材料去除加热器装置的制作方法

本申请要求于2019年3月11日提交的第10-2019-0027650号韩国专利申请的优先权，该韩国专利申请的公开内容通过引用全部包含于此。

发明的实施例涉及一种弯曲装置，利用该弯曲装置将目标物体从另一构件去除。更具体地，发明的实施例涉及一种使用电阻加热型的加热器的材料去除装置，并且利用该材料去除装置可以在显示装置的制造期间在面板上芯片(“cop”)工艺中从显示装置的组件均匀地去除膜。

背景技术：

由于显示装置的显示面板包括相对软的基底而不是相对硬的基底从而具有柔性，所以显示装置可以弯曲成特定形式或形状。使用加热器的材料去除装置可以用于去除设置在显示面板的相对软的基底上的膜的部分，使得膜被有效地图案化以将膜的其他部分保持在显示面板上。

技术实现要素：

实施例提供了一种弯曲装置(例如，材料去除装置)，该弯曲装置用于制造显示装置并能够在显示装置的面板上芯片(cop)工艺中通过使用电阻加热型的加热器来将膜的部分均匀地去除。

根据实施例，一种材料去除加热器装置包括：第一端子部，限定第一电极；第二端子部，限定第二电极；以及加热部，将第一端子部连接到第二端子部，加热部通过从第一端子部到第二端子部的电流的流动而可被加热，以将显示装置的材料的部分去除。加热部限定材料去除加热器装置的下端表面，材料去除加热器装置在下端表面处接触显示装置的材料，加热部将下端表面设置为具有凹形状，并且被加热的加热部使下端表面从凹形状形变为具有平面形状。

加热部可以具有比第一端子部和第二端子部中的每个的厚度小的厚度。

加热部可以包括面向彼此的第一内表面和第二内表面，第一端子部可以包括面向第二端子部的内表面的内表面，加热部的第一内表面和第一端子部的内表面可以彼此共面，并且加热部的第二内表面和第二端子部的内表面可以彼此共面。

第一端子部、第二端子部和加热部可以共同限定材料去除加热器装置的第一散热凹槽，加热部的第一内表面和第二内表面在第一散热凹槽处面向彼此。

第一端子部和第二端子部之中的端子部可以限定从端子部的外表面凹进并向材料去除加热器装置外部开口的第二散热凹槽，第一方向可以被限定为从加热部到端子部，并且第二散热凹槽的最大尺寸可以沿着第一方向延伸。

与第一方向交叉的第二方向可以限定在材料去除加热器装置的端部之间，并且第二散热凹槽可以设置为包括沿着第二方向彼此分隔开布置的多个第二散热凹槽的多个。

材料去除加热器装置可以将其最大尺寸定义为长度，第一端子部和第二端子部之中的端子部可以限定沿着材料去除加热器装置的长度彼此分隔开布置的多个通孔，并且多个通孔之中的每个通孔可以从端子部的外表面延伸到端子部的内表面，通孔向材料去除加热器装置的外部开口。

第一方向可以被限定为从加热部到端子部，并且通孔可以具有圆形形状或椭圆形形状，椭圆形形状具有沿着第一方向的长轴。

加热部还可以包括：从第一端子部延伸的第一连接部、从第二端子部延伸并面向第一连接部的第二连接部以及将第一连接部和第二连接部彼此连接的第三连接部，第三连接部限定材料去除加热器装置的下端表面。第一连接部可以限定第一连接部的随着距第一端子部的距离增大而减小的厚度，并且第二连接部可以限定第二连接部的随着距第二端子部的距离增大而减小的厚度。

被加热到约300摄氏度(℃)或更高且约600℃或更低的温度的加热部可以使下端表面从凹形状形变为具有平面形状。

被加热的加热部可以产生具有比使显示装置的材料熔化的温度高的温度的热。

加热部可以沿着第一方向从第一端子部和第二端子部两者延伸，与第一方向交叉的第二方向可以限定在材料去除加热器装置的端部之间，并且被加热的加热部可以限定沿着第一方向在凹形状与平面形状之间并且在沿着第二方向的材料去除加热器装置的中心部分处的最大形变距离。

沿着第二方向，加热部的具有凹形状的下端表面的长度可以比第一端子部和第二端子部中的每个的长度小。

沿着第二方向，加热部的具有平面形状的下端表面的长度可以等于第一端子部和第二端子部中的每个的长度。

加热部的材料可以包括作为钢和镍的合金的因瓦合金。

加热部的下端表面可以在约25℃的温度下具有凹形状，并且可以在约450℃的温度下具有平面形状。

加热部可以在约93℃的温度下具有约1.3ppm/℃的热膨胀系数，在约260℃的温度下具有约4.18ppm/℃的热膨胀系数，并且在约371℃的温度下具有约7.6ppm/℃的热膨胀系数。

