吸嘴架装卸装置以及安装头维护方法与流程

本发明涉及在部件安装装置中使用的安装头的维护所使用的吸嘴架装卸装置以及安装头维护方法。

背景技术：

部件安装装置具有安装头、安装头移动机构、吸嘴架、吸嘴以及馈送器。安装头具有进行升降的轴构件。安装头移动机构对安装头进行移动。吸嘴经由吸嘴架而装配于轴构件。吸嘴对馈送器所供给的部件进行吸附并将其装配于基板。这种部件安装装置的安装头需要定期实施去除附着于轴构件的粉尘等的清扫之类的维护。维护时会从轴构件卸下吸嘴架(例如，参照日本特开2015-15375号公报)。

在该部件安装装置中，控制安装头移动机构和安装头，从而向在安装头的下方设置的吸嘴架装卸块中形成的架插入孔插入装配于轴构件的吸嘴架。并且，使轴构件旋转并解除轴构件与吸嘴架之间的结合后，使轴构件上升从而卸下吸嘴架。然后，实施对轴构件等进行清洗的维护。

技术实现要素：

本发明的吸嘴架装卸装置相对于安装头装卸吸嘴架。即，该吸嘴架装卸装置向安装头装配吸嘴架、或从安装头卸下吸嘴架。该吸嘴架装卸装置具有架卡合部和旋转机构部。架卡合部与吸嘴架卡合，旋转机构部使架卡合部旋转。在架卡合部与吸嘴架卡合的状态下，旋转机构部使架卡合部旋转，从而相对于安装头装卸吸嘴架。

在本发明的安装头维护方法中，使架卡合部与装配于安装头的吸嘴架卡合。然后，使卡合后的架卡合部旋转。

在本发明的另一安装头维护方法中，使装配于安装头的吸嘴架由架卡合部保持。然后，将架卡合部所保持的吸嘴架安装于安装头。进而，在吸嘴架安装于安装头的状态下，使架卡合部相对于向吸嘴架安装的方向进行反向旋转。

根据本发明，能够将吸嘴架相对于安装头简单地进行装卸。

附图说明

图1是本发明的实施方式所涉及的部件安装装置的俯视图。

图2是本发明的实施方式所涉及的部件安装装置中使用的安装头的立体图。

图3是本发明的实施方式所涉及的部件安装装置中使用的安装头的轴构件上装配的吸嘴架以及吸嘴的说明图。

图4是本发明的实施方式所涉及的部件安装装置中使用的吸嘴架以及吸嘴的构造的说明图。

图5a是本发明的实施方式所涉及的部件安装装置中使用的吸嘴架向轴构件的装卸动作的说明图。

图5b是本发明的实施方式所涉及的部件安装装置中使用的吸嘴架向轴构件的装卸动作的说明图。

图5c是本发明的实施方式所涉及的部件安装装置中使用的吸嘴架向轴构件的装卸动作的说明图。

图6是本发明的实施方式所涉及的吸嘴架装卸装置的立体图。

图7a是本发明的实施方式所涉及的吸嘴架装卸装置的俯视局部剖视图。

图7b是本发明的实施方式所涉及的吸嘴架装卸装置的主视剖视图。

图8a是本发明的实施方式所涉及的吸嘴架装卸装置的功能说明图。

图8b是本发明的实施方式所涉及的吸嘴架装卸装置的功能说明图。

图8c是本发明的实施方式所涉及的吸嘴架装卸装置的功能说明图。

图9a是使用了本发明的实施方式所涉及的吸嘴架装卸装置的吸嘴架的装卸方法的工序说明图。

图9b是使用了本发明的实施方式所涉及的吸嘴架装卸装置的吸嘴架的装卸方法的工序说明图。

图10a是使用了本发明的实施方式所涉及的吸嘴架装卸装置的吸嘴架的装卸方法的工序说明图。

图10b是使用了本发明的实施方式所涉及的吸嘴架装卸装置的吸嘴架的装卸方法的工序说明图。

图11a是使用了本发明的实施方式所涉及的吸嘴架装卸装置的吸嘴架的装卸方法的工序说明图。

图11b是使用了本发明的实施方式所涉及的吸嘴架装卸装置的吸嘴架的装卸方法的工序说明图。

图12a是使用了本发明的实施方式所涉及的吸嘴架装卸装置的吸嘴架的装卸方法的工序说明图。

图12b是使用了本发明的实施方式所涉及的吸嘴架装卸装置的吸嘴架的装卸方法的工序说明图。

图13a是本发明的实施方式所涉及的另一吸嘴架装卸装置的俯视局部剖视图。

图13b是本发明的实施方式所涉及的另一吸嘴架装卸装置的主视剖视图。

图14a是本发明的实施方式所涉及的另一吸嘴架装卸装置的功能说明图。

图14b是本发明的实施方式所涉及的另一吸嘴架装卸装置的功能说明图。

图14c是本发明的实施方式所涉及的另一吸嘴架装卸装置的功能说明图。

具体实施方式

在说明本发明的实施方式之前，对实现本发明的经过进行简单说明。

在现有技术中，维护时能够自动地装卸吸嘴架。然而，在安装头装配于部件安装装置或维护专用装置的状态下，按照维护用程序一边控制安装头一边实施维护。因此，实施维护的场所受到限制。于是，期望即使在将安装头从部件安装装置卸下了的状态、未向部件安装装置供给电源的状态下，也能够通过简单的作业而相对于轴构件装卸吸嘴架。

