专利名称：高密度倒装芯片的互连的制作方法
技术领域：
本发明一般涉及用于经多层电路板路由(routing)信号的互连技术，而且对倒装芯片的封装特别有用。
背景技术：
图1的剖面图示出一块母板经由诸如焊球与一插入物或另一基片耦连，此后称此插入物为‘卡’。此卡经由诸如焊点与诸如倒装芯片管芯(die)的芯片耦连，并按现有技术绘示出这类层结构的一个典型示例。在所绘示例中，此卡有五层结构材料层(板层A-F)和六层迹线或互连层(迹线层3F、2F、1FC、1BC、2B和3B)，而所示简化的母板则仅有一层结构层(母板)和一层迹线或互连层(m/b迹线层)。读者将会理解到这不过是用以举例而已。
一般的情况是，最上面的一层或两层互连层，诸如迹线层3F和迹线层2F，是用于路由大量的输入/输出(I/O)信号、存储信号、时钟、选通脉冲、电压基准等等(此后为了方便说明统称之为“I/O”信号并非作为限制)，而低层则用于提供电源、接地、屏蔽等等。在迹线层之间路由信号是利用通道。电源和接地面可以利用钻孔通道在邻近层之间合适地路由或耦连。然而，钻孔通道往往可能太大以致不适用于在上层之间路由信号。在要选用微通道的情况下可以用刻蚀或类似的方法形成比钻孔所能形成的小得多的尺度。
请在本专利所有余下的部分中继续参阅图1。
图2的俯视图示出现有技术路由这些信号的典型示例。为了便于阅读图2，没有示出各种各样母板和卡层，而是用标虚线的框10表示出倒装芯片管芯的一般轮廓。在倒装芯片管芯和/或卡上按图形分布着多个凸点12。这些凸点中有些用于传输I/O信号，而有些则用于传输电源和接地信号。一般情况是，I/O信号要接到母板上的另外的芯片上(未示出)；因此，就要求利用一般在倒装芯片管芯外侧凸点(诸如标注14和16的那些)路由这些信号，并将一般在内侧的凸点(诸如标注12的那些)用于电源和接地。
在有些高密度或高信号计数的应用中，I/O信号计数和/或I/O凸点密度可能使得难以或是不可能在最上层迹线层3F上路由全部I/O信号。在这样的应用中，有些I/O信号是在最上层迹线层上路由的(诸如2 4和其它由它们各自的凸点伸向“连接电路”标志的实线所示)，而另外的I/O信号则是从它们各自的凸点向下经微通道(未示出)路由诸如迹线层2F的一低层迹线层，向外到设计规则与实体空间所容许的位置，然后经一微通道(诸如18)向上返回至最上层迹线层，并由此通达它们的终点。在最上层下面传输的信号用虚线诸如20表示，而在经微通道返回顶层之后则用诸如22的实线表示。
然而，现有技术在高密度应用中路由大量信号的能力以及在其它方面都受到限制。
附图简要说明从下面所给出的详细说明以及从本发明实施方案的附图中将会得到对本发明更加全面的了解，但不应视为本发明受到所述具体实施方案的限制，而只不过是供说明和了解之用。
图1为用剖面表示的现有技术具有倒装芯片管芯、基片和母板的典型层次。
图2示出现有技术的一互连路由系统。
图3示出本发明互连路由系统的一项实施方案。
图4示出本发明一项实施方案的间距细节。
图5示出本发明一项实施方案的路由细节，特别是示出在最上层迹线层下面一层迹线层内微通道之间的信号路由。
图6示出本发明一项实施方案的路由细节，特别是示出在最上层和一下层中的信号路由。
图7示出本发明微通道排列的一项实施方案。
