半导体电路元件、电子设备以及移动体的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体电路元件、使用了该半导体电路元件的电子设备以及移动体。
【背景技术】
[0002]以往，公开了一种半导体装置，该半导体装置具备:集成电路(半导体电路)，其设置在半导体基板上；绝缘层，其设置在该半导体基板上；以及电感元件，其设置在该绝缘层上(例如参照专利文献1)。
[0003]专利文献1:日本特开2009 - 267212号公报
【发明内容】
[0004]然而，上述专利文献1中的半导体装置构成为将集成电路(半导体电路)和电感元件(电感电路)配置成在俯视时重叠。在这样的结构中，例如在集成电路(半导体电路)是包含可变电容元件的振荡电路的情况下，因可变电容元件与电感元件之间的电磁耦合，电感元件的电感发生变化、或者可变电容元件的静电电容值等发生变化，因此，可能导致从振荡电路输出的振荡频率发生变动。
[0005]本发明是为了解决上述课题的至少一部分而提出的，能够作为下面的方式或应用例来实现。
[0006][应用例1]
[0007]本应用例的半导体电路元件的特征在于，具备:半导体电路，其设置在半导体基板的主面上；以及薄膜电路元件，其配置在所述半导体基板的所述主面侧，具有导电性的薄膜，所述半导体电路在俯视时设置于所述薄膜电路元件与所述半导体基板的外周部之间。
[0008]根据本应用例，由于半导体电路在俯视时配置于薄膜电路元件与半导体基板的外周部之间，所以俯视时半导体电路与薄膜电路元件不重叠，因此能够减少半导体电路与薄膜电路元件之间的电磁耦合。另外，半导体电路在俯视时配置于薄膜电路元件与半导体基板的外周部之间，换言之，半导体电路在俯视时配置于薄膜电路元件的外侧。因此，例如在薄膜电路元件是产生磁场的元件的情况下，一般地，薄膜电路元件的外侧的磁场密度比内侧的磁通量密度小，从而通过将半导体电路配置在薄膜电路元件的外侧，减少半导体电路与薄膜电路元件之间的电磁耦合。由此，能够减小半导体电路与薄膜电路元件之间的电磁耦合所造成的薄膜电路元件的特性值的变动。因而，例如在薄膜电路元件是振荡电路的振荡环路中使用的电路的情况下，能够减小因薄膜电路元件的特性值的变动而引起的振荡频率的变动。
[0009][应用例2]
[0010]在上述应用例所述的半导体电路元件中，优选的是，所述半导体电路元件具备第1绝缘膜，所述第1绝缘膜被设置成与所述主面及所述半导体电路重叠，所述薄膜电路元件设置在所述第1绝缘膜的与所述主面及所述半导体电路中的至少一个相接的面的反面上。
[0011]根据本应用例，由于隔着第1绝缘膜设置了半导体电路和薄膜电路元件，所以能够减少半导体电路与薄膜电路元件之间的、例如短路等电绝缘不良。
[0012][应用例3]
[0013]在上述应用例所述的半导体电路元件中，优选的是，所述半导体电路元件具有配置在所述第1绝缘膜上的外部连接端子，所述外部连接端子在俯视时位于与所述半导体电路重叠并且不与所述薄膜电路元件重叠的位置处。
[0014]根据本应用例，由于能够使用俯视时重叠地配置的外部连接端子作为半导体电路的保护电极，所以能够抑制来自外部的噪声对半导体电路造成影响，例如在使用本应用例的电路作为振荡电路的振荡环路中使用的电路的情况下，能够降低来自外部的噪声成为振荡频率的噪声的可能性。另外，由于外部连接端子配置在不与薄膜电路元件重叠的位置处，所以能够抑制薄膜电路元件与半导体电路之间的电磁耦合，能够减小薄膜电路元件或者半导体电路中使用的元件值的变动。由此，例如能够减小振荡电路的振荡频率的变动。
[0015][应用例4]
[0016]在上述应用例所述的半导体电路元件中，优选的是，所述半导体电路元件具有第2绝缘膜，所述第2绝缘膜至少覆盖所述薄膜电路元件，所述半导体电路元件具有配置在所述第2绝缘膜上的外部连接端子，所述外部连接端子在俯视时位于与所述半导体电路重叠并且不与所述薄膜电路元件重叠的位置处。