加热部可以具有在从约0.000070ω/cm至约0.00010ω/cm范围内的电阻率。

加热部可以具有在从约9.9w/mk至约10.5w/mk的范围内的热导率。

上述内容仅是说明性的，并且不意图以任何方式进行限制。除了以上描述的说明性实施例和特征之外，通过参照附图和以下详细描述，进一步的实施例和特征将变得明显。

附图说明

通过参照附图详细描述发明的实施例，发明的更完整的理解将变得更明显，在附图中：

图1是示出材料去除装置在其加热之前的实施例相对于膜的透视图；

图2是示出被加热的材料去除装置相对于膜的透视图；

图3是示出材料去除装置的加热部的第一内表面的实施例的透视图；

图4是示出材料去除装置的加热部的第二内表面的实施例的透视图；

图5是示出膜去除装置的第一端子部和第二端子部的实施例的透视图；

图6是示出膜去除装置的第一端子部和第二端子部的另一实施例的透视图；

图7是示出材料去除装置的第一端子部和第二端子部的修改实施例的透视图；

图8是示出膜去除装置的另一实施例的透视图；

图9是示出膜去除装置的实施例的剖视图；

图10(a)是示出加热部在其加热之前的实施例的剖视图，并且图10(b)是被加热的加热部的剖视图；以及

图11是示出被加热的加热部的尺寸改变的实施例的剖视图。

具体实施例

现在将在下文中参照附图更充分地描述实施例。虽然发明可以以各种方式修改并具有若干实施例，但是实施例在附图中示出并将主要在说明书中描述。然而，发明的范围不限于实施例，并且应当被解释为包括包含在发明的精神和范围中的所有改变、等同物和替换物。同样的附图标记始终表示同样的元件。

在附图中，为了清楚和易于对其进行描述，以放大的方式示出了多个层和区域的厚度。当层、区域或板被称为与另一元件相关(诸如“在”另一层、区域或板“上”)时，该层、区域或板可以直接在所述另一层、区域或板上，或者它们之间可以存在中间层、区域或板，相反，当层、区域或板被称为与另一元件相关(诸如“直接在”另一层、区域或板“上”)时，它们之间不存在中间层、区域或板。此外，当层、区域或板被称为与另一元件相关(诸如“在”另一层、区域或板“下方”)时，该层、区域或板可以直接在所述另一层、区域或板下方，或者它们之间可以存在中间层、区域或板。相反，当层、区域或板被称为与另一元件相关(诸如“直接在”另一层、区域或板“下方”)时，它们之间不存在中间层、区域或板。

为了便于描述，这里可以使用空间相对术语“在……下方”、“在……之下”、“下”、“在……上方”、“上”等来描述如附图中所示的一个元件或组件与另一元件或组件之间的关系。将理解的是，除了附图中示出的方位之外，空间相对术语还意图包含装置在使用或操作中的不同方位。例如，在附图中示出的装置被翻转的情况下，定位“在”另一装置“下方”或“之下”的装置可以放置“在”所述另一装置的“上方”。因此，说明性术语“在……下方”可以包括下和上两个位置。装置还可以在其他方向上被定向，因此空间相对术语可以根据方位而被不同地解释。

在整个说明书中，当元件被称为“连接”到另一元件时，该元件“直接连接”到所述另一元件(例如，物理接触和/或机械接触)，或者“电连接”到所述另一元件，至少一个中间元件置于该元件与所述另一元件之间。

这里使用的术语仅用于描述特定实施例的目的，并且不意图成为限制。如在这里所使用的，除非内容另外清楚地表示，否则单数形式“一”、“一个/种/者”和“该(所述)”也意图包括包含“至少一个”的复数形式。“至少一个”不应被解释为限制“一”或“一个/种/者”。“或(或者)”表示“和/或”。如在这里所使用的，术语“和/或”包括相关所列项中的一个或更多个的任何组合和所有组合。还将理解的是，术语“包括”、“包含”当在本说明书中使用时，说明存在所陈述的特征、整体、步骤、操作、元件和/或组件，但不排除存在或添加至少一个其他特征、整体、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组。

将理解的是，尽管在这里可以使用术语“第一”、“第二”、“第三”等来描述各种元件，但这些元件不应被这些术语限制。这些术语仅用于将一个元件与另一元件区分开。因此，下面讨论的“第一元件”可以被命名为“第二元件”或“第三元件”，并且“第二元件”和“第三元件”可以同样地被命名而不脱离在这里的教导。

如在这里所使用的“约”或“近似”包括所陈述的值，并且表示：考虑到所讨论的测量和与特定量的测量相关的误差(即，测量系统的限制)，在如由本领域普通技术人员确定的特定值的可接受的偏差范围内。例如，“约”可以表示在至少一个标准偏差内，或者在所陈述的值的±30％、±20％、±10％或±5％内。

