本发明涉及通过来自放电电极的放电来生成电离物质而将除电对象物除电的除电装置及具备该除电装置的输送装置。
背景技术：
在通过放电而生成电离物质的放电电极，有时候伴随着来自该放电电极的放电而附着异物。在日本特开平5-166578号公报(专利文献1)中，公开了在基板的表面设有线状的放电电极并在基板的内部埋设有面状的感应电极的沿面电晕放电元件。在专利文献1中，公开了如果异物附着于该放电电极，则该异物吸收空气中的水分，放电电极的放电能力下降。另外，取决于基板的材质，还有可能基板吸收空气中的水分，由此，放电电极的放电能力下降。在经验上清楚，在放电电极的周围的空气的湿度高的情况下，容易附着这样的异物。而且，伴随着异物的附着而产生的放电电极的放电能力的下降导致除电装置的除电能力的下降。与此相对的是，在专利文献1中，公开了将线状的加热器布线作为加热部而安装于基板的背面部且对放电电极加热而将异物的结晶分解并除去的技术。设置加热部，由此，除了异物的分解和除去之外，通过对放电电极的周围的空气加热而使空气的湿度下降，从而还能够抑制异物向放电电极的附着。
可是，如专利文献1的图1所示，该加热器布线(符号6)蜿蜒地配置于基板的背面。如果这样地构成加热部，则成为加热器布线导致的热集中于加热器布线所存在的部分的热分布。即，虽然线状的加热器布线的存在部分能够进行充分的加热，但是在沿着基板的面的方向上从加热器图案离开的部分，存在加热不可充分地进行的可能性。因此，在基板中的温度比较低的部分，不可进行充分的低湿度化，有可能发生基板对水分的吸收和异物结晶的附着，进一步发生所附着的异物结晶的水分的吸收，不能适当地防止放电电极的放电能力的下降。在此，例如，还考虑使加热器布线以均匀地存在于放电电极的存在范围的整体的方式蜿蜒，但存在装置的构成变得复杂的可能性。
技术实现要素：
于是，期望实现能够使加热部的构成简单并同时适当地抑制放电电极的放电能力的下降的除电装置和具备那样的除电装置的输送装置。
用于解决课题的方案
本发明所涉及的除电装置，作为1个方式，如下地构成。
即，通过来自被平板状的基板的表面部支撑的放电电极的放电来生成电离物质而对除电对象物除电的除电装置，具备：
加热部，由所述基板支撑，对所述基板加热；和
传热体，由绝缘性材料形成，并且，热传导率比所述基板的热传导率更大；
所述传热体遍及所述基板的表面部中的设定范围的整面而以与所述基板接触的状态设置，
所述设定范围包括与所述加热部相对应的部分且设定于与所述放电电极相对应的部分的周围。
如上所述，通过由加热部对支撑放电电极的基板加热，从而能够对放电电极周边的空气加热而使湿度下降。所以，能够抑制基板对水分的吸收和异物向放电电极的附着，防止放电电极的放电能力的下降。而且，在本构成中，比基板的热传导率更大的传热体遍及基板的表面部中的设定范围的整面而以与基板接触的状态设置。在此，设定范围是包括与加热部相对应的部分且设定于与放电电极相对应的部分的周围的范围。所以，例如，即使作为使加热部成为直线状的加热器等简易的构成，也能够使用传热体的与基板表面部的接触面的整体来传递加热部所产生的热。另外，能够对基板的表面部中的设定范围的整体极力均匀地加热。因此，能够极力遍及宽广的范围而使放电电极的周围的空气的湿度下降。
所以，能够提供能够使加热部的构成简单并同时适当地抑制放电电极的放电能力的下降的除电装置。
作为1个方式，除电装置适合为，所述放电电极以连续的线状形成，并且，所述加热部以线状形成，沿着所述放电电极设置。
由于放电电极以线状构成，因而电离物质沿着线状的放电电极生成。所以，与通过局部地设置的放电电极而生成电离物质的情况相比，能够在宽广的范围内均匀地生成电离物质。因此，即使在除电对象物中的除电对象部位具有一定的广阔空间的情况下，也能够不偏地发挥除电作用。另外，由于加热部沿着以线状形成的放电电极设置，因而能够遍及线状的放电电极的整体而使其周围的气氛的湿度下降，能够适当地抑制放电电极的放电能力的下降。