于是，本发明提供能够将吸嘴架相对于安装头简单地进行装卸的吸嘴架装卸装置以及安装头维护方法。

以下，利用附图对本发明的一实施方式进行详细地说明。以下阐述的结构、形状等为用于说明的示例，可以根据部件安装装置、安装头、吸嘴架、吸嘴架装卸装置的规格进行适当变更。以下，对所有附图中相应的要素标注相同附图标记并省略重复说明。在图1、及后述的的一部分内容中，作为在水平面内相互正交的两轴方向而示出有基板搬运方向的x方向(图1中的左右方向)、以及与基板搬运方向正交的y方向(图1中的上下方向)。在图2、及后述的的一部分内容中，作为与水平面正交的高度方向而示出有z方向(图2中的上下方向)。z方向为部件安装装置设置在水平面上的情况下的上下方向。

首先，参照图1对部件安装装置1的结构进行说明。在图1中，在基台1a的中央以能够沿x方向移动的方式设置有基板搬运机构2。基板搬运机构2将从上流侧搬入的基板3沿x方向搬运，定位并保持在以下说明的安装头(以下称为“安装头”。)的安装作业位置。另外，基板搬运机构2将部件安装作业结束后的基板3向下流侧搬出。在基板搬运机构2的y方向上的两侧方分别设置有部件供给部4。

在两方的部件供给部4沿x方向并列地装配有多个带馈送器5。带馈送器5将形成有收纳部件的袋体的载带在从部件供给部4的外侧朝向基板搬运机构2的方向(带进给方向)上进行间距进给，从而向供安装头拾取部件的部件取出位置供给部件。

在图1中，在基台1a的上表面的x方向的两端部配置有具有线性驱动机构的y轴工作台6。在y轴工作台6以沿y方向移动自如的方式结合有同样具有线性机构的梁7。在梁7以沿x方向移动自如的方式装配有安装头8。在安装头8的下端部装配有对部件进行真空吸附并保持的吸附嘴(以下简称为“吸嘴”)。

y轴工作台6以及梁7构成使安装头8沿水平方向(x方向、y方向)移动的安装头移动机构。安装头移动机构及安装头8反复执行部件安装作业的一连串的动作，即，通过吸嘴从装配于部件供给部4的带馈送器5的部件取出位置真空吸附并拾取部件，移送至由基板搬运机构2保持的基板3的安装位置而进行安装。

在图1中，在梁7装配有位于梁7的下表面侧且与安装头8一起一体地移动的安装头相机9。通过安装头8移动，安装头相机9移动至定位于基板搬运机构2的安装作业位置的基板3的上方，对基板3上设置的基板标识(省略图示)进行拍摄从而识别基板3的位置。

在部件供给部4与基板搬运机构2之间设置有部件识别相机10。当从部件供给部4取出部件后的安装头8位于部件识别相机10的上方时，部件识别相机10从下方对由吸嘴保持的部件进行拍摄。在由安装头8进行的部件向基板3的部件安装作业中，将基于安装头相机9的基板3的识别结果和基于部件识别相机10的部件的识别结果叠加来进行安装位置的修正。

接着，参照图2对安装头8的结构进行说明。安装头8是以并列设置的方式具有多个(在此为十二个)吸嘴单元11的多连型安装头。安装头8经由结合板8a而以装卸自如的方式装配于梁7。吸嘴单元11分别形成为使轴构件20从吸嘴升降驱动部11a向下方延伸出的结构，并且，在与轴构件20的下端部装卸自如地结合的吸嘴架30上，以装卸自如的方式装配有吸嘴40。

吸嘴升降驱动部11a分别具有通过线性马达使与轴构件20结合的升降轴(省略图示)升降的吸嘴升降机构。通过驱动吸嘴升降机构将轴构件20沿上下方向驱动，由此使得装配于吸嘴架30的吸嘴40单独地升降。

在多列吸嘴单元11的侧方以使驱动轴朝向下方的方式配置有θ轴马达12。由结合于驱动轴的驱动带轮12a与装配于各轴构件20的从动带轮12b对带12c进行调整。通过驱动θ轴马达12，轴构件20与装配于吸嘴架30的吸嘴40一起进行θ旋转，由此进行由吸嘴40保持的部件的θ方向的对位。在此，θ旋转是指沿着θ方向的转动，θ方向是指与以z方向为中心的圆的圆周方向平行的方向。即，θ方向成为吸嘴40的转动方向。

