一种微波等离子体粉体处理装置的制作方法

文档序号:11158484阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种微波等离子体粉体处理装置,其特征在于:包括安装于角度调节架上的装置体,所述装置体包括管式微波等离子体源,管式微波等离子体源由石英、陶瓷或耐热玻璃介质制成的介质管,该介质管穿过微波矩形波导的H面;

矩形波导的一端连接微波源,其另一端连接可调节短路板,穿过微波矩形波导的H面的介质管的上下两端由水冷金属法兰和O形胶圈密封形成真空室,介质管穿出矩形波导管的部分用带观察网孔的金属管或金属网卷成的管包围,其一端与水冷金属法兰相连接,另一端与矩形波导的H面相连接;

反应室上端有进气接口,与气路系统相连接,反应室下端连接一个金属腔体,金属腔体的一个侧向与真空规管连接,通过真空计检测工作气压,金属腔体的另一侧向连接旋风分离器、粉体过滤器、粗调节流阀和细调节流阀、放气阀,然后接真空泵用的截断放气阀、真空管路,最后接真空泵;

金属腔体的下端有KF快卸法兰接口,通过KF快卸法兰卡箍,将旋转鼓杯装入反应室。

2.如权利要求1所述的微波等离子体粉体处理装置,其特征在于:所述旋转鼓杯由石英、陶瓷或耐热玻璃介质制成杯状容器,并将杯脚装入真空动密封旋转轴上,动密封轴承安装在KF快卸法兰上。

3.如权利要求1所述的微波等离子体粉体处理装置,其特征在于:所述旋转鼓杯装入反应室后,旋转鼓杯的真空动密封旋转轴与介质管中心轴一致,旋转轴由电动机通过齿轮或带、链传动,使装入的旋转鼓杯随之转动。

4.如权利要求1所述的微波等离子体粉体处理装置,其特征在于:所述真空动密封旋转轴包括一根旋转轴,旋转轴外部安装密封轴承座,旋转轴的尾端安装锁紧螺母与止动垫圈,其伸出锁紧螺母与止动垫圈还开设有一平键,旋转轴与密封轴承座之间还安装有球轴承、J型密封圈、J型密封圈与密封圈压套。

5.如权利要求1所述的微波等离子体粉体处理装置,其特征在于:所述气路系统包括气体钢瓶及气体、流量控制器、截止阀以及输气管道。

6.如权利要求4所述的微波等离子体粉体处理装置,其特征在于:所述旋转轴与水平面之间的夹角为30°至60°之间。

7.如权利要求1所述的微波等离子体粉体处理装置,其特征在于:所述管式微波等离子体源外部还设置有冷却系统,所述冷却系统为冷却水槽。

8.如权利要求1所述的微波等离子体粉体处理装置,其特征在于:所述角度调节支架安装于一个底座上,底座包括第一调节板与第二调节板,角度调节支架的底部通过转轴连接第二调节板,角度调节支架的顶部通过锁紧螺丝安装于第一调节板上纵向开设的一个以上的角度调节孔中。

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