作为1个方式，除电装置适合为，具备金属制的框体部，该框体部覆盖所述基板的表面部且在与所述放电电极相对应的位置具有开口，所述传热体以与所述框体部接触的状态设置。
除电对象物有时候以单一极性大大地带电。因此，由该除电对象物的电荷产生的电场有时候对寄生于包括放电电极的电路的杂散电容分量造成影响，使包括放电电极的电路的基准电位产生补偿电位。在拥有与基准电位的电位差而生成电离物质的结构中，补偿电位的产生成为使电离物质的生成不稳定化的主要原因。即，补偿电位有可能给除电装置的离子平衡和除电性能带来影响。通过由在与放电电极相对应的位置设有开口的金属制的框体部覆盖基板的表面部，从而能够抑制包括放电电极的电路从由除电对象物产生的电场受到的影响。在这样的构成中，异物的结晶有可能不但附着于放电电极，而且还附着于金属制的框体部中的接近放电电极的部分。可是，如果将传热体以与框体部接触的状态设置，则能够将加热部的热良好地传递至框体部。所以，能够降低框体部周边的气氛的湿度，能够适当地抑制放电电极的放电能力的下降。
作为1个方式，除电装置适合为，所述框体部由不锈钢构成。
伴随着来自放电电极的放电而附着于放电电极本身或框体部的异物有可能是混入有例如硝酸铵或硫酸铵等的结晶等具有对金属的腐蚀性的物质。通过由耐腐蚀性比较高的不锈钢构成框体部，从而即使附着异物，也能够抑制框体部腐蚀的事态。
作为1个方式，除电装置适合为，所述绝缘性材料是从所述基板的表面部沿垂直方向离开的方向上的热传导率为1.0w/m·k以上且2.0w/m·k以下的树脂，所述基板由热传导率为0.1w/m·k以上且0.9w/m·k以下的材质构成。
如果传热体由热传导率比基板更大的绝缘性材料构成，则从加热部产生的热容易从基板移动至热传导率大的传热体。因此，抑制由加热部对基板直接加热的状态，同时，容易由传热体对该基板加热。
作为1个方式，除电装置适合为，具备所述基板、所述传热体以及所述加热部一体地装配的除电单元。
依据该构成，通过将一体化的除电单元安装到安装对象部位，从而能够设置除电装置，因而能够谋求安装作业容易化。另外，在当例如维护时等欲将除电装置从安装对象部位拆卸的情况下，通过连同该除电单元一起拆卸，从而能够简单地将除电装置从安装对象部位拆卸。依据该构成，可简单地进行安装和拆卸。
本发明所涉及的输送装置作为1个方式而如下地构成。即，输送装置是将从下方支撑板状的输送物的输送辊以沿输送方向并排多个的状态配备并输送所述输送物的输送装置，具备上述的除电装置。所述除电装置在输送方向上安装于多个所述输送辊之间，并且，安装于接近由所述输送辊支撑的所述输送物的下方的位置。
在构成为由从下方支撑板状的输送物的输送辊输送该板状的输送物的情况下，有可能由于输送辊与输送物的下表面的摩擦而导致输送物(尤其是其下表面侧)带电。依据上述构成，由于在接近输送物的下方的位置配备有除电装置，因而即使输送物的下表面侧带电，也能够对该输送物适当地除电。
附图说明
图1是输送装置的主要部分的侧面图。
图2是输送装置的主要部分的平面图。
图3是除电单元的整体立体图。
图4是放电电极基板和连接用基板的整体立体图。
图5是图4中的v-v方向向视图。
图6是图4中的vi-vi方向向视图。
图7是示出加热部的配置图案的图。
图8是传热体的整体立体图。
图9是框体部的整体立体图。
图10是除电单元的组装构成图。
图11是除电单元的长度方向观察时的截面图。
具体实施方式
以下，基于附图，说明装备有本发明所涉及的除电装置的输送装置的实施方式。在本实施方式中，输送装置1从下方支撑并输送液晶用的玻璃基板等板状的输送物。如图1和图2所示，输送装置1将从下方支撑输送物的输送辊1r以沿输送方向并排多个的状态配备而构成。这些输送辊1r与旋转轴1j一体地构成，由支撑框体1w旋转自由地支撑。