接着，参照图3～图5c对吸嘴架30及吸嘴40的构造进行说明。如图3所示，在轴构件20以轴构件20上下地穿过的方式固定有壳体构件21。吸嘴架30经由壳体构件21而与轴构件20的下端结合。吸嘴架30构成为，在设置有上下贯穿的滑动孔31a的主体部31的两侧面通过拉伸弹簧构件33按压两个夹持构件32。在吸嘴架30的下端通过两个夹持构件32而以装卸自如的方式保持吸嘴40。

图4示出了在上述结构中从吸嘴架30卸下了吸嘴40、且从轴构件20卸下了吸嘴架30的状态。图5a～图5c示出了图3中的a-a截面。并且图3中的壳体构件21和吸嘴架30的一部分(主体部31的上部31d的一部分)的截面与图5a中的b-b截面对应。

如图3、图4所示，吸嘴40构成为，将用于由吸嘴架30夹持并保持的被夹持部40a配置于圆板状的凸缘部40c的上表面侧。在凸缘部40c的下表面侧设置有具有吸附孔40e且向下方延伸出的吸附轴40d。在被夹持部40a设置有供一对销构件31c嵌合的嵌合切口部40b，该一对销构件31c沿水平方向呈放射状地突出设置在主体部31的下部的嵌合部31b。

当吸嘴40由吸嘴架30保持时，在图4所示的状态下，使嵌合部31b嵌入设置于吸嘴40的嵌入部40f，并且使销构件31c与嵌合切口部40b嵌合。进而，通过夹持构件32从两侧夹住被夹持部40a，且通过拉伸弹簧构件33的弹力进行夹持。由此，如图3所示，吸嘴40装配于吸嘴架30。

如图4所示，从壳体构件21的下方突出的轴构件20构成与吸嘴架30的主体部31的滑动孔31a嵌合而滑动的滑动轴20b。在壳体构件21的下表面侧设置有嵌入用开口部21a。当将吸嘴架30装配于壳体构件21时，主体部31的上部31d嵌入至嵌入用开口部21a。在主体部31的上部31d装配有线圈状的压缩弹簧构件34，该压缩弹簧构件34的下端部与主体部31抵接。

在将吸嘴架30向轴构件20装配时，使主体部31的上部31d嵌入至壳体构件21的嵌入用开口部21a，并且如图4的点划线箭头a所示那样使滑动轴20b以沿上下方向滑动自如的方式嵌合于滑动孔31a。由此，吸嘴架30以上下方向的位移被容许的状态装配于轴构件20，从而将吸嘴架30沿上下方向引导。另外，上端部与壳体构件21的下表面抵接的压缩弹簧构件34向吸嘴架30的主体部31施加朝向下方的作用力。

如图3所示，在吸嘴40装配于吸嘴架30、且吸嘴架30装配于轴构件20的状态下，轴构件20的吸引孔20a经由滑动孔31a、嵌入部40f(图4)而与吸附孔40e连通。通过在该状态下驱动真空吸引源22而从吸引孔20a进行真空吸引，从而吸嘴40在吸附轴40d的下端部对部件p进行吸附并保持。

在主体部31的上部31d的上端部附近设置有向两侧方突出的一对销形状的卡止构件31e(也参照图5b、图5c)。在吸嘴架30装配于轴构件20的状态下，主体部31的上部31d嵌入在壳体构件21上设置的嵌入用开口部21a。如图5a所示，壳体构件21分别在相正交的位置以与嵌入用开口部21a连通的方式设置有相对置的一对水平槽部21b以及相对置的一对垂直槽部21c。水平槽部21b及垂直槽部21c通过切口部21d来连结。切口部21d通过将壳体构件21的侧面部按图5a中由虚线示出的切口范围以规定的高度尺寸沿水平方向进行切口而形成。

如图5a所示，水平槽部21b及垂直槽部21c形成为从嵌入用开口部21a贯穿至壳体构件21的外侧。位于切口部21d的一端部的垂直槽部21c由将吸嘴架30自下方向轴构件20装配、或从轴构件20卸下时能够供卡止构件31e以不发生干涉的方式上下地穿通的平面形状形成。位于切口部21d的另一端部的水平槽部21b通过将切口部21d的下端部进一步以能够供卡止构件31e嵌合的宽度尺寸向下方切入规定的深度尺寸而形成。

图5b、图5c示出了将吸嘴架30向轴构件20装配时的、主体部31向壳体构件21的嵌合动作。即在将吸嘴架30向轴构件20装配时，首先如图5b所示，使滑动轴20b与主体部31的滑动孔31a(参照图4)嵌合。此时，在使主体部31的卡止构件31e与壳体构件21的垂直槽部21c对位的状态下，将吸嘴架30从壳体构件21的下表面侧向上推，使卡止构件31e到达切口部21d的高度。以下，将此时的吸嘴架30的高度位置称为“上方到达高度”。