详细说明图3举例说明本发明互连系统的一项典型实施方案。如前所述，虚线框表示倒装芯片管芯的位置。在管芯和卡(含义为基片、插入体或类似物)连接区内分布着多个凸点30。各种各样的凸点组可以按一种或多种重复图形分布。重复的一例凸点组可以取名为“样条(Spline)”。“样条”一词还可以用来表示与一管芯样条对应的迹线、凸点、通道或其组合的组群。所举例说明的图形包括构成一样条(样条1)的七个凸点30A-G，而且图形自身重复着形成另外的样条(样条2至样条N)。为了便于标注，可以考虑将凸点成行地排列，最外边的一行(A行)最靠近倒装芯片管芯的边缘，而一行或更多的另外的行(如从B行直至G行)各位于按序趋近倒装芯片管芯的中央或核心。如所举例说明的情况，在有些实施方案中样条可以映射出芯片上某些点的图象。例如，样条1和样条N就是互为映射图象。在实施方案中示出，样条映射图象并在它们之间留下一些非样条的凸点。
该卡具有按一行或多行(如H行和I行)排列的一行或多行微通道(如30H和30I)。这些微通道供从一深层向一较浅层返回I/O信号时使用。在一般情况下，这会是从最上层的下一层(2F)至最上层(3F)，但专业读者会理解到本发明的原则不必受此应用的限制。只是为了便于说明，本专利将使用“顶层”和“埋层”两词。
一个或多个样条可以具有相应的相隔微通道的组。每一这样的组可以名为一条“竖管(riser)”，如从竖管1直至竖管N。
为了简化描述，绘示了两个样条的顶层迹线和埋层迹线以及与它们相关联的竖管。专业读者将会理解到任何数量的样条都可以按此方式与它们相应的I/O信号终点耦连。
图4绘示在一样条及其竖管中凸点和微通道的一种典型间距。专业读者将会理解到这仅是一个示例，而不必是对本发明所加的限制。读者还会理解到这些也不是必需要求的，例如，凸点是圆形的，并非全部凸点都是同一尺寸，并非微通道也是与凸点同一尺寸，如此等等。
在一项实施方案中，一个凸点(如凸点30A(a))具有宽度“w”，而成行的凸点则在2w的中心点上(如凸点30A(g)和30A(h))。在一项实施方案中，对竖管的定位是要使从最外一行凸点(A行)至最近一行竖管微通道(H行)的中心间距距离(可以称为“分路长度”)约为12w(如从凸点30A(d)至微通道30H(d))。在一给定竖管内的微通道是位于约1.5w的中心点(如从微通道30H(d)至微通道30I(d))定位的，而竖管粗略为3w的间距(如从微通道30I(d)至微通道30I(e))。专业读者将会理解这不过是一项示例，而对任何特定应用的尺寸和间距将取决于诸如可以采用的加工工艺、I/O信号的数量和类型、交叉耦连和噪音要求、阻抗指标等等情况。
图5绘示在埋层上的微通道、信号迹线和接地面的一项典型实施方案。凸点40、42和44实际上是在顶层，在这里示出只是为了标注间距。微通道48和50自凸点经顶层向下路由I/O信号至埋层。迹线58和60将那些信号传输到微通道54和56，其路由该信号返回顶层。读者将会理解到迹线58和60不与凸点40或44相连，因为那些凸点不在埋层上，它们几乎是重叠在迹线58和60上面。
通过提供一行以上的竖管微通道，就可以利用数量增加的分路信号。
在一项实施方案中，在顶层迹线的凸点(如A-C行)和埋层迹线的凸点(如E-F行)之间的一行凸点被用作接地、电源或其它基准。在一项这样的实施方案中，用此行与接地面62连接。接地面包括多个“指状物”(如62a-c)，它们向内伸展经过竖管与连接到管芯上接地凸点的微通道46相连。指状物62a-c为它们各自的样条和竖管的信号传输返程电流。由于指状物62a-c、埋层信号迹线58和60以及微通道48、50、54和56是在同一层上，它们应该加工成不致相互接触。指状物为信号提供了接地(或电源)的返回路程，它们为在顶层上发生的信号提供了一个基准面。