除非另有定义，否则在这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本发明所属领域的技术人员通常理解的含义相同的含义。还将理解的是，术语(诸如在通用词典中定义的术语)应当被解释为具有与他们在相关领域的上下文中的含义一致的含义，并且将不以理想化或过度正式化的含义来解释，除非在本说明书中清楚地定义。

这里参照作为理想化实施例的示意图的剖视图来描述示例性实施例。如此，将预料到由例如制造技术和/或公差的导致的示图的形状的变化。因此，这里所描述的实施例不应被解释为限于如在这里所示出的区域的特定形状，而是将包括例如由制造导致的形状的偏差。例如，示出或描述为平坦的区域通常可以具有粗糙特征和/或非线性特征。此外，所示出的尖角可以是被倒圆的。因此，图中示出的区域本质上是示意性的，并且它们的形状不意图示出区域的精确形状，并且不意图对本权利要求的范围进行限制。

显示装置(诸如包括具有相对软的基底或柔性基底的显示面板的柔性显示装置)的制造工艺可以包括其中从显示面板将膜的部分去除的面板上芯片(“cop”)工艺。电阻加热型的加热器可以被用于将膜的部分去除。

在传统制造工艺中，使用具有电阻加热型的加热器的材料去除装置(例如，在这里另外称为“弯曲装置”)来去除膜，所述加热器在加热之前以平面状态设置在材料去除装置的底表面上。在加热器加热之后，加热器的底表面由于其热膨胀特性而凸弯曲。在材料去除装置的接触显示面板的底表面处于凸弯曲形状的状态下对显示装置的显示面板执行多个工艺。然而，由具有与显示面板接触的呈凸形状的底表面的材料去除装置对显示面板进行的处理会在显示面板的被材料去除装置处理的区域中提供不均匀的平坦度。

在下文中，将参照图1至图11来描述材料去除装置(例如，弯曲装置100)。

图1是示出弯曲装置100在加热之前的实施例相对于膜101的透视图，膜101在设置在构件m上的同时可由弯曲装置100来处理，图2是示出弯曲装置100在加热之后的实施例相对于膜101的透视图，膜101在设置在构件m上的同时可由弯曲装置100处理。

参照图1和图2，用于显示装置的弯曲装置100包括第一端子部110、第二端子部120和加热部130。第一端子部110和第二端子部120可以沿着第一方向d1从加热部130延伸。弯曲装置100可以沿着与第一方向d1交叉的第二方向d2纵向地延伸。

第一端子部110用作第一电极(+)，第二端子部120用作第二电极(-)。在可选择的实施例中，第一端子部110可以用作第二电极(-)，第二端子部120可以用作第一电极(+)。当然，第一电极可以为负电极，第二电极可以为正电极。

第一端子部110和第二端子部120可以彼此分隔开预定距离，且第一端子部110和第二端子部120的平面表面面向彼此。第一端子部110和第二端子部120可以沿着与第一方向d1和第二方向d2中的每个交叉的第三方向d3彼此分隔开。第一方向d1、第二方向d2和第三方向d3可以分别彼此垂直，但不限于此。

第一端子部110和第二端子部120中的每个具有长方体形状，并且具有沿着第二方向d2延伸的预定长度。第一端子部110和第二端子部120沿着第二方向d2具有基本相同的长度。在实施例中，第一端子部110和第二端子部120可以具有不同的长度。

第一端子部110和第二端子部120具有基本相同的厚度。在可选择的实施例中，第一端子部110和第二端子部120可以具有不同的厚度。第一端子部110和第二端子部120均具有比加热部130的厚度大的厚度。

参照图1，例如，加热部130的厚度沿着第一方向d1和/或第三方向d3测量，而第一端子部110和第二端子部120的厚度沿着第三方向d3测量。在实施例中，第一端子部110、第二端子部120和加热部130中的每个可以限定主表面(例如，最大平面表面)，并且各个部分的相应厚度可以在与其主表面正交的方向上测量，而不限于此。在实施例中，第一端子部110、第二端子部120和加热部130的相应厚度可以被定义为其沿着与其主表面正交的方向的最小尺寸，而不限于此。

加热部130可以连接到第一端子部110和第二端子部120。即，加热部130的一侧(例如，第一侧)可以连接到第一端子部110，并且加热部130的另一侧(例如，与第一侧相对的第二侧)可以连接到第二端子部120。即，加热部130可以将第一端子部110和第二端子部120彼此连接。加热部130可以沿着弯曲装置100的整个长度将第一端子部110和第二端子部120彼此连接，而不限于此。