若吸嘴架30达到上方到达高度，则使吸嘴架30绕轴构件20沿从上方观察时的逆时针方向旋转约90度(图5b的箭头b)。由此，卡止构件31e在切口部21d内回旋而到达水平槽部21b的位置。以下，将使卡止构件31e从垂直槽部21c的位置到达水平槽部21b的位置的旋转的方向(箭头b)称为“卡止方向”。

接下来，使吸嘴架30下降，从而如图5c所示那样，卡止构件31e嵌合在水平槽部21b内。由此，吸嘴架30的绕吸嘴轴的旋转位置受到限制，从而以正确的位置关系装配于壳体构件21。此时，如图3所示，卡止构件31e被压缩弹簧构件34向下方施力并被水平槽部21b的底面卡止，从而防止吸嘴架30的脱落。卡止构件31e设定为在吸嘴架30装配于壳体构件21的状态下该卡止构件31e的前端部突出至壳体构件21的外侧的长度。这样，吸嘴架30装配于安装头8所具有的轴构件20。

在将吸嘴架30从轴构件20卸下时，执行与上述顺序相反的操作而使主体部31的上部31d从嵌入用开口部21a脱离。即，将吸嘴架30抬起至上方到达高度，沿顺时针方向旋转约90度而使卡止构件31e与垂直槽部21c对位，在该状态下将吸嘴架30拉下，由此将吸嘴架30从轴构件20卸下。以下，将使卡止构件31e从水平槽部21b的位置到达垂直槽部21c的位置的旋转的方向(与箭头b相反的方向)称为“解除方向”。

接着，参照图6～图7b对相对于安装头8所具有的轴构件20装卸吸嘴架30时使用的吸嘴架装卸装置50的结构进行说明。图7b示出了图7a中的c-c截面。在图6中，在吸嘴架装卸装置50的上表面50a形成有多个开口50b，且以从相应的开口50b各自突出的方式分别配置有对吸嘴架30进行保持的大致圆筒形的多个架卡合部51。架卡合部51的数量以及配置与安装头8所具有的轴构件20的数量以及配置对应地设计。图6～图7b所示的吸嘴架装卸装置50具有与图2所示的安装头8对应的十二个架卡合部51。

在图6中，在架卡合部51形成有上部开口的架保持孔51a。在架卡合部51的上部形成有从架保持孔51a贯穿至架卡合部51的外侧且上部开口的一对卡止槽51b。在使架卡合部51保持吸嘴架30时，使吸嘴架30的卡止构件31e的方向与卡止槽51b对位，并使吸嘴架30从上方插入架保持孔51a。吸嘴架30在卡止构件31e卡止于卡止槽51b的底面的状态下被架卡合部51保持。即，架卡合部51在吸嘴40装配于吸嘴架30的状态下与吸嘴架30卡合。需要说明的是，架保持孔51a形成为能够对装配有吸嘴40的吸嘴架30或卸下吸嘴40后的吸嘴架30的任一者进行保持。

在图6中，在吸嘴架装卸装置50的上表面50a以向上方突出的方式设置有两根对位销52，该两根对位销52分别嵌入在安装头8的下表面的两处突出的定位部13上形成的定位孔13a(参照图9a、图9b)。通过以对位销52插入安装头8的定位孔13a的方式将吸嘴架装卸装置50从安装头8的下方向上方抬起，能够将十二根轴构件20上分别装配的十二个吸嘴架30分别同时插入十二个架卡合部51的架保持孔51a。这样，安装头8的两处定位孔13a与吸嘴架装卸装置50的两根对位销52构成使架卡合部51相对于安装头8进行对位的对位部。

在图7a、图7b中，在吸嘴架装卸装置50的两侧的侧面50c分别配置有按压构件53。在吸嘴架装卸装置50的内部配置有在两侧的侧面50c对置的方向(以下称为“左右方向”。)上水平地延伸的两根齿条54。两根齿条54分别经由连结部54b而与左右的按压构件53连接。齿条54设置为在上下方向的移动通过分别配置于吸嘴架装卸装置50的前表面50d的内侧以及后表面50e的内侧的滑块55而受到限制的状态下沿左右方向移动自如。在将按压构件53向内部按入、或使按压构件53向外侧突出时，齿条54会随着按压构件53的移动而沿左右方向移动(参照图8b、图8c)。

按压构件53的外方向的移动被按压构件53中的位于吸嘴架装卸装置50的内部的裙部53a与侧面50c的内侧抵接的位置限制。以下，将按压构件53的外方向的移动被限制的位置称为“待机位置”。按压构件53的内方向的移动被裙部53a与设置于吸嘴架装卸装置50的内部的限制板56抵接的位置(参照图8b)限制。以下，将按压构件53的内方向的移动被限制的位置称为“最大按入位置”。