在各个旋转轴1j，一体旋转自由地安装有链轮1s。构成为，邻接的旋转轴1j彼此通过遍及多个链轮1s而卷绕的未图示的带而连动并旋转。另外，在旋转轴1j中的1个或多个，经由减速机而连接有驱动用电动机的输出。即，在旋转轴1j中的1个或多个，联接有该减速机的输出轴。输送辊1r，外周部由橡胶或氨基甲酸乙酯等摩擦系数大的原料形成。通过使驱动用电动机工作并使输送辊1r旋转，从而能够利用该输送辊1r与板状的输送物的下表面的摩擦来输送板状的输送物。
在支撑框体1w，隔开既定的间隔而装备有除电单元u。除电单元u具备通过来自后述的放电电极的放电来生成电离物质而对除电对象物除电的除电装置，如图3所示，棒状地形成。在支撑框体1w，形成有安装有除电单元u的安装用槽1m。该安装用槽1m沿着输送方向形成于多个输送辊1r之间的位置。除电单元u以嵌合于安装用槽1m的形态配备。
在此，说明除电单元u的构成。如图10所示，除电单元u具备放电电极基板30和连接基板40、传热体20以及上部罩部10。如图4所示，放电电极基板30平板状且长尺寸状地形成，在其表面部，具备沿着其长度方向的金属制的放电电极d和对放电电极基板30加热的电热加热器h。
放电电极d直线状地连续地形成。如图4和图7(a)所示，电热加热器h具有沿着直线状的放电电极d延伸的部分(称为非横断部分ha)和在直线状的放电电极d的两端部将放电电极d横切的部分(称为横断部分hx)，以弯曲的线状形成。换言之，电热加热器h以具备在俯视时与放电电极基板30的长度方向正交的方向上沿着线状的放电电极d的两侧部的非横断部分ha和在放电电极d的长度方向两端部处沿俯视时与放电电极基板30的长度方向正交的方向将放电电极d横切的横断部分hx的线状形成。在非横断部分ha的一方侧的长度方向中央部，形成有该电热加热器h的高压侧极hc1和低压侧极hc2。
图5和图6是放电电极基板30的长度方向观察时的截面图，图5示出作为非横断部分ha的图4的v-v向视截面，另外，图6示出作为非横断部分ha的图4的vi-vi向视截面。
如图5、图6所示，放电电极基板30具备玻璃环氧基板层33(玻璃环氧基板33b)、加热器层32以及放电电极层31。如图5和图6所示，放电电极层31具备云母基层31b、上部涂覆层31a以及下部涂覆层31c。云母基层31b是在上表面安装有放电电极d并在背面安装有成为从放电电极d电晕放电的对象电极的感应电极y的基层。上部涂覆层31a是以放电电极d的上端露出的形态覆盖云母基层31b的上表面的涂覆层。下部涂覆层31c是将云母基层31b的下表面，包括感应电极y，整面地覆盖的涂覆层。
加热器层32，在非横断部分ha中，如图5(a)所示，具备加热器母材层32b和罩层32c。加热器母材层32b是pet制，在其下表面安装有电热加热器h。罩层32c将加热器母材层32b的下表面，包括电热加热器h，整面地覆盖。此外，在加热器层32中的横断部分hx中，如图6(a)所示，在加热器母材层32b的上表面侧，贴附有聚酰亚胺绝缘胶带32a。在横断部分hx中，电热加热器h不但将放电电极d横断，而且还将感应电极y横断。聚酰亚胺绝缘胶带32a是为了防止电热加热器h与放电电极层31中的感应电极y之间的短路而设置的。聚酰亚胺绝缘胶带32a将加热器母材层32b与包括感应电极y并将云母基层31b的下表面，包括感应电极y，整面地覆盖的下部涂覆层31c之间绝缘。
如图5(b)、图6(b)所示，放电电极基板30将放电电极层31、加热器层32以及玻璃环氧基板层33按照该顺序用粘接剂等粘合而一体地构成。在本实施方式中，放电电极基板30相当于本发明中的基板，放电电极d相当于本发明中的放电电极，电热加热器h相当于本发明中的加热部。即，具备被平板状的放电电极基板30的表面部支撑的放电电极d和由放电电极基板30支撑并对放电电极基板30加热的电热加热器h而构成除电装置。此外，通过将热传导性优异的绝缘膜等粘合于放电电极层31与加热器层32之间，从而还能够作为能够更均匀地稳定地对放电电极层31加热的构成。