从弯曲装置100的外部施加到弯曲装置100的电力提供从第一端子部110通过加热部130到第二端子部120的电流的流动，并且由于相对于电流的电阻而在加热部130中产生热。即，加热部130可通过从第一端子部110到第二端子部120的电流的流动而加热，诸如以将显示装置的材料的一部分去除。

加热部130的下端表面被限定为沿着第一方向d1距第一端子部110和第二端子部120最远。下端表面是弯曲装置100接触用于对其进行去除的材料的表面。参照图1，在加热之前，加热部130的下端表面具有凹形状，该凹形状从由第二方向d2和第三方向d3限定的平面沿着第一方向d1凹进延伸(例如，图1中的与虚线相比的实线)。参照图2，在加热之后，加热部130的下端表面具有平面形状。加热部130的下端表面可以设置在由第二方向d2和第三方向d3限定的平面中(例如，图2中的与虚线相比的实线)，而不限于此。即，加热部130的下端表面可以在凹形形状与平面形状之间是可弯曲的或可形变的。

在实施例中，例如，加热部130的下端表面在加热之前当温度为约25摄氏度(℃)时具有沿着第一方向d1凹进的凹形状，并且在加热之后当温度为约450℃时具有平面形状。

加热部130可以包括金属材料。在实施例中，例如，加热部130可以包括作为钢和镍的合金的因瓦合金(invar)。

在这样的情况下，例如，加热部130在加热之后的热膨胀系数(“cte”)在温度为约93℃时为约每摄氏度百万分之1.3(ppm/℃)，在温度为约260℃时为约4.18ppm/℃，在温度为约371℃时为约7.6ppm/℃。

加热部130可以具有从约0.000070欧姆每厘米(ω/cm)至约0.00010ω/cm的范围内的电阻率。在实施例中，例如，加热部130具有约0.000082ω/cm的电阻率。

加热部130的密度为例如约8.05克每立方厘米(g/cc)。

加热部130可以具有在约9.9瓦特/米/k(w/mk)至约10.5w/mk的范围内的热导率。在实施例中，例如，加热部130具有约10.15w/mk的热导率。

加热部130可以具有例如约148千兆帕(gpa)的模量。

加热部130具有比第一端子部110和第二端子部120中的每个的厚度小的厚度。即，第一端子部110具有比加热部130的厚度大的厚度，第二端子部120具有比加热部130的厚度大的厚度。在这样的实施例中，第一端子部110和第二端子部120可以具有基本相同的厚度，并且均可以具有至少比加热部130的厚度大的厚度。

由于加热部130具有比第一端子部110和第二端子部120中的每个的厚度小的厚度，所以热可以由于电阻率而在加热部130中比在第一端子部110和/或第二端子部120中产生得快。此外，与在第一端子部110和/或第二端子部120中产生的热的温度相比，在加热部130中可以产生更高温度的热。

图3是示出加热部130的第一内表面131的实施例的透视图，图4是示出加热部130的第二内表面132的实施例的透视图。

加热部130与第一端子部110之间的边界可以沿着第一方向d1限定在沿着第三方向d3测量的厚度不同的位置处，以分别限定加热部130和第一端子部110。如图3中所示，加热部130的第一内表面131和第一端子部110的内表面位于基本同一平面中(例如，彼此共面以形成弯曲装置100的单个内表面)。

加热部130与第二端子部120之间的边界可以沿着第一方向d1限定在沿着第三方向d3测量的厚度不同的位置处，以分别限定加热部130和第二端子部120(例如，图8中的虚线边界)。如图4中所示，加热部130的第二内表面132和第二端子部120的内表面位于基本同一平面中(例如，彼此共面以形成弯曲装置100的单个内表面)。

因此，弯折装置100通过第一端子部110、第二端子部120以及加热部130限定第一散热凹槽140。即，加热部130的第一内表面131从第一端子部110的内表面延伸，并且与其上定位有第一端子部110的内表面的平面位于基本同一平面中，加热部130的第二内表面132从第二端子部120的内表面延伸，并且与其上定位有第二端子部120的内表面的平面位于基本同一平面中，从而在第一端子部110与第二端子部120之间限定第一散热凹槽140。第一散热凹槽140与加热部130的内表面一起限定在弯曲装置100的单个内表面中的两个之间。第一散热凹槽140从第一端子部110与第二端子部120之间延伸至第一内表面131与第二内表面132之间。第一散热凹槽140沿着第一方向d1开口。第一散热凹槽140也可以沿着第二方向d2(例如，在弯曲装置100的一个或更多个端部处)开口。