在连结部54b装配有线圈状的压缩弹簧57，该压缩弹簧57的一端与限制板56抵接，另一端与按压构件53的内壁53b抵接。即，按压构件53被压缩弹簧57向外侧施力。因此，若从外侧将按压构件53按入至最大按入位置后去除按压的力，则按压构件53借助压缩弹簧57的作用力向外侧移动而返回待机位置(参照图8c)。

在图7a、图7b中，在架卡合部51的底部固定有沿上下方向延伸的旋转轴58。旋转轴58的下方侧被内置有轴承件的轴承59保持为能够进行θ旋转。在旋转轴58固定有正齿轮60，该正齿轮60在外周形成有与齿条54上形成的齿54a啮合的齿60a。通过该结构，若正齿轮60进行θ旋转，则固定于旋转轴58的架卡合部51进行θ旋转。

接着，参照图8a～图8c对吸嘴架装卸装置50的功能进行说明。图8a～图8c示意性表示图7a所示的吸嘴架装卸装置50的内部，且省略表示滑块55等。若从图8a所示的两侧的按压构件53位于待机位置的状态起如图8b所示那样将两侧的按压构件53向内侧按入至最大按入位置(箭头c)，则两根齿条54分别向内方向移动(箭头d)。正齿轮60随着齿条54的移动而分别沿顺时针方向进行θ旋转，伴随于此，架卡合部51也沿顺时针方向进行θ旋转(箭头e)。

图8a～图8c所示的吸嘴架装卸装置50以将按压构件53从待机位置按入至最大按入位置时架卡合部51沿顺时针方向旋转约90度的方式设计限制板56的位置、齿条54的齿54a与正齿轮60的齿60a的间隔等。这样，吸嘴架装卸装置50通过将左右的按压构件53从待机位置按入至最大按入位置，能够使多个(十二个)架卡合部51一并沿顺时针方向旋转约90度。需要说明的是，通过将按压构件53从待机位置按入至最大按入位置而进行旋转的架卡合部51的旋转角度根据吸嘴架30、壳体构件21的结构等而自如地变更。

若从将两侧的按压构件53按入至最大按入位置的状态(图8b)起缓和按入按压构件53的力，则如图8c所示那样，按压构件53由于压缩弹簧57的斥力而移动到待机位置(箭头f)。随着按压构件53向待机位置的移动，两根齿条54分别向外方向移动(箭头g)。随着齿条54的移动，正齿轮60分别沿逆时针方向进行θ旋转，伴随于此，架卡合部51也沿逆时针方向进行θ旋转(箭头h)。这样，吸嘴架装卸装置50通过使左右的按压构件53从最大按入位置返回到待机位置，能够使多个(十二个)架卡合部51一并沿逆时针方向旋转约90度。

这样，齿条54、旋转轴58、轴承59以及正齿轮60构成使架卡合部51一并旋转的旋转机构部。另外，旋转机构部将连接于齿条54的按压构件53的按压动作(图8b的箭头c、图8c的箭头f)转换为旋转。即，按压构件53是通过对按压构件53的操作(按压动作)使架卡合部51旋转的操作部。

需要说明的是，在上述结构中，与吸嘴架装卸装置50的左右的侧面50c相应地设置有两个按压构件53，但也可以在任一侧面50c设置一个按压构件53。在这种情况下，使前列的架卡合部51旋转的齿条54和使后列的架卡合部51旋转的齿条54与一个按压构件53连接。即，按压构件53(操作部)至少设置于吸嘴架装卸装置50的一个侧面50c。需要说明的是，操作部不限于按压构件53。例如，操作部也可以为通过杆的操作使齿条54沿水平方向往复移动的部件，只要能够接受来自外部的操作即可。

接着，参照图9a～图12b对使用了吸嘴架装卸装置50的、在安装头8的轴构件20上装配的吸嘴架30的装卸方法进行说明。在部件安装装置1中使安装头8移动至作业者易于作业的位置后并设为安装头8不工作的状态后、或在从部件安装装置1取出安装头8并使之由安装头保持具(省略图示)保持的状态下，执行本实施方式的吸嘴架30的装卸。即，在切断电源等安装头8不工作的状态下执行吸嘴架30的装卸。

首先，对于图9a所示的将安装头8所具有的多个轴构件20上分别装配的吸嘴架30卸下的工序进行说明。在图9a中，作业者用单手(省略图示)保持吸嘴架装卸装置50，且从安装头8的下方使吸嘴架装卸装置50接近。此时，吸嘴架装卸装置50的对位销52与能够插入安装头8的定位孔13a的位置进行对位。由此，多个架卡合部51的位置分别与安装头8的多个轴构件20对准。这样，实施架卡合部51相对于安装头8的对位(st1：对位步骤)。

