技术总结
一种多电极蚀刻装置，其包含多个等离子体蚀刻电极、多个承载单元以及多个电力输出模块，该些等离子体蚀刻电极各包含一第一蚀刻侧以及一相对该第一蚀刻侧的第二蚀刻侧，该些承载单元平行设置于各该等离子体蚀刻电极的两侧并承载对应的印刷电路板，各该电力输出模块包含一电力提供单元以及一与该电力提供单元电性连接的调整单元，各该电力输出模块分别与对应的该等离子体蚀刻电极电性连接，并依据对应的该等离子体蚀刻电极以该调整单元调整该电力提供单元的一输出电力。藉由各该电力输出模块的设置而得以针对不同的等离子体蚀刻电极调整该输出电力，提升工艺的稳定性。
技术研发人员：刘品均;陈松醮;蔡明展;林子平;杨峻杰;
受保护的技术使用者：友威科技股份有限公司;
文档号码：201410748238
技术研发日：2014.12.09
技术公布日：2016.07.06