[0017]根据本应用例，由于能够利用第2绝缘膜来防止薄膜电路元件与外部连接端子之间的电短路，并且能够使用外部连接端子作为半导体电路的保护电极，所以能够抑制来自外部的噪声对半导体电路造成影响，例如在使用本应用例的电路作为振荡电路的振荡环路中使用的电路的情况下，能够降低来自外部的噪声成为振荡频率的噪声的可能性。另外，由于外部连接端子配置在不与薄膜电路元件重叠的位置处，所以能够抑制薄膜电路元件与半导体电路之间的电磁耦合，能够减小薄膜电路元件或者半导体电路中使用的元件值的变动。由此，例如能够减小振荡电路的振荡频率的变动。
[0018][应用例5]
[0019]在上述应用例所述的半导体电路元件中，优选的是，所述半导体电路包含静电电容元件，所述薄膜电路元件包含电感电路。
[0020]根据本应用例，半导体电路包含静电电容元件，薄膜电路元件包含电感电路，从而能够构成包含它们的振荡电路的振荡环路中使用的振荡用电路。在这样的振荡用电路中，当使用电感电路作为伸长线圈的情况下，电感电路与静电电容元件发生电磁耦合时，例如在电感电路与静电电容元件之间产生寄生电容而可能导致电感电路的电感值及静电电容元件的静电电容值变动而振荡频率变动。通过采用本结构，能够减少电磁耦合，因此，能够减小电感电路的电感值及静电电容元件的静电电容值的变动，例如能够减小振荡电路的振荡频率变动。
[0021][应用例6]
[0022]在上述应用例所述的半导体电路元件中，优选的是，所述电感电路是俯视时配置成螺旋状的布线。
[0023]根据本应用例，构成为半导体电路在俯视时配置于形成有电感电路的区域的外部。电感电路的螺旋状的图案内部与螺旋状的图案外部(电感电路与半导体基板的外周部之间的区域)相比处于磁通量密度较高的状态。因而，半导体电路在俯视时配置于螺旋状的图案内部时，电感电路与半导体电路之间的电磁耦合增大，从而可能使电感值的变动增大。通过采用本结构，能够减少电磁耦合，因此，能够减小电感电路的特性值的变动，例如能够减小振荡电路的振荡频率的变动。
[0024][应用例7]
[0025]在上述应用例所述的半导体电路元件中，优选的是，所述半导体电路包含电阻电路，所述电阻电路与所述电感电路电连接。
[0026]根据本应用例，由于能够使用与电感电路电连接的电阻电路对电感电路的特性、特别是Q值进行调整，所以例如能够减少振荡电路的启动时因电感电路而产生的异常振荡。
[0027][应用例8]
[0028]在上述应用例所述的半导体电路元件中，优选的是，能够可变地控制所述电阻电路的电阻值。
[0029]根据本应用例，通过可变地控制与电感电路电连接的电阻电路的电阻值，例如每当振荡频率或者使用的振子的等效电路常数值等发生变化时，能够对电感电路的Q值进行调整。因此，即使振荡频率或者所使用的振子的等效电路常数值等发生了变化，也能够调整为不会产生异常振荡。
[0030][应用例9]
[0031]本应用例的电子设备的特征在于，具备上述应用例的任意一例所述的半导体电路元件。
[0032]根据本应用例，由于具备使半导体电路与薄膜电路元件的电磁耦合所引起的半导体电路的特性值或者薄膜电路元件的特性值的变动减小的半导体电路元件，所以可提供能够维持稳定的特性的电子设备。
[0033][应用例10]
[0034]本应用例的移动体的特征在于，具备上述应用例的任意一例所述的半导体电路元件。
[0035]根据本应用例，由于具备使半导体电路与薄膜电路元件的电磁耦合所引起的半导体电路的特性值或者薄膜电路元件的特性值的变动减小的半导体电路元件，所以可提供能够维持稳定的特性的移动体。
【附图说明】
[0036]图1示出第1实施方式的半导体电路元件，图1的(a)是俯视图，图1的(b)是图1的(a)的A — A剖视图。
[0037]图2是示出设置在半导体电路元件上的半导体电路的一例的电路结构图。
[0038]图3示出第2实施方式的半导体电路元件，图3的(a)是俯视图，图3的(b)是图3的(a)的B — B剖视图。
[0039]图4示出第3实施方式的半导体电路元件，是相当于图3的(a)的B — B截面的剖视图。
[0040]图5是示出作为电子设备一例的移动型个人计算机的结构