图5是示出弯曲装置100的第一端子部110和第二端子部120的实施例的透视图。

参照图5，第一端子部110包括第二散热凹槽151或限定第二散热凹槽151，第二散热凹槽151沿着第一方向d1和/或第三方向d3向弯曲装置100的外部开口。第二散热凹槽151可以设置为沿着弯曲装置100的长度方向(例如，沿着第二方向d2)布置的多个(例如，多个第二散热凹槽151)。第二散热凹槽151的作为其最大尺寸的长度沿着第一方向d1限定，而第二散热凹槽151的宽度沿着第二方向d2限定，且第二散热凹槽151的深度沿着第三方向d3限定。

第二端子部120包括第二散热凹槽152或限定第二散热凹槽152，第二散热凹槽152沿着第一方向d1和/或第三方向d3向弯曲装置100的外部开口。第二散热凹槽152可以设置为沿着弯曲装置100的长度方向(例如，沿着第二方向d2)布置的多个(例如，多个第二散热凹槽152)。第二散热凹槽152的作为其最大尺寸的长度沿着第一方向d1限定，而第二散热凹槽152的宽度沿着第二方向d2限定，且第二散热凹槽152的深度沿着第三方向d3限定。即，第二散热凹槽151和/或第二散热凹槽152沿着第一方向d1具有比其沿着第二方向d2的尺寸(例如，宽度)大的尺寸(例如，长度)。

第二散热凹槽151和第二散热凹槽152可以沿着第二方向d2以预定间隔布置。

在实施例中，例如，第一端子部110可以具有在第二方向d2上以预定间隔布置的多个第二散热凹槽151，每个第二散热凹槽151呈在第一端子部110的外侧表面处开口的长方体形状的形状。第二散热凹槽151具有预定深度，并且当由于电阻率在第一端子部110中产生热时，第二散热凹槽151补偿第一端子部110的有限长度内的材料的膨胀。

在这样的情况下，沿着第二方向d2以预定间隔位于第一端子部110的外侧表面处的第二散热凹槽151中的每个单独的第二散热凹槽151可以被限定为具有预定宽度，并且具有沿着第一方向d1的长度，该长度与第一端子部110在除了第二散热凹槽151之外的位置处沿着第一方向d1的长度基本相同。即，第二散热凹槽151中的每个被限定为沿着与作为第一端子部110的长度方向的第二方向d2交叉的第一方向d1延伸。因此，即使第一端子部110的材料由于热而在第二方向d2上膨胀，第二散热凹槽151也容纳第一端子部110的材料的延伸长度，从而基本减小或有效地防止第一端子部110的总长度由于热而增大。

此外，第二端子部120可以具有沿着第二方向d2以预定间隔布置的多个第二散热凹槽152，每个第二散热凹槽152呈在第二端子部120的外侧表面处开口的长方体形状的形状。第二散热凹槽152具有预定深度，并且当由于电阻率而在第二端子部120中产生热时，第二散热凹槽152补偿第二端子部120的有限长度内的材料的膨胀。

在这样的情况下，沿着第二方向d2以预定间隔位于第二端子部120的外侧表面处的第二散热凹槽152中的每个单独的第二散热凹槽152可以被限定为具有预定宽度，并且具有沿着第一方向d1的长度，该长度与第二端子部120在除了第二散热凹槽152之外的位置处沿着第一方向d1的长度基本相同。即，第二散热凹槽152中的每个被限定为沿着与作为第二端子部120的长度方向的第二方向d2交叉的第一方向d1延伸。因此，即使第二端子部120的材料由于热而沿着第二方向d2膨胀，第二散热凹槽152也容纳第二端子部120的材料的延伸长度，从而基本减小或有效地防止第二端子部120的总长度增大。

图6是示出弯曲装置100的第一端子部110和第二端子部120的另一实施例的透视图。

参照图6，第一端子部110和第二端子部120可以包括第一通孔160或限定第一通孔160。第一通孔160可以设置为沿着第二方向d2以预定间隔布置的多个(例如，多个第一通孔160)。

第一通孔160具有圆形剖面形状。

此外，第一通孔160可以沿着第三方向d3从第一端子部110的内侧表面延伸到第一端子部110的与内侧表面相对的外侧表面。第一通孔160可以从第一端子部110的外表面到第一散热凹槽140完全延伸穿过第一端子部110的厚度。第一通孔160可以在第一端子部110的外侧表面处和在第一端子部110的内侧表面处两处开口。即，第一端子部110可以包括或限定穿过其限定的一个或更多个第一通孔160，第一通孔160沿着第三方向d3从第一端子部110的外侧表面延伸到第一端子部110的与外侧表面相对的内侧表面，第一通孔160沿着第二方向d2以预定间隔设置或布置。第一通孔160穿过第一端子部110的厚度，且第一通孔160的深度与第一端子部110的总厚度对应。当通过电阻率而在第一端子部110中产生热时，第一通孔160容纳第一端子部110的通过第一端子部110的热而延伸的材料。因此，第一端子部110可以由于热的产生而具有温度改变，但第一端子部110的总长度不随温度改变而改变。

