的一例。而且，在第一实施方式?第三实施方式中，第一高度位置HP1相当于本发明的“与第一基准标记相同的高度位置”，在第一实施方式和第二实施方式中，第二高度位置HP2相当于本发明的“与第二基准标记的像相同的高度位置”。而且，第一拍摄模式(步骤S4)和第二拍摄模式(步骤S5)相当于本发明的“图像取得工序”。而且，在步骤S62中，以校正吸附偏差量和移动误差的方式对头单元6的移动目标位置进行了校正后，使头单元6向移动目标位置移动，这相当于本发明的“校正工序”的一例。
[0069]另外，本发明并不限于上述实施方式，在不脱离其实质精神的范围内，能够对上述内容进行各种变更。例如，在上述第一实施方式和第二实施方式中，作为基准标记，设置了两个第一基准标记MK1和两个第二基准标记MK2，但各基准标记的数量并不限于此，可以是任意数量。而且，在第三实施方式中，作为基准标记，设置了两个基准标记MK1，但基准标记MK1的数量也是任意的。但是，为了检测头单元6的移动误差并对该移动误差进行校正，需要将每种基准标记的数量设定为两个以上。
[0070]而且，在第一实施方式中，由单透镜604构成本发明的“成像部”，但也可以以使多个透镜组合并使基准标记MK2的像在高度位置HP2成像的方式构成。
[0071]而且，在第一实施方式?第三实施方式中，利用使滚珠丝杠和旋转马达组合而成的、所谓的滚柱丝杠机构沿X轴方向和Y轴方向驱动头单元6，但驱动方式不限于此，例如也可以构成为利用线性马达进行驱动。
[0072]附图标记说明
[0073]1元件安装装置
[0074]3控制单元(控制部)
[0075]6头单元
[0076]8H、8L 元件
[0077]37运算处理部(控制部)
[0078]72扫描相机(可动拍摄部)
[0079]73基台相机(固定拍摄部)
[0080]604透镜(成像部)
[0081]611 吸嘴
[0082]S 基板
[0083]HP1第一高度位置
[0084]HP2第二高度位置
[0085]IM1 第一图像
[0086]IM2 第二图像
[0087]Im (第二基准标记的)像
[0088]MK1 第一基准标记
[0089]MK2第一基准标记
[0090]X排列方向
【主权项】
1.一种元件安装装置，其特征在于，具备: 头单元，在由能够沿上下方向升降的吸嘴吸附元件的状态下移动到基板的上方而将所述元件安装于所述基板； 基准标记，设于所述头单元； 可动拍摄部，在所述吸嘴和所述基准标记的排列方向上相对于所述头单元移动自如地设置； 固定拍摄部，固定于比所述可动拍摄部移动的高度位置低的位置；及控制部，基于对吸附于所述吸嘴的元件和所述基准标记进行拍摄所得的图像，对所述元件向所述基板的安装进行校正， 所述控制部选择第一拍摄模式和第二拍摄模式中的任一拍摄模式来取得所述图像，所述第一拍摄模式是使所述可动拍摄部沿所述排列方向移动而利用所述可动拍摄部对吸附于所述吸嘴的元件和所述基准标记进行拍摄的拍摄模式，所述第二拍摄模式是使所述头单元经由所述固定拍摄部的上方移动到所述基板的上方而利用所述固定拍摄部对吸附于所述吸嘴的元件和所述基准标记进行拍摄的拍摄模式。2.根据权利要求1所述的元件安装装置，其中， 作为所述基准标记，设置能够由所述可动拍摄部拍摄的第一基准标记和能够由所述固定拍摄部拍摄的第二基准标记， 所述控制部在所述第一拍摄模式中拍摄所述第一基准标记作为所述基准标记，而在所述第二拍摄模式中拍摄所述第二基准标记作为所述基准标记。3.根据权利要求2所述的元件安装装置，其中， 还具备成像部，所述成像部使所述第二基准标记的像成像于所述第一基准标记和所述固定拍摄部之间的高度位置， 所述第二基准标记和所述成像部设于不会与沿所述排列方向移动的所述可动拍摄部发生干扰的高度位置， 所述固定拍摄部对所述第二基准标记的像进行拍摄。4.