图6对图5所示典型实施方案作出更详细的绘示。在顶层，从凸点42在迹线66上路由信号，从凸点44在迹线68上路由信号以及从凸点40在迹线70上路由信号至它们各自的终点。还是在顶层，由微通道54和56向上返回的信号分别在迹线段72和74上路由。所以，例如与迹线72耦连的逻辑或芯片(未示出)最终与凸点48叠合连接到倒装芯片的连接器。专业读者将会理解到，为了尽量减少交叉耦合和其它的有害效应，就要求尽量缩小顶层信号直接覆盖埋层信号的距离。
在一项实施方案中，可以通过路由顶层上的三个I/O信号和埋层上的两个I/O信号获得最大的分路信号计数。在其它的实施方案中，其中的设计规则作了不同规定，其它的信号计数可以表明更好。
在一项实施方案中，一给定样条的顶层I/O信号是相互邻近路由的，而该样条的埋层I/O信号则是向上带至顶层，并接着向邻近路由至该样条的顶层I/O信号。
在一项实施方案中，顶层I/O信号是在样条的竖管微通道最外侧上路由的。例如，在图3中，在倒装芯片管芯左半部上样条(自样条1开始)的顶层I/O信号是在它们各自的相应竖管左侧上路由的，而在右半部上样条(至样条N终结)的顶层I/O信号则是在它们各自的相应竖管右侧上路由的。
如读者将会理解到的，所有竖管不一定都必需是等间距的情形。例如，在有些实施方案中可以将两个最靠中心的竖管比其它相邻的竖管对安置得更紧地靠在一起，在那种实施方案中那些竖管的各自迹线是在那些竖管的外侧上路由的。在有些实施方案中，每一邻近对的间距可以不同，它取决于设计规则、以及必须通过邻近对之间的信号迹线的变化数等等。
在一项实施方案中，其中一个样条有三个I/O信号是在顶层上路由的，并取自最外边的三行凸点(A-C行)，来自第三行凸点(C行)的迹线是在第一和第二行凸点之间路由的。
在一项实施方案中，其中一个样条有三个I/O信号是在顶层上路由的，而有两个I/O信号则是在埋层上路由的，埋层信号取自第五和第六行凸点。在一项实施方案中，那些埋层信号是在样条的第一和第三行凸点下方直接路由的。在一项实施方案中，第四行凸点是供接地用的。在一项实施方案中(如图3中所示的如G行)，在埋层信号行的凸点内侧的一行凸点可用于提供电源。
图7绘示竖管微通道的布置的一项实施方案，它为埋层上的信号至顶层表面提供最短的路径。在必需使竖管间隔宽于样条间隔的应用中，一般通过按一弧形分布竖管，可使埋层I/O迹线段在它们各自的长度上有减少的变化。在一项实施方案中，在一给定竖管内相应的微通道仍可基本安置成直线排列与排成直线的样条相对应。换句话说，在一项实施方案中，竖管中的微通道不一定要按与分布竖管所沿的弧线的径向切线对准。譬如，这种直线排列可以有助于更易模拟和确认。
当本发明已参照利用焊料凸点、非钻孔微通道以及其它细节的实施方案进行说明的同时，读者将会理解到本发明与其它技术相结合具有简便的适用性，而且这些论点不应解释成任何对本发明的限制。“连接器(connector)”一词用于下面的权利要求中是从种属上表示任何以及所有连接一个元件(如倒装芯片等)和另一元件(如卡等)的方法学。
本发明已用电信号以及适合传送它们的迹线进行了说明，但它还适用于诸如光学互连、微波传输等等其它技术。已用具有夹层结构层和迹线层的多层板对卡进行了说明，但读者应了解到本发明在其它技术中具有适用性，诸如在那些不要求结构刚性，因此就不像如此结构层的地方，或者诸如在那些不用“迹线”本身表示互连的地方，只要那里有多层传输信号的导线、线路、轨迹、光纤或其类似物以及利用这种多层的需求以便提高信号发生的计数或密度。然而，“迹线”一词在权利要求中用于在分类上表示任何以及所有这类装置。这些以及其它的发明点将会由专业读者根据专利的思想考虑而得到了解。