在图9a中，在轴构件20上装配的多个吸嘴架30的卡止构件31e分别朝向横向。吸嘴架装卸装置50的多个架卡合部51的一对卡止槽51b也分别朝向横向。在图9b中，作业者抬起吸嘴架装卸装置50(箭头j1)，使得吸嘴架装卸装置50的对位销52插入安装头8的定位孔13a。由此，吸嘴架30插入到架卡合部51的架保持孔51a。

作业者抬起吸嘴架装卸装置50，使得卡止构件31e进入卡止槽51b而与卡止槽51b的底面抵接，进而卡止槽51b的底面向上推卡止构件31e而使吸嘴架30达到上方到达高度。对位销52的上部与定位孔13a的上部设定为在吸嘴架30达到上方到达高度的状态下抵接。由此，能够容易地在上方到达高度使吸嘴架装卸装置50停止。

需要说明的是，也可以将定位部13的下表面与吸嘴架装卸装置50的上表面50a设定为在吸嘴架30达到上方到达高度的状态下抵接。这样，能够使多个架卡合部51一并与安装头8所具有的多个轴构件20上分别装配的多个吸嘴架30卡合(st2：架卡合步骤)。

接下来，在图10a中，作业者用大拇指和小拇指等将手持的吸嘴架装卸装置50的左右的按压构件53按入至最大按入位置(箭头j2)。由此，吸嘴架装卸装置50的多个架卡合部51同时沿顺时针方向旋转约90度，并且卡止构件31e与架卡合部51的卡止槽51b卡合的吸嘴架30沿解除方向旋转约90度。即，使吸嘴架30所卡合的多个架卡合部51一并沿解除方向旋转(st3：旋转步骤)。这样，旋转机构部将对按压构件53的按压动作转换为旋转。另外，旋转机构部使多个架卡合部51一并旋转。而且，旋转机构部使多个架卡合部51沿相同方向旋转。

接下来，在图10b中，作业者在将左右的按压构件53按入至最大按入位置的状态下(箭头j2)将吸嘴架装卸装置50向下方拉下(箭头j3)。由此，吸嘴架30在由架卡合部51保持的状态下从轴构件20脱离。即，在旋转步骤(st3)之后，使多个架卡合部51远离安装头8从而将多个吸嘴架30从多个轴构件20一并卸下(st4：架卸下步骤)。

这样，在架卡合部51与吸嘴架30卡合的状态下(st2)，通过对按压构件53的操作而旋转机构部(齿条54、旋转轴58、轴承59、正齿轮60)使架卡合部51旋转(st3)，从而将吸嘴架30从轴构件20卸下。由此，轴构件20的滑动轴20b露出。另外，将吸嘴架30在收纳于架卡合部51中的状态下卸下，因此能够防止吸嘴架30的压缩弹簧构件34脱落。在本实施方式的安装头维护方法中，作业者对这样卸下吸嘴架30后的轴构件20进行清扫(st5：清扫步骤)。需要说明的是，也可以使用专用的清洗装置对轴构件20进行清扫。

接着，对于向安装头8所具有的多个轴构件20分别安装吸嘴架30的工序进行说明。安装吸嘴架30的工序在对上述的为了清扫轴构件20而卸下的吸嘴架30原样安装时、或更换吸嘴架30时执行。

在更换吸嘴架30时等、在吸嘴架装卸装置50的架卡合部51不存在吸嘴架30的情况下，首先，作业者使要在安装头8所具有的多个轴构件20上分别装配的多个吸嘴架30由多个架卡合部51保持(st6：架准备步骤)。即，架卡合部51与要向轴构件20装配的吸嘴架30卡合。此时，通过以吸嘴架30的卡止构件31e插入架卡合部51的卡止槽51b的方式调整旋转方向，从而使吸嘴架30由架卡合部51保持(参照图11a)。

接下来，在图11a中，作业者与对位步骤(st1)同样地，以吸嘴架装卸装置50的对位销52能够插入安装头8的定位孔13a的方式进行对位，并且从安装头8的下方使吸嘴架装卸装置50接近。即，在安装头维护中，在架卡合步骤(st2)之前、以及后述的架加装步骤(st7)之前执行对位步骤(st1)。

此时，作业者将吸嘴架装卸装置50的左右的按压构件53按入至最大按入位置(箭头j4)。由此，吸嘴架装卸装置50的多个架卡合部51同时沿顺时针方向旋转约90度，从而吸嘴架30的卡止构件31e的方向与壳体构件21的垂直槽部21c的方向一致。

接下来，在图11b中，作业者在将按压构件53按入至最大按入位置的状态(箭头j4)下将吸嘴架装卸装置50抬起(箭头j5)，从而使吸嘴架装卸装置50的对位销52插入安装头8的定位孔13a。由此，在吸嘴架30的卡止构件31e进入壳体构件21的垂直槽部21c的状态下将吸嘴架30插入轴构件20(参照图5b)。作业者抬起吸嘴架装卸装置50直至吸嘴架30达到上方到达高度为止。这样，多个架卡合部51所保持的多个吸嘴架30分别一并安装于多个轴构件20(st7：架加装步骤)。

