静电电容检测式压力开关及压力传感器的制作方法

文档序号:12132955阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种静电电容检测式压力开关,具备:

膜片,其根据从管路供给的工作介质的压力的变动而进行位移;

可动电极,其电连接于上述膜片;

固定电极,其设在上述膜片的与上述管路相对的大气压侧;以及

绝缘被膜,其确保上述固定电极与上述膜片的绝缘,

上述静电电容检测式压力开关构成为,根据上述工作介质的压力的变动,上述膜片进行位移,将该位移作为与上述可动电极连接的上述膜片和上述固定电极之间的静电电容的变动进行检测,且基于该静电电容的变动,检测上述工作介质的压力,

上述静电电容检测式压力开关的特征在于,

形成有电极接触部,其为在上述膜片的外周的一部分向外侧延伸的至少一个突起部,且用于连接上述可动电极。

2.根据权利要求1所述的静电电容检测式压力开关,其特征在于,

上述电极接触部形成为与上述可动电极进行铆接加工的形状。

3.根据权利要求1所述的静电电容检测式压力开关,其特征在于,

上述电极接触部形成为与上述可动电极进行点焊的形状。

4.根据权利要求1所述的静电电容检测式压力开关,其特征在于,

上述电极接触部形成为与上述可动电极进行激光焊接的形状。

5.根据权利要求1所述的静电电容检测式压力开关,其特征在于,

上述电极接触部形成为与上述可动电极进行连接器嵌合的形状。

6.根据权利要求1所述的静电电容检测式压力开关,其特征在于,

上述电极接触部形成为在上述膜片的外周设有板簧的碟形弹簧形状,且通过上述碟形弹簧的弹力与上述可动电极连接。

7.一种静电电容检测式压力传感器,具备:

膜片,其根据从管路供给的工作介质的压力的变动而进行位移;

可动电极,其电连接于上述膜片;

固定电极,其设在上述膜片的与上述管路相对的大气压侧;以及

绝缘被膜,其确保上述固定电极与上述膜片的绝缘,

上述静电电容检测式压力传感器构成为,根据上述工作介质的压力的变动,上述膜片进行位移,将该位移作为与上述可动电极连接的上述膜片和上述固定电极之间的静电电容的变动进行检测,且基于该静电电容的变动,检测上述工作介质的压力,

上述静电电容检测式压力传感器的特征在于,

形成有电极接触部,其为在上述膜片的外周的一部分向外侧延伸的至少一个突起部,且用于连接上述可动电极。

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