如图4所示，连接基板40以与放电电极基板30大致相同的尺寸形成。可是，未图示，在放电电极基板30的背面，形成有成为供给至放电电极d或电热加热器h的电力的出入口的被供给侧接点。连接基板40具备抵接于被供给侧接点的供给侧接点40s。另外，在连接基板40的两端部，具备将邻接的连接基板40彼此电连接的扁平型的连接器40c。连接器40c彼此以能够通过扁平电缆而相互连接的方式构成。
传热体20由绝缘性材料构成。如图8所示，传热体20形成为扁平且长尺寸的棒状体，并且，形成有上下贯通的开口20h。传热体20在重叠于放电电极基板30的上表面侧的状态下遍及设有电热加热器h的部分的整面而与放电电极基板30接触，而且，规定其形状，使得开口20h位于与放电电极d相对应的位置。此外，在图8中，举例说明传热体20具有放电电极基板30的2个的程度的长度并形成为覆盖沿长度方向并排2个的放电电极基板30的方式。可是，传热体20不限定于该方式，也可以是覆盖单个放电电极基板30的方式或覆盖3个以上的放电电极基板30的方式。另外，如图11所示，传热体20的开口20h，在长度方向观察时的截面形状中，在铅垂部22h的上端，连续地形成有弯曲形状的r部22r。
构成传热体20的绝缘性材料适合为，从放电电极基板30的表面部沿垂直方向离开的方向上的热传导率比放电电极基板30的玻璃环氧基板33b的热传导率(0.1w/m·k以上且0.8w/m·k以下)更大的绝缘性材料(1.0w/m·k以上且2.0w/m·k以下)。在本实施方式中，使用热传导性树脂，选择绝缘性材料的材质，使得构成传热体20的绝缘性材料的热传导率为玻璃环氧基板33b的热传导率的2倍以上，优选10倍以上。
即，由绝缘性材料形成且热传导率比放电电极基板30的热传导率更大的传热体20以遍及放电电极基板30的表面部中的设定范围的整面而与放电电极基板30接触的状态设置。而且，该设定范围包括与电热加热器h相对应的部分且设定于与放电电极d相对应的部分的周围。
如图9所示，上部罩部10是将不锈钢板(在本实施方式中，使用sus304)弯折加工成u字状而形成的，在上表面部形成有沿着长度方向的长孔部11h。该长孔部11h形成于与放电电极d相对应的位置，而且，构成为传热体20的开口20h的周围的外角部嵌入该长孔部11h。另外，在上部罩部10的侧面部，沿长度方向离开而形成有螺栓孔12h。在本实施方式中，上部罩部10相当于本发明的框体部。
图10和图11示出除电单元u的组装构成。在支撑除电单元u的下部罩部51固定有支撑体50，由支撑体50支撑连接基板40。在支撑体50中的与螺栓孔12h相对应的位置，设有将螺栓ub螺纹接合的内螺纹部。在连接基板40的上部，安装有放电电极基板30。在连接基板40，未图示，连接有来自将高频交流电压供给至放电电极d的放电电极用电源控制部和加热器用电源控制部的电源线。如果将放电电极基板30安装于连接基板40的上部，则放电电极基板30的被供给侧接点抵接于连接基板40的供给侧接点40s，将电力供给至放电电极基板30中的放电电极d和电热加热器h。
而且，在放电电极基板30的上表面侧，重叠地安装有传热体20，以由上部罩部10覆盖传热体20的上部的方式，将螺栓ub螺纹接合于上部罩部10的螺栓孔12h。由此，将支撑体50和上部罩部10固定。此时，传热体20的外表面22成为与上部罩部10的内表面12的至少上表面部12n接触的状态。即，传热体20以与上部罩部10接触的状态设置。这样，形成放电电极基板30、传热体20以及电热加热器h一体地装配的除电单元u。此外，除电单元u能够将多个单元部分u1、u2沿长度方向联接而形成。