接下来，在图12a中，作业者在吸嘴架30处于上方到达高度的状态下使吸嘴架装卸装置50的左右的按压构件53返回待机位置(箭头j6)。由此，吸嘴架装卸装置50的多个架卡合部51同时沿逆时针方向旋转约90度，从而架卡合部51所分别保持的吸嘴架30沿卡止方向旋转约90度。即，在将多个吸嘴架30安装于多个轴构件20的状态下，使多个架卡合部51一并沿与旋转步骤(st3)相反的方向(卡止方向)旋转(反向旋转)(st8：反向旋转步骤)。

接下来，在图12b中，作业者将吸嘴架装卸装置50向下方拉下(箭头j7)。由此，吸嘴架30的卡止构件31e嵌合在壳体构件21的水平槽部21b内(也参照图5c)。这样，多个吸嘴架30一并装配于多个轴构件20。

如上述说明那样，本实施方式的吸嘴架装卸装置50具有架卡合部51和旋转机构部，该架卡合部51与安装头8所具有的至少一个吸嘴架30卡合，该旋转机构部(齿条54、旋转轴58、轴承59以及正齿轮60)使架卡合部51旋转。而且，吸嘴架装卸装置50在架卡合部51与吸嘴架30卡合的状态下，通过旋转机构部使架卡合部51旋转，从而将吸嘴架30相对于安装头8进行装卸。由此，能够将吸嘴架30相对于安装头8简单地进行装卸。

接着，参照图13a～图14c对吸嘴架装卸装置的另一实施例(以下称为“另一吸嘴架装卸装置70”。)进行说明。另一吸嘴架装卸装置70能够单独地选择多个架卡合部51的旋转方向、有无旋转，这一点与上述的吸嘴架装卸装置50不同。以下，对于与吸嘴架装卸装置50相同的部分标注相同的附图标记，并省略详细说明。图13b示出了图13a中的d-d截面。另一吸嘴架装卸装置70与吸嘴架装卸装置50同样地在上部具有十二个架卡合部51和两根对位销52。

在图13a、图13b中，在另一吸嘴架装卸装置70的两侧面所配置的按压构件53上，除了与吸嘴架装卸装置50的齿条54同样的第一齿条71以外，还分别连接有第二齿条72。在第一齿条71和第二齿条72的相互对置的边上形成有齿71a和齿72a，且齿71a和齿72a啮合于与架卡合部51连结的正齿轮73的齿73a。第二齿条72以夹着正齿轮73的方式与第一齿条71对置，且与第一齿条71平行地配置于比第一齿条71低的高度位置。在将按压构件53向内部按入、或使按压构件53向外侧突出时，第一齿条71和第二齿条72会随着按压构件53的移动而一起沿左右方向移动(参照图14b、图14c)。

在图13b中，在架卡合部51的底部固定有花键轴承75，该花键轴承75与在沿上下方向延伸的旋转轴74的上部形成的花键槽(省略图示)卡合而将旋转轴74保持为能够进行θ旋转。旋转轴74的下方侧穿过内置有轴承件并将旋转轴74保持为能够旋转的轴承76，且向另一吸嘴架装卸装置70的下表面70a的外侧突出。在从另一吸嘴架装卸装置70的下表面70a突出的旋转轴74的下端装配有抓持构件77。在旋转轴74固定有正齿轮73。

若作业者抓持抓持构件77而使之沿上下方向移动，则旋转轴74沿上下方向移动。由此，固定于旋转轴74的正齿轮73在与第一齿条71啮合的高度位置(以下称为“第一旋转位置”。)和与第二齿条72啮合的高度位置(以下称为“第二旋转位置”。)之间上下地移动。在第一齿条71与第二齿条72之间设置有能够以不发生干涉的方式配置正齿轮73的高低差。以下，将正齿轮73不与第一齿条71和第二齿条72发生干涉的高度位置称为“无旋转位置”。

在正齿轮73位于第一旋转位置的情况下，正齿轮73与第一齿条71啮合。在该状态下若第一齿条71沿左右方向移动，则正齿轮73进行θ旋转，且架卡合部51经由旋转轴74、花键轴承75而进行θ旋转(第一旋转方向)。在正齿轮73位于第二旋转位置的情况下，正齿轮73与第二齿条72啮合。在该状态下若第二齿条72沿左右方向移动，则正齿轮73进行θ旋转，且架卡合部51经由旋转轴74、花键轴承75而沿与第一旋转位置相反的方向进行θ旋转(第二旋转方向)。在正齿轮73位于无旋转位置的情况下，正齿轮73不追随第一齿条71、第二齿条72的移动。即，在正齿轮73位于无旋转位置的情况下，架卡合部51不旋转。