此外，第一通孔160可以沿着第三方向d3从第二端子部120的内侧表面延伸到第二端子部120的与内侧表面相对的外侧表面。第一通孔160可以从第二端子部120的外表面到第一散热凹槽140完全延伸穿过第二端子部120的厚度。第一通孔160可以在第二端子部120的外侧表面处和在第二端子部120的内侧表面处两处开口。即，第二端子部120可以包括或限定一个或更多个第一通孔160，第一通孔160在第三方向d3上从第二端子部120的内侧表面延伸到第二端子部120的与内侧表面相对的外侧表面，第一通孔160沿着第二方向d2以预定间隔设置或布置。第一通孔160穿过第二端子部120的厚度，且第一通孔160的深度与第二端子部120的总厚度对应。当通过电阻率而在第二端子部120中产生热时，第一通孔160容纳第二端子部120的通过第二端子部120的热而延伸的材料。因此，第二端子部120可以由于热的产生而具有温度改变，但第二端子部120的总长度不随温度改变而改变。

第一端子部110和第二端子部120的初始总长度(例如，在施加热之前或不施加热)由各个端子部的其沿着第二方向d2的端部之间的材料限定。然而，当由于电阻率而产生热时，第一端子部110和第二端子部120的材料由于热而沿着第二方向d2延伸并延伸到第一通孔160的区域中。然而，由于材料延伸到第一通孔160中，第一端子部110和第二端子部120中的每个沿着第二方向d2(例如，在端部之间)的总长度不改变。即，第一端子部110和第二端子部120可以具有能够更好地容纳这样的沿着第二方向d2的长度改变的结构。

为了进一步增强该效果，至少一个通孔可以具有椭圆形形状，如图7中所示。图7是示出第一端子部110和第二端子部120的修改实施例的透视图。如图7中所示，第一端子部110和第二端子部120可以包括第二通孔170或限定第二通孔170。第二通孔170可以设置为沿着第二方向d2以规律间隔布置的多个(例如，多个第二通孔170)。在这样的情况下，第二通孔170可以具有具备沿着第一方向d1的长轴和沿着第二方向d2的短轴的椭圆形形状，以更好地容纳弯曲装置100沿着第二方向d2的长度改变。

因此，当由于电阻率而产生热时，第一端子部110和第二端子部120在第二方向d2(例如，第二通孔170的短轴)上经受的形变力大于在第一方向d1(例如，第二通孔170的长轴)上经受的形变力，因此使弯曲装置100的材料的长度由于热而沿着第二方向d2延伸。第一端子部110和第二端子部120的材料的延伸长度通过多个第二通孔170而被容纳。

因此，由于一个或更多个第二通孔170，所以不会在第一端子部110和第二端子部120中发生由于温度改变导致的沿着第二方向d2的总长度(例如，端部之间的总长度)的改变。

图8是示出弯曲装置100的另一实施例的透视图。

参照图8，加热部130可以包括第一连接部133和第二连接部134。加热部130还可以包括将第一连接部133和第二连接部134彼此连接的第三连接部。第三连接部被限定为沿着第一方向d1距第一端子部110和第二端子部120最远。第三连接部限定加热部130的上面讨论的下端表面。

第一连接部133从第一端子部110延伸以位于第一端子部110与加热部130的第三连接部之间。第一连接部133的沿着第三方向d3的厚度随着距第一端子部110的距离增大(例如，在朝向加热部130的第三连接部的方向上的距离增大)而减小。

第二连接部134从第二端子部120延伸以位于第二端子部120与加热部130的第三连接部之间。第二连接部134的沿着第三方向d3的厚度随着距第二端子部120的距离增大(例如，在朝向加热部130的第三连接部的方向上的距离增大)而减小。

即，在连接到第一端子部110和第二端子部120的加热部130中，第一连接部133和第二连接部134具有第一连接部133和第二连接部134在第三方向d3上的厚度在沿着第一方向d1朝向第三连接部的方向上逐渐减小的形状。

参照图8，加热部130在其第三连接部处的下端表面与第一连接部133和第二连接部134两者的外表面形成钝角。参照图4，例如，加热部130的在其第三连接部处的下端表面与分别与第一内表面131和第二内表面132相对的外表面形成比钝角小的角度。比钝角小的角度可以包括约90°的角度，而不限于此。图4中的加热部130在第一内表面131和第二内表面132处的厚度可以随着距相应端子部的距离沿着第一方向d1增大而是均匀的，而不限于此。

