元件的邻接的电极间隔比晶圆中央部加大更多。如此一来，晶圆的周边部的电极即便是因离子束23而被斜斜地照射也能减小每一单位长度的带电量，故能减小离子束23的弯曲，且能减少对电极的侧面蚀刻。
另外，本实施例1的邻接的电极是被直线地切入，然而电极被切入成阶差状、曲线状、或是阶梯状也能获得同样的效果。另外，邻接的电极若是可部分地被切入的话，则可被切入成上述以外的形状。
如上所述，依据本实施例1切入反射器电极3的共通部分5的一部分与条带部分10的一部分而特别使共通部分及条带部分的电极间隔变宽。由此，可降低因蚀刻金属薄膜而形成电极图形之际所发生的邻接电极带电量及带电量不平衡所造成的影响而减小电极形状的变钝。因此，能降低弹性表面波装置的传播损耗。
(实施例2)图4是本发明的实施例2的弹性表面波装置的部分扩大图。
在图4中，对于与实施例1的图1B所说明内容相同者即赋予相同标号而省略详细的说明。另外，图4是模式性地表示电极图形的构成，而非表示各别尺寸的相对性的关系者。
本实施例2的弹性表面波装置的切入邻接的电极的位置及形状与实施例1的位置及形状不同，其他部分则与实施例1相同。
实施例2不但直线地切入反射器电极3的共通部分5的一部分与条带部分10的一部分，且将梳状电极2的共通部分4的一部分切入成阶差状。由此构成能将邻接的梳状电极2的共通部分4与反射器电极3的共通部分5的间隔设成比仅切入一侧电极的情形更具有更宽的间隔。因此，能进一步减小每一单位长度的带电量，因此可降低离子束23的弯曲，同时可减低带电量不平衡的影响。如上所述能降低对电极的侧面蚀刻，因此能抑制电极形状的变钝且降低弹性表面波装置的传播损耗。
另外，本实施例2的反射器电极3的共通部分5的一部分与条带部分10的一部分是被切入成直线性及阶差状，但这些部分被切入成曲线性或阶梯状也可获得同样的效果。另外，若是要切入共通部分5的一部分与条带部分10的一部分的话，则切入成上述以外的任何形状均可。
如上所述，依据本实施例2的话，不但直线性地切入反射器电极3的共通部分5的一部分与条带部分10的一部分，且将梳状电极2的共通部分4的一部分切入成阶差状。由此，由于邻接的电极间隔更宽而能减小带电量的影响及带电量不平衡的影响，因此可减小电极形状的变钝而更降低弹性表面波装置的传播损耗。
(实施例3)图5是本发明的实施例3的弹性表面波装置的部分扩大图。在图5中，对于与实施例1的图1B所说明内容相同者即赋予相同标号而省略详细的说明。另外，图5是模式性地表示电极图形的构成，而非表示各别尺寸的相对性的关系者。
本实施例3的弹性表面波装置的切入邻接的电极的位置及形状与实施例1的位置及形状不同，其他部分则与实施例1相同。实施例3不但将共通部分5的一部分切入成阶差状且直线性地切入，并直线性地切入条带部分10的一部分，而且将梳状电极2的共通部分4的一部分切入成阶差状且切入成曲线状而可组合多个切入的形状。
由此构成乃能将邻接的梳状电极2的共通部分4与反射器电极3的共通部分5的间隔设成比仅切入一侧电极的情形更具有更宽的间隔。而且，通过多个组合切入形状，例如在电极图形设计上，图形位置不够宽裕的情形下也能将电极切入成各式各样的形状，故不论是何种电极图形均能使每一单位长度的带电量减少。因此，不但能降低离子束23的弯曲，且能降低带电量不平衡的影响。可减低对电极的侧面蚀刻，因此能抑制电极形状的变钝而降低弹性表面波装置的传播损耗。
另外，本实施例3中共通部分及条带部分的一部分是以阶差状与直线性的组合以及阶差状与曲线性的组合而分别切入的。除此之外，即便是组合阶差状、直线性、曲线性、阶梯状之中多个的形状而切入电极也可获得同样的效果。另外，若是要部分地切入邻接的电极的话，则也可以上述以外的形状来切入电极。
如上所述，依据本实施例3的话，将反射器电极3的共通部分5的一部分切入成阶差状且直线性地切入，并且直线性地切入条带部分10的一部分，而且将梳状电极2的共通部分4的一部分切入成阶差状且切入成曲线状。即，通过多个组合要切入形状，而在电极图形设计上，图形位置不够宽裕的情形下也能进一步扩大邻接的电极间隔而能降低带电量的影响及带电量不平衡的影响。因此，由于即便是图形位置不够宽裕的情形下也能进一步扩大邻接的电极间隔，因此不论是何种电极图形也能减小电极形状的钝化而进一步降低弹性表面波装置的传播损耗。
依据本发明，可通过部分地切入与梳状电极邻接的反射器电极的共通部分与条带部分而扩大电极间隔。由此，可降低蚀刻金属薄膜而形成电极图形的际所发生邻接的电极的带电量的影响及带电量不平衡的影响，且减小电极形状的变钝。因此，能降低弹性表面波装置的传播损耗。
权利要求
1.一种弹性表面波装置，具有压电基板；设置在所述压电基板上的梳状电极；及具有设置在所述压电基板上的共通部分及条带部分的反射器电极，其特征在于在所述反射器电极的所述共通部分与所述条带部分的所述梳状电极相邻的部分，分别形成有切入部。
2.如权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于所述反射器电极的形成有所述切入部的所述共通部分和所述条带部分，与相邻的所述梳状电极发生的电位不同。