标注“上”或“最外”或“顶”或“埋入”或其类似词，不应解释为装置所要求的任何特定的绝对取向。
标注“分路长度”不应解释成必须要求竖管微通道要超过倒装芯片管芯的实体边缘，而只是要它们超过自身附近区内的倒装芯片管芯的凸点区。
标注“一实施方案”、“一项实施方案”、“有些实施方案”或“其它实施方案”意味着联系至少是包括有些实施方案在内的实施方案所描述的特定特征、结构或特性，但它不必是联系本发明涉及的全部实施方案。各式各样出现的“一实施方案”、“一项实施方案”或“有些实施方案”没有必要全部表示成相同的实施方案。
当说明书表述“可以”、“或许可以”或“或许能够”包括一种成分、特征、结构、或特性时，它不要求包括特定的成分、特征、结构或特性。当说明书或权利要求“一”元件时，它并不意味着仅仅就有这一个单元。当说明书或权利要求表示“另外的一”元件时，它并不排除另外超过一个的元件。
获益于本项公开的专业技术人员将会理解到，从以上的说明和附图中就可以在本发明的范围内作出许多其它多样的方案。确实本发明不受以上具体说明的限制。倒不如说，包括对其作过任何补正在内的所附权利要求书限定了本发明的范围。
权利要求
1.一种装置包括(A)包括至少一个样条的一第一互连层，每一样条包含，(1)多个第一信号连接器，(2)各自与该多个第一信号连接器中相应的一个耦连的多个第一信号迹线，(3)多个第二信号连接器，以及(4)多个竖管信号连接器，它们与第一和第二信号连接器的间距超过邻近的第一和第二信号连接器之间的间距；以及(B)一第二互连层包含，对于至少一个样条中的每一样条，(1)多个第二信号迹线，它们各自与该多个第二信号连接器中相应的一个以及与该多个竖管连接器中的相应一个耦连。
2.权利要求1的装置，其中每一样条中该多个第一信号连接器包括三个第一信号连接器。
3.权利要求1的装置，其中第一互连层还包含，对于每一样条(5)一接地连接器；以及第二互连层还包含，对于每一样条(2)与接地连接器耦连的一接地指状物。
4.权利要求1的装置，其中在每一样条中第一和第二信号连接器有一直线取向；以及该多个竖管信号连接器随第一和第二信号连接器基本上按直线取向。
5.权利要求1的装置，其中第一互连层包含多个样条；以及多个样条的许多竖管信号连接器基本上是围绕样条最外的边缘按弧形结构排列的。
6.权利要求5的装置，其中该多个样条的相应的多个第二信号迹线中对应的迹线基本上有相等的长度。
7.一种装置，包括在整体形状基本为矩形的图形中的一核心的多个第一信号连接器，以及在整体形状基本为弧形的图形中并围绕第一信号连接器的矩形整体形状一侧分布的多个竖管信号连接器，它们与核心之间的距离大于相邻的第一信号连接器之间的距离。
8.权利要求7的装置，其中相应的竖管信号连接器与相应的第一信号连接器耦连；以及竖管信号连接器的弧形图形有一曲率使得从任一给定的竖管信号连接器至其所耦连的第一信号连接器的距离基本上相等。
9.权利要求8的装置，其中该多个第一信号连接器包括多个样条；以及该多个竖管信号连接器包括多个竖管。
10.权利要求9的装置，其中邻近的样条是按一第一距离分隔的；以及邻近的竖管是按比第一距离大的一第二距离分隔的。
11.权利要求10的装置，其中每个样条包括三个第一信号连接器和两个第二信号连接器；以及每个竖管包括两个竖管信号连接器。