图9是示出沿第三方向d3观看的弯曲装置100的实施例的剖视图。

参照图5和图9，例如，当在第三方向d3上观看弯曲装置100时，第一端子部110位于上部处，加热部130位于下部处。

在第一端子部110处，沿着第二方向d2以规律间隔布置有一个或更多个第二散热凹槽151。

加热部130可以沿着第二方向d2具有预定长度。在实施例中，加热部130具有例如约70毫米(mm)的长度。

加热部130可以产生比要处理的对象(例如，图1和图2中的膜101)的材料通过被加热了的加热部130而形变或熔化的温度高的温度的热。

加热部130可以由于在约300℃或更高且约600℃或更低的温度下的热膨胀而形变。

当加热部130包括因瓦合金时，加热部130可以具有在约0.000070ω/cm至约0.00010ω/cm范围内的电阻率。在实施例中，例如，加热部130具有约0.000082ω/cm的电阻率。

在弯曲装置100中，当从弯曲装置100的外部并通过第一端子部110施加电力时，电流从第一端子部110通过加热部130流到第二端子部120。

在这样的情况下，根据电能(电力)产生焦耳热(b)，并且加热部130基于电阻率将焦耳热(b)转换成耗散热(a)，从而将耗散热(a)释放，如以下等式1中。因此，焦耳热(b)和耗散热(a)的量之和变为零。

等式1

在等式1中，(a)表示由于加热部130中的电阻率而产生的耗散热，(b)表示由于第一端子部110和第二端子部120的电能而产生的焦耳热。

第一端子部110和第二端子部120中的每个沿着第二方向d2具有预定长度，例如，约70mm。尽管由于电能产生的焦耳热而在第一端子部110和第二端子部120的材料中发生热膨胀，但是第二散热凹槽151和152容纳材料的由于热膨胀而延伸的长度，使得相应端子部的相对端子部不位移。因此，由于延伸的材料被容纳的第二散热凹槽151和152，所以尽管在相应端子部内发生了材料的热膨胀，但是第一端子部110和第二端子部120的总长度(例如，端部之间的总长度)不会超过约70mm。即，即使温度由于发热而改变，第一端子部110和第二端子部120的总长度(例如，端部之间的总长度)的物理改变也不会发生。

当由于电阻率而产生热时，加热部130的温度增大。当温度上升时，如以下等式2中所示地产生热应力，并且相应地，热膨胀发生并且加热部130的材料延伸。

等式2

(d)σ＝e(ε-α(t-tamb)i)

在等式2中，表示梯度，σ表示热应力，e表示弹性模量，ε表示应变，α表示热膨胀系数，t表示加热部130的温度，tamb表示环境温度，i表示根据加热部130的长度的形变量。

即，通过将弹性模量e乘以应变ε和形变量i来计算热应力σ。在这样的情况下，应变ε是基于热膨胀系数α和温度改变t-tamb的应变。

图10(a)是示出未加热(例如，在加热之前)的加热部130的实施例的剖视图，图10(b)是被加热了的加热部130的剖视图，图11是示出加热部130的尺寸改变的实施例的剖视图。

如图10(a)中所示，在对弯曲装置100进行加热之前，加热部130的下端表面具有沿着第一方向d1凹入的形状(图10(a)中的实线)。如图10(b)中所示，由于热膨胀，加热部130的下端表面通过施加到弯曲装置100的热而从凹形状位移以设置成平面形状(图10(b)中的实线)。图11是加热部130的端部的位移的实施例的剖视图。

由于加热部130具有比第一端子部110和第二端子部120中的每个的厚度小的厚度，所以在加热部130中比在第一端子部110和第二端子部120中更快地产生热，并且在加热部130中所产生的热的温度比在第一端子部110和第二端子部120中所产生的热的温度更快地上升。

将图1、图2和图9至图11结合在一起，例如，包括电阻加热型的加热器的弯曲装置100的一个或更多个实施例在弯曲装置100的加热之后将弯曲装置100的底表面设置为平面状态。

在制造显示装置的实施例中，通过具有为平面的下端表面的弯曲装置100对其上具有膜101的构件m(例如，显示装置的显示面板)执行多个工艺。更具体地，弯曲装置100的下端表面具有在第三方向d3上的相对短的宽度和沿着第二方向d2的长度的平面区域，以接触要处理的膜101。因此，膜101的被弯曲装置100接触的部分可以从构件m去除，同时使构件m的相对软的部分(例如，显示面板的柔性基底)的形变最小化或有效地防止构件m的相对软的部分(例如，显示面板的柔性基底)的形变，使得使用弯曲装置100提供的显示装置的显示面板即使在利用弯曲装置100处理过的区域处也具有均匀的平坦度。