根据权利要求3所述的元件安装装置，其中， 所述控制部在所述第一拍摄模式中，将吸附于所述吸嘴的所述元件的下表面定位于与所述第一基准标记相同的高度位置，并利用所述可动拍摄部对所述元件和所述第一基准标记进行拍摄， 所述控制部在所述第二拍摄模式中，将吸附于所述吸嘴的所述元件的下表面定位于与所述第二基准标记的像相同的高度位置，并利用所述固定拍摄部对所述元件和所述第二基准标记的像进行拍摄。5.根据权利要求2所述的元件安装装置，其中， 所述第二基准标记在所述排列方向上处于所述可动拍摄部移动的范围的外侧、且设于比所述第一基准标记低的高度位置， 所述控制部在所述第一拍摄模式中将由所述可动拍摄部拍摄的所述第一基准标记作为所述基准标记，而在所述第二模式中将由所述固定拍摄部拍摄的所述第二基准标记作为所述基准标记。6.根据权利要求5所述的元件安装装置，其中， 所述控制部在所述第一拍摄模式中，将吸附于所述吸嘴的所述元件的下表面定位于与所述第一基准标记相同的高度位置，并利用所述可动拍摄部对所述元件和所述第一基准标记进行拍摄， 所述控制部在所述第二拍摄模式中，将吸附于所述吸嘴的所述元件的下表面定位于与所述第二基准标记相同的高度位置，并利用所述固定拍摄部对所述元件和所述第二基准标记进行拍摄。7.根据权利要求1?6中任一项所述的元件安装装置，其中， 所述头单元装备多个所述吸嘴， 所述控制部在由各吸嘴吸附的元件的上下方向的最大高度为基准值以下时选择所述第一拍摄模式，而在所述最大高度超过所述基准值时选择所述第二拍摄模式。8.根据权利要求7所述的元件安装装置，其中， 在所述第二拍摄模式中，由各吸嘴吸附的元件的上下方向的高度超过所述基准值。9.根据权利要求7所述的元件安装装置，其中， 在所述第二拍摄模式中，由所述多个吸嘴中的一部分吸嘴吸附的元件的上下方向的高度超过所述基准值，由剩余吸嘴吸附的元件的上下方向的高度为所述基准值以下。10.根据权利要求1所述的元件安装装置，其特征在于， 所述基准标记能够由所述可动拍摄部和所述固定拍摄部进行拍摄， 所述控制部在所述第一拍摄模式和所述第二拍摄模式的各拍摄模式中对同一所述基准标记进行拍摄。11.一种元件安装方法，在由能够沿上下方向升降的吸嘴吸附元件的状态下使头单元移动到基板的上方而将所述元件安装于所述基板，所述元件安装方法的特征在于，包括: 图像取得工序，对吸附于所述吸嘴的元件和设于所述头单元的基准标记进行拍摄来取得图像；及 校正工序，基于所述图像，对由所述吸嘴进行的所述元件向所述基板的安装进行校正， 所述图像取得工序是选择第一拍摄模式和第二拍摄模式中的任一拍摄模式来取得所述图像的工序，所述第一拍摄模式是一边使设于所述头单元的可动拍摄部沿所述吸嘴和所述基准标记的排列方向移动一边利用所述可动拍摄部对吸附于所述吸嘴的元件和所述基准标记进行拍摄的拍摄模式，所述第二拍摄模式是使所述头单元经由固定拍摄部的上方移动到所述基板的上方而利用所述固定拍摄部对吸附于所述吸嘴的元件和所述基准标记进行拍摄的拍摄模式，所述固定拍摄部固定于比所述可动拍摄部移动的高度位置低的位置。
【专利摘要】具备：头单元，在由能够沿上下方向升降的吸嘴吸附元件的状态下移动到基板的上方后，通过吸嘴将元件安装于基板；基准标记，设于头单元；可动拍摄部，在吸嘴和基准标记的排列方向上相对于头单元移动自如地设置；固定拍摄部，固定于比可动拍摄部移动的高度位置低的位置；及控制部，基于对吸附于吸嘴的元件和基准标记进行拍摄所得的图像，对由吸嘴向基板安装元件的安装动作进行校正，控制部选择第一拍摄模式和第二拍摄模式中的任一拍摄模式来取得图像，第一拍摄模式是使可动拍摄部沿排列方向移动而利用可动拍摄部对吸附于吸嘴的元件和基准标记进行拍摄的拍摄模式，所述第二拍摄模式是使头单元经由固定拍摄部的上方向基板的上方移动而利用固定拍摄部对吸附于吸嘴的元件和基准标记进行拍摄的拍摄模式。
【IPC分类】H05K13/04, H05K13/08
【公开号】CN105309064
【申请号】CN201480002290
【发明人】井上聪
【申请人】雅马哈发动机株式会社
【公开日】2016年2月3日
【申请日】2014年5月28日
【公告号】WO2015181905A1