12.一种多层卡，包括一第一结构层；重叠在第一结构层上并包含多个样条的一第一信号层，每一样条包括，至少两个第一信号连接器，至少两个第一信号迹线，各自与对应的相应第一信号连接器耦连，至少一个第二信号连接器，至少一个竖管信号连接器，以及至少一个竖管信号迹线，各自与对应的相应竖管信号连接器耦连；以及在第一结构层下面的一第二信号层并包含，对于每一样条至少一个第二信号迹线，其与相应的第二信号连接器并与对应的相应竖管信号连接器耦连。
13.权利要求12的装置，其中在每一样条中该至少两个第一信号连接器包括三个第一信号连接器；该至少两个第一信号迹线包括三个第一信号迹线；该至少一个第二信号连接器包括两个第二信号连接器；该至少一个竖管信号连接器包括两个竖管信号连接器；该至少一个竖管信号迹线包括两个竖管信号迹线；以及该至少一个第二信号迹线包括两个第二信号迹线。
14.权利要求13的装置，其中该三个第一信号迹线是在该两个竖管信号连接器的同一侧上路由的。
15.权利要求14的装置，其中三个第一信号迹线的中间一个与三个第一信号连接器中与两个竖管信号连接器相距最远的一个耦连。
16.权利要求15的装置，其中与竖管信号连接器中与第二信号连接器相距最远的一个耦连的一个竖管信号迹线与第二信号连接器中最接近第一信号连接器的一个耦连。
17.一种装置，包括一结构层；重叠在结构层上面的一最上迹线层；以及在结构层下面的一埋置迹线层并包含，多个样条，各自包括至少一个信号迹线，以及多个接地指状物，各自在两个相应的邻近样条之间伸展并基本上为其长度。
18.权利要求17的装置，其中结构层包含第一多个微通道，各自与信号迹线之一相接触；以及第二多个微通道，各自与接地指状物之一相接触。
19.权利要求18的装置，其中最上的迹线层包含多个样条，对应于埋入迹线层的多个样条，并各包含多个信号迹线。
20.权利要求19的装置，还包括包含一最外行凸点的多个凸点；以及最上迹线层的多个样条安排在最外行中相应的邻近凸点之间。
21.权利要求20的装置，其中埋入迹线层的样条基本上安排在最外行中相应凸点的下边。
22.一种封装的半导体器件，包括一个具有多个连接器的倒装芯片管芯，多个连接器基本上按照多个样条的直线图形排列，其中每一样条包含，按M行图形排列的第一多个M个I/O连接器；按N行图形排列的第二多个N个I/O连接器，以及与倒装芯片管芯耦连的一个卡，并包含，具有多组I/O迹线的第一迹线层，每一组具有分别与M个I/O连接器中相应的一个耦连并且按照与相应的样条对应的组排列的M个I/O迹线，一个具有多组I/O迹线的第二迹线层，每一组有分另与第一多个N个I/O连接器中相应的一个耦连并且按照与相应的样条对应的组排列的N个I/O迹线，和M个I/O迹线；以及在第一和第二迹线层之间的一结构层并包含，分别将M个I/O连接器中相应的一个与第一迹线层的M个I/O迹线中对应的一个耦连的一第一多个微通道，以及分别将第一迹线层的M个I/O迹线中相应的一个与第二迹线层的M个I/O迹线中相应的一个耦连的一第二多个微通道。
23.权利要求22的封装的半导体器件，其中M和N个I/O连接器包括凸点。
24.权利要求22的封装的半导体器件，其中第二迹线层包括一最上迹线层。
25.权利要求24的封装的半导体器件，其中N行是图形的最外行。
26.权利要求22的封装的半导体器件，其中第一迹线层还包括分别在M个I/O迹线的邻近组之间伸展的多个接地面指状物。
27.权利要求26的封装的半导体器件，其中多个接地面指状物每个基本上伸展该M个I/O迹线的全长。
28.权利要求22的封装的半导体器件，其中第二多个微通道基本上是按弧状图形分布的。
29.权利要求28的封装的半导体器件，其中M和N个I/O连接器基本上是按直线图形排列的。
