1.一种具有RF传输线的阻抗调谐器,所述阻抗调谐器包括:
单个导螺杆;
连接至所述单个导螺杆的多个可移动滑座,其中连接至所述单个导螺杆的所述多个滑座中的每个滑座均被配置用于相对于其他滑座的独立移动以沿着平行于所述RF传输线的轴线移动所述滑座;
电动驱动系统,用于沿着所述单个导螺杆独立地移动所述多个滑座。
2.根据权利要求1所述的阻抗调谐器,其中连接至所述单个导螺杆的所述多个滑座是两个滑座。
3.根据权利要求1所述的阻抗调谐器,其中连接至所述单个导螺杆的所述多个滑座多于两个滑座。
4.根据权利要求1所述的阻抗调谐器,其中所述导螺杆不旋转,并且对于所述多个滑座中的每个滑座,所述电动驱动系统包括转动所述导螺杆上螺母的、在所述滑座上的电机。
5.根据权利要求4所述的阻抗调谐器,其中在所述滑座中的至少一个滑座中的所述导螺杆上的所述导螺杆螺母位于所述滑座电机的内部。
6.根据权利要求4所述的阻抗调谐器,其中耦合到所述滑座中的至少一个滑座的、在所述导螺杆上的所述导螺杆螺母位于所述滑座电机的外部。
7.根据权利要求1所述的阻抗调谐器,进一步包括:
控制器,被耦合至所述电动驱动系统并且被配置成提供驱动命令以控制所述电动驱动系统的操作。
8.根据权利要求1所述的阻抗调谐器,进一步包括至少一个探针,所述至少一个探针由所述多个滑座中的每个滑座携载并且被配置用于横向于所述RF传输线的运动。
9.根据权利要求1所述的阻抗调谐器,其中所述RF传输线是板状线,包括设置在相对接地平面结构之间的中心导体。
10.一种用于向被测器件呈现可变阻抗的阻抗调谐器,包括:
RF传输线;
多个可移动滑座,安装用于沿着平行于所述RF传输线的轴线的移动;
电动滑座驱动系统,被配置以沿着所述轴线独立地移动所述多个滑座中的每个滑座,所述驱动系统包括:
单个导螺杆;
所述多个可移动滑座中的每个滑座包括滑座电机,所述滑座电机通过对应的导螺杆螺母耦合至所述单个导螺管,并且被配置成向所述导螺杆螺母施加旋转力以转动在所述导螺杆上的所述螺母并且将所述旋转力转化为所述螺母和所述滑座沿着所述单个导螺杆的线性移动。
11.根据权利要求10所述的阻抗调谐器,其中在所述滑座中的至少一个滑座中的所述单个导螺杆上的所述导螺杆螺母位于所述滑座电机的内部。
12.根据权利要求10所述的阻抗调谐器,其中耦合到所述滑座电机中的至少一个滑座电机的、在所述导螺杆上的所述导螺杆螺母位于所述滑座电机的外部。
13.根据权利要求10所述的阻抗调谐器,其中连接至所述单个导螺杆的所述多个滑座是两个滑座。
14.根据权利要求10所述的阻抗调谐器,其中连接至所述单个导螺杆的所述多个滑座多于两个滑座。
15.根据权利要求10所述的阻抗调谐器,进一步包括:
控制器,被耦合至所述电动驱动系统并且被配置成提供驱动命令以控制所述电动驱动系统的操作。
16.根据权利要求10所述的阻抗调谐器,进一步包括至少一个探针,所述至少一个探针由所述多个滑座中的每个滑座携载并且被配置用于横向于所述RF传输线的运动。
17.根据权利要求10所述的阻抗调谐器,其中所述RF传输线是板状线,包括设置在相对接地平面结构之间的中心导体。
18.根据权利要求10所述的阻抗调谐器,其中所述导螺杆不旋转。