3.如权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于所述梳状电极与所述反射器电极对向的全部角部被切入。
4.如权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于所述压电基板是从压电基板晶圆分割而成，在所述切入部处的切入量是在所述压电基板晶圆的中央部少而外周部多。
5.如权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于所述梳状电极与所述反射器电极以干式蚀刻形成。
6.如权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于所述梳状电极与所述反射器电极包含比Al还不易蚀刻的物质。
7.如权利要求6所述的弹性表面波装置，其特征在于比Al还不易蚀刻的所述物质的质量比Al大。
8.如权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于所述梳状电极与所述反射器电极的膜厚为150nm以上。
9.如权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于所述梳状电极与所述反射器电极的电极间隔(S)与膜厚(L)的比率(S/L)为2.5以上。
10.如权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于所述反射器电极的所述条带部分的长边方向的所述共通部分的切入部宽度，是所述反射器电极的所述共通部分的宽度的1/4倍以上1倍以下，所述条带部分的切入部宽度，是所述条带部分的宽度的1/2倍以上6倍以下。
11.如权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于所述梳状电极具有包含被部分地切入的切入部的共通部分。
12.如权利要求11所述的弹性表面波装置，其特征在于所述条带部分的幅宽方向的所述梳状电极的所述共通部分的切入部宽度，是所述梳状电极的所述共通部分的宽度的1/4倍以上1倍以下。
13.如权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于所述条带部分的宽度方向的、所述条带部分的中形成有所述切入部的部分与所述梳状电极间的最大间隔，是所述条带部分的中未形成所述切入部的部分与所述梳状电极间的间隔的1.2倍以上。
14.如权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于所述切入部为阶差状。
15.如权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于所述切入部为直线状。
16.如权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于所述切入部为曲线状。
17.如权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于所述切入部为阶梯状。
18.如权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于所述切入部是将阶差状、直线状、曲线状及阶梯状中至少二种不同形状组合的形状。
19.一种电子零件，其特征在于包括基底构件；具有压电基板；设置在所述压电基板上的梳状电极；及具有设置在所述压电基板上的共通部分及条带部分的反射器电极，同时在所述反射器电极的所述共通部分与所述条带部分的所述梳状电极相邻的部分分别形成有切入部的，并且配设于所述基底构件上的弹性表面波装置；将所述基底构件与所述弹性表面波装置电连接的突起与导线中的一种；以及密封所述弹性表面波装置的盖体。
20.一种弹性表面波装置的制造方法，其特征在于具备在压电基板晶圆上形成多个梳状电极的步骤；在所述压电基板晶圆上，形成多个反射器电极的步骤，这些反射器电极分别具有在与所述梳状电极相邻的部分分别形成有切入部的共通部分和条带部分；以及分割所述压电基板而获得多个弹性表面波装置的步骤，这些弹性表面波装置分别具有所述多个梳状电极和所述多个反射器电极的至少一个，在所述切入部处的切入量，是在所述多个弹性表面波装置中的所述压电基板晶圆中央部的弹性表面波装置中少，而在外周部的弹性表面波装置中多。
21.如权利要求20所述的弹性表面波装置的制造方法，其特征在于所述形成多个梳状电极的步骤，包括通过干式蚀刻而形成所述多个梳状电极的步骤，所述形成多个反射器电极的步骤，包括通过干式蚀刻而形成所述多个反射器电极的步骤。
全文摘要
一种弹性表面波装置，反射器电极的共通部分和条带部分均被局部切入，而使电极间隔扩大。这样，可以减小在对金属薄膜进行蚀刻时产生的带电量及带电量的平衡所带来的影响，而可消除电极形状的钝化，从而减小弹性表面波装置的传播损耗。
文档编号H03H3/00GK1476669SQ02803107
公开日2004年2月18日 申请日期2002年9月26日 优先权日2001年10月3日
发明者古川光弘, 山下清春, 西田和史, 黑竹弘至, 史, 春, 至 申请人:松下电器产业株式会社