所以，如果将电力供给至电热加热器h而导致电热加热器h发热，则在与放电电极d相对应的部分的周围以与放电电极基板30面接触的状态设置的传热体20全部变热。而且，能够将放电电极基板30中的放电电极d周围的空气在宽广的范围内加热而使湿度下降。与此同时，由于传热体20与上部罩部10接触，因而上部罩部10的接近放电电极d的部分也被加热。由此，能够对接近上部罩部10的接近放电电极d的部分的空气加热而使其湿度下降。通过这些作用，从而能够抑制异物向放电电极d和上部罩部10的附着，能够抑制放电电极d的放电能力的下降。
[其他实施方式]
(1)在上述的说明中，举例说明了将除电装置安装于输送板状的输送物的输送装置1而使用的构成。可是，本发明的除电装置也可以安装于输送除了板状的输送物以外的各种输送物的输送装置而使用。另外，用于不是安装于输送装置，而是安装于移动体，相对于除电对象物而移动并同时进行除电的装置等，能够对该设置对象进行各种变更。
(2)在上述的说明中，举例说明了具备放电电极基板30、传热体20以及电热加热器h一体地装配的除电单元u的构成。可是，也可以作为不使放电电极基板30、传热体20以及电热加热器h单元化，而是个别地安装于输送装置的构成。
(3)在上述的说明中，举例说明了以构成传热体20的绝缘性材料作为从放电电极基板30的表面部沿垂直方向离开的方向上的热传导率比玻璃环氧基板33b的热传导率(0.1w/m·k以上且0.9w/m·k以下)更大的绝缘性材料(1.0w/m·k以上且2.0w/m·k以下)的构成。可是，如果绝缘性材料比放电电极基板30的玻璃环氧基板33b的热传导率更大，则也可以采用除了上述以外的材料。另外，在上述的说明中，选择绝缘性材料的材质，使得构成传热体20的绝缘性材料的热传导率成为玻璃环氧基板33b的热传导率的2倍以上，优选10倍以上。可是，不限定于这样的构成，例如，还能够以绝缘性材料的材质作为该绝缘性材料的热传导率超过玻璃环氧基板33b的热传导率的1倍且不足2倍的材质。另外，还能够作为绝缘性材料的热传导率超过玻璃环氧基板33b的热传导率的10倍的材质。
(4)在上述的说明中，示出将放电电极d以连续的线状形成的示例，但不限定于这样的构成。例如，也可以作为多个放电电极以离开状态并排的方式。在该情况下，适合为，电热加热器h以包围多个放电电极的各个或整体的状态形成，传热体在包括基板的表面部中的与该电热加热器h相对应的部分且与放电电极相对应的部分的周围以与放电电极基板30面接触的状态配备。
(5)在上述的说明中，示出将电热加热器h如图7(a)所示地在电热加热器h中的沿着放电电极d的侧部的部分的一方侧的长度方向中央部形成高压侧极hc1和低压侧极hc2的示例。可是，电热加热器h的迂回图案不限定于上述。例如，电热加热器h的迂回图案也可以如图7(b)所示地形成。具体而言，在沿着放电电极d的两侧部的部分(非横断部分ha)，双方都以连续的线状形成。在放电电极d的一方侧的端部，形成有将放电电极d横切的部分(横断部分hx)，在放电电极d的另一方侧的端部，与非横断部分ha的各个相对应地形成有高压侧极hc1和低压侧极hc2。另外，如图7(c)所示，电热加热器h的迂回图案也可以形成为环状。即，非横断部分ha和横断部分hx也可以连续而形成为包围放电电极d的环状。在该情况下，也可以在放电电极d的两端部，即各横断部分hx，形成有高压侧极hc1和低压侧极hc2。
(6)在上述的说明中，示出由不锈钢板(sus304)构成上部罩部10的示例。可是，上部罩部10也可以将除了sus304以外的不锈钢或除了不锈钢以外的耐腐蚀性金属板作为材料而构成。另外，上部罩部10也可以通过对腐蚀性材料施行耐腐蚀性表面加工而形成。
符号说明
1输送装置
1r输送辊
10框体部
11h框体部的开口
20传热体
30基板
d放电电极
h加热部
u除电单元。