30.权利要求29的封装的半导体器件，其中与沿着直线图形一侧的一组M和N个I/O连接器对应的一组第二多个微通道是按具有宽度大于直线图形该一侧的宽度的弧形分布的。
31.权利要求30的封装的半导体器件，其中每一样条的N个I/O迹线安排在该样条的第二微通道与邻近样条的第二微通道之间。
32.一种制造用于具有按多行安置的多个芯片连接器并具有一重复的样条图形的半导体器件的封装的方法，其中多个样条中的每个样条包括按N行安排的N≥2个第一I/O信号连接器以及按M行安排的M≥1个第二I/O信号连接器，其中N行在M行的外侧，该方法包括在封装的第一层内为每一样条形成M个第二信号迹线，样条的第二信号迹线具有与样条的相应的第二I/O信号连接器的间距基本相符的一间距；在重叠在第一层上面的封装的第二层内为每一样条的每一第二信号迹线形成一第一通道和一第二通道，它们穿过第二层并与第二信号迹线耦连，第一通道具有与样条的相应的第二I/O信号连接器的间距基本相符的一间距；以及在重叠在第二层上面的封装的第三层内为每一样条形成N个第一信号迹线，样条的第一信号迹线具有与样条的相应的第一I/O信号连接器的间距基本相符的一间距；其中第二通道和第一信号迹线伸展超过半导体器件的周边。
33.权利要求32的方法还包括在第三层内为每一样条形成分别与样条的第二通道中相应的一个耦连的M个第一信号迹线。
34.权利要求32的方法，其中第一和第二通道包括微通道。
35.权利要求32的方法，其中，对于每一样条，形成N个第一信号迹线还包括在样条的M个第二通道的一外侧上路由N个第一信号迹线。
36.权利要求32的方法，其中，对于每一样条，在第一层内形成M个第二信号迹线还包括基本上在第一信号连接器的下面路由M个第二信号迹线。
37.权利要求32的方法，其中形成相应样条的第二通道包括按基本上弧状图形安排第二通道；以及形成相应样条的M个第二信号迹线包括以基本上相等的长度形成相应样条的M个第二信号迹线。
38.权利要求37的方法，其中M≥2并且其中该方法还包括，对于每一样条形成第二通道包括按M行安排第二通道。
39.权利要求38的方法，其中半导体器件的连接器按基本上直线的图形安排，该方法还包括，对于每一样条形成第二通道还包括与直线图形基本对准形成第二通道。
40.权利要求32的方法，其中N＝3并且其中对于每一样条形成该N个第一信号迹线还包括路由第一信号迹线的中间以便与N个第一信号连接器中N行最内的一个耦连。
41.权利要求32的方法，其中半导体器件还有至少一个接地连接器安排在N行内侧的接地行中，该方法还包括在封装的第一层内形成多个接地面指状物，其分别伸展在邻近的样条相应对之间；以及在封装的第二层内，为每一接地面指状物形成一通道，其与接地面指状物耦连并安置成与接地的连接器耦连。
全文摘要
用于一种卡或插入物或类似物的互连路由，它包括在第一层上的迹线样条(66、69、70)以及在第二层上的迹线(58、60)，层之间用通道连接。信号的外行(40、42、44)由第一层上的一芯片路由出去，而信号在内行(48、50)则向下通至将它们路由出去的第二层，然后向上返回到第一层。这些外通道是按弧形排列的，使第二层迹线段能有更均匀的长度。第二层还可以包括接地或电源的平面指状物，它们伸展在样条之间并向上连通芯片的接地或电源信号。
文档编号H05K1/11GK1568544SQ02808573
公开日2005年1月19日 申请日期2002年2月1日 优先权日2001年2月20日
发明者M·P·贾米森 申请人:英特尔公司