加热部130可以包括可以耐受约600℃或更低的温度的材料。

另外，加热部130可以由于在约300℃或更高且约600℃或更低的温度下的热膨胀而形变。

即，由于电阻率而在加热部130中产生热。由于加热部130具有比第一端子部110和第二端子部120中的每个的厚度小的厚度，因此随着加热部130的温度上升，热相对容易地在加热部130中传导，使得加热部130的材料随着温度上升而膨胀和延伸。在实施例中，加热部130的材料在约93℃的温度下以约1.3ppm/℃的热膨胀系数延伸，在约260℃的温度下以约4.18ppm/℃的热膨胀系数延伸，并且在约371℃的温度下以约7.6ppm/℃的热膨胀系数延伸。

因此，如图10(a)中所示，加热部130的下端表面在加热之前具有在正(+)第一方向d1上凹入的形状。然而，在加热之后，加热部130的温度上升，并且加热部130的下端表面由于热膨胀而在负(-)第一方向d1上膨胀距离h，并且如图10(b)中所示地变成平面。

在加热部130的沿着第二方向d2截取的中心部分处，加热部130从加热之前的凹形状形变到加热之后的平面形状的距离h可以沿着第一方向d1最大。即，加热部130沿着第一方向d1的尺寸可以被限定在距相应端子部最远的下端表面到加热部130与相应端子部之间的边界之间。加热部130沿着第一方向d1的尺寸可以在加热之后通过下端表面从凹形状到平面形状的延伸而增大。在实施例中，在加热部130的沿着第二方向d2限定的中心部分处测量的增大的尺寸(例如，距离h)可以沿着第一方向d1为约21微米(μm)。

加热部130可以产生具有比使将要处理的对象的材料熔化的温度高的温度的热。在制造显示装置的实施例中，在进一步处理用于形成显示装置的显示面板之前，可以将膜101(例如，作为将要处理的对象的保护膜)附着到构件m(例如，具有相对软的柔性基底的显示面板)。在实施例中，例如，为了将附着到显示面板的保护膜的一部分或整体去除，加热部130可以产生具有比保护膜的熔化温度高(例如，比约465℃高)的温度的热。

参照图11，在加热之前，加热部130的沿着第二方向d2的相对端部之间的距离可以比第一端子部110和第二端子部120中的每个的长度小。

在加热之后，加热部130的沿着第二方向d2的相对端部之间的距离可以基本等于或小于第一端子部110和第二端子部120中的每个的长度。每个端部可以沿着第二方向d2移动长度(a)，以在加热之后被设置为与第一端子部110和第二端子部120中的每个的端部基本对应。每个端部可以沿着第一方向d1移动长度(b)，以在加热之后限定加热部130的具有平面形状的下端表面。

当沿着第三方向d3观看时，加热部130的相对端部可以在加热之后延伸通过沿着第一方向d1延伸的长度(b)和沿着第二方向d2延伸的长度(a)的矢量和(c)计算的长度。

参照图11，例如，加热部130的位于其相对侧上的下角中的每个在加热之后比加热之前在负(-)第一方向d1上延伸约102μm(例如，b＝102μm)。右下角部在加热之后比加热之前在负(-)第二方向d2上延伸约92μm(例如，a＝92μm)，并且左下角部在加热之后比加热之前在正(+)第二方向d2上延伸约92μm(例如，a＝92μm)。

在这样的实施例中，沿着第二方向d2，加热部130的下端表面在加热后从在加热之前在正(+)第一方向d1上凹入的形状被平坦化，因此加热部130在负(-)第一方向d1上延伸约21μm的距离h。

此外，加热部130的位于其相对侧上的下角在加热之后在负(-)第一方向d1上延伸约102μm，并且在加热之后都沿着第二方向d2延伸约92μm，因此在对角线方向(c)上延伸约137.3μm。

因此，尽管由于加热部130在加热之后的热膨胀引起相对的角分别沿着第一方向d1和第二方向d2延伸，但是加热部130的热膨胀的长度可以不超过上面所讨论的约70mm的长度，并且加热部130的下端表面变得平坦化，使得可以在弯曲装置100的整个长度上从显示面板将保护膜的一部分或整体均匀地去除。

弯曲装置100的一个或更多个实施例可以在制造显示装置中使用。更具体地，弯曲装置100的一个或更多个实施例可以通过使用电阻加热型的加热器(诸如在显示装置的板上芯片(“cop”)工艺中)从显示装置的另一构件m将膜101的一部分或整体均匀地去除。

因此，可以通过热处理同时对显示面板上的膜进行图案化来制造具有均匀平坦度的诸如显示装置的显示面板的构件。

虽然已经参照发明的实施例示出和描述了发明，但是对于本领域普通技术人员将明显的是，在不脱离发明的精神和范围的情况下，可以对其进行形式和细节上的各种改变。