这样，第一齿条71、第二齿条72、正齿轮73、旋转轴74、花键轴承75以及轴承76构成使架卡合部51旋转的旋转机构部。而且，正齿轮73、旋转轴74以及抓持构件77构成对使架卡合部51沿第一旋转方向旋转(第一旋转位置)、不旋转(无旋转位置)、沿反向即第二旋转方向旋转(第二旋转位置)进行选择的选择机构部。即，旋转机构部具有选择机构部，发挥着使从多个架卡合部51中选择的至少一个架卡合部51旋转、不旋转、或反向旋转的功能。

在图13b中，多个架卡合部51的正齿轮73从左起被选择为处于第一旋转位置、无旋转位置、第二旋转位置、第一旋转位置、无旋转位置、第二旋转位置。

接着，参照图14a～图14c对另一吸嘴架装卸装置70的功能进行说明。图14a～图14c示意性地表示图13a所示的另一吸嘴架装卸装置70的内部。另一吸嘴架装卸装置70的多个架卡合部51的正齿轮73的前列(六个)和后列(六个)均分别选择为图13b所示的位置。若从图14a所示的两侧的按压构件53位于待机位置的状态起如图14b所示那样将两侧的按压构件53向内侧按入至最大按入位置(箭头k)，则左右的第一齿条71与第二齿条72分别向内方向移动(箭头m)。

在图14b中，随着第一齿条71的移动，位于第一旋转位置的正齿轮73分别沿顺时针方向进行θ旋转，伴随于此，架卡合部51也沿顺时针方向进行θ旋转(箭头n)。另外，位于无旋转位置的正齿轮73不旋转，架卡合部51也不旋转。另外，随着第二齿条72的移动，位于第二旋转位置的正齿轮73分别沿逆时针方向进行θ旋转，伴随于此，架卡合部51也沿逆时针方向(反向)进行θ旋转(箭头p)。

若从将两侧的按压构件53按入至最大按入位置的状态(图14b)起缓和按入按压构件53的力，则如图14c所示那样，按压构件53由于压缩弹簧57的斥力而移动至待机位置(箭头q)。随着按压构件53向待机位置移动，左右的第一齿条71与第二齿条72分别向外方向移动(箭头r)。

在图14c中，随着第一齿条71的移动，位于第一旋转位置的正齿轮73分别沿逆时针方向进行θ旋转，伴随于此，架卡合部51也沿逆时针方向(反向)进行θ旋转(反向旋转)(箭头s)。另外，位于无旋转位置的正齿轮73不旋转，架卡合部51也不旋转。另外，随着第二齿条72的移动，位于第二旋转位置的正齿轮73分别沿顺时针方向进行θ旋转，伴随于此，架卡合部51也沿顺时针方向进行θ旋转(反向旋转)(箭头t)。

另一吸嘴架装卸装置70例如在对图2所示的具有十二根轴构件20的安装头8上装配的吸嘴架30中的、仅部分吸嘴架30进行装卸时使用。在该情况下，另一吸嘴架装卸装置70以使与要装卸的吸嘴架30对应的架卡合部51的正齿轮73对位于第一旋转位置或第二旋转位置、另一正齿轮73对位于无旋转位置的方式使用。

另外，也可以在卸下吸嘴架30时使所有的正齿轮73与第一旋转位置对位地使用，在装配吸嘴架30时使所有的正齿轮73与第二旋转位置对位地使用。在该情况下，在吸嘴架30的卸下过程中，执行图9a～图10b所示的对位步骤(st1)、架卡合步骤(st2)、旋转步骤(st3)以及架卸下步骤(st4)。而且，在吸嘴架30的装配时，在架加装步骤(st7)中在按压构件53位于待机位置的状态下进行；反向旋转步骤(st8)中将按压构件53按入至最大按入位置并使多个架卡合部51一并反向旋转。即，旋转步骤(st3)与反向旋转步骤(st8)中的按压构件53的操作能够设置为相同。

另外，相对于安装头8所具有的多个轴构件20装卸吸嘴架30时，在吸嘴架30旋转的方向混合存在的情况下，通过将另一吸嘴架装卸装置70的架卡合部51的正齿轮73与安装头8相应地设置为第一旋转位置或第二旋转位置，能够对吸嘴架30一并进行装卸。

需要说明的是，上述的另一吸嘴架装卸装置70为对旋转、无旋转、反向旋转这三个方式进行选择的结构，也可以为对旋转、无旋转的这两个方式进行选择的结构。在该情况下，能够删除第二齿条72。另外，上述的吸嘴架装卸装置50、另一吸嘴架装卸装置70为具有十二个架卡合部51的结构，但架卡合部51的个数可根据安装头8的结构而自由地变更。需要说明的是，反向旋转是指使架卡合部相对于向吸嘴架安装的方向进行反向旋转。

本发明的吸嘴架装卸装置以及安装头维护方法具有能够将吸嘴架相对于安装头简单地进行装卸的效果，在向基板安装部件的领域中有用。