专利名称：一种真空旋转升降装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及机械传动领域，尤其涉及一种在机械传动过程中可旋转升降的真空旋转升降 装置。
背景技术：
目前，在很多产品的制作过程中，为保证产品具有较高的质量， 一般都是在无尘真空的 环境下进行加工，这样的产品都是通过现代化的机械来进行加工和传输的，而在传输过程中， 要通过机械手来完成对产品的抓取和搬运，但在抓取过程中，机械手难免会有抓取不到的区 域，这就需要其他种类的运动装置来完成对产品所在位置的调整，以配合机械手更于便利的 对产品实施运输。现有的实现此功能的传动装置如图1和2所示，该装置包括伺服电机13、丝杠传动平台 14、连接轴16、波纹管15、密封圈17和承载托盘12，其中伺服电机13连接丝杠传动平台14， 丝杠传动平台的传动端141与连接轴16相连，而连接轴16的法兰边161与波纹管15的一端通 过密封圈17实现真空密封连接，波纹管15的另一端与真空腔室通过密封圈17实现真空密封 连接，连接轴16的另一端伸入到真空腔室内部，与承载产品的承载托盘12连接。另外，真 空腔室与丝杠传动平台14对地是绝对静止，当伺服电机13转动时，驱动丝杠传动平台14上 的传动端141上下运动，传动端141再带动着连接轴16上下运动，最终连接轴16再带动承载 托盘12上F升降运动，从而调整承载托盘12中产品的垂直距离，同时波纹管15在整个过程 中，会根据上下运动的程度进行伸縮运动，可以起到密封调节的作用。从以上现有技术的装置可以看出，该装置只能够在垂直方向上作上下往复运动，而不能 够使承载托盘在轴向上作旋转运动，限制了该装置的调整范围，使机械手不能够更好的发挥 作用。发明内容鉴于上述现有技术所存在的问题，本发明的目的是提供一种即能够在垂直方向作上下 往复运动，又能够在轴向上作旋转运动的真空旋转升降装置。本发明的目的是通过以下技术方案实现的本发明所述的真空旋转升降装置，包括伺服电机，丝杠传动平台和连接轴，伺服电机驱 动丝杠转动平台的传动端作上下往复运动，本发明还包括转动伺服电机，所述的丝杠传动平 台的传动端与转动伺服电机相连，带动转动伺服电机作上下往复运动；转动伺服电机的输出 轴与连接轴的-一端相连，驱动连接轴作轴向旋转运动。还包括连接块，所述的丝杠转动平台的传动端通过连接块与转动伺服电机刚性连接。还包括承载托盘，所述的连接轴的另一端伸入到真空腔室内，与承载托盘相连接，带动 承载托盘作上下往复运动和轴向旋转运动。还包括磁流体密封装置，所述的磁流体密封装置位于转动伺服电机和连接轴之间， -端 轴与转动伺服电机的输出轴连接，另一端轴与连接轴刚性连接。还包括连轴器，所述的磁流体密封装置的一端轴通过连轴器与转动伺服电机的输出轴刚 性连接。还包括波纹管和密封圈，所述的波纹管的两端分别与真空腔室和磁流体密封装置的法兰 盘连接，在连接部位安装有密封圈，通过密封圈来实现真空密封。由上述本发明提供的技术方案可以看出，本发明在轴向上增加了一个转动伺服电机，通 过丝杠传动平台的传动端带动转动伺服电机作上下往复运动，再通过转动伺服电机驱动连接 轴作轴向旋转运动，这样连接轴不但能够作上下往复运动，又能够作轴向旋转运动，从而可 以带动承载托盘也作相应的运动，达到调整承载托盘上产品位置的目的，且扩大了调整范围， 使机械手能够更好的发挥作用。
图1为现有技术中的升降装置在相对低位时的结构示意图；图2为现有技术中的升降装置在相对高位时的结构示意图；图3为本发明旋转升降装置在相对低位时的结构示意图；图4为本发明旋转升降装置在相对高位时的结构示意图；图5为本发明旋转升降装置旋转时的结构示意图。
具体实施方式
本发明提供了一种即能够在垂直方向作上下往复运动，又能够在轴向上作旋转运动的真空旋转升降装置。本发明的核心为在轴向上增加了一个转动伺服电机，通过丝杠传动平台的传动端带动转动伺服电机作上下往复运动，再通过转动伺服电机驱动连接轴作轴向旋转运 动，这样连接轴不但能够作上下往复运动，又能够作轴向旋转运动，从而可以带动承载托盘 也作相应的运动。为更好的描述本发明，下面结合附图对本发明的具体实施方式
作进一歩说明如图3和4所示，本发明包括伺服电机13，丝杠传动平台24和连接轴26，伺服电机13启 动后，能够驱动丝杠转动平台24的传动端241作上下往复运动，本发明还包括转动伺服电机 28,丝杠传动平台24的传动端241与转动伺服电机28相连，它们之间也可以通过连接块29 进行连接的，本实施例中，连接块29的两端分别与转动伺服电机28和传动端241刚性连接， 这样，当丝杠传动平台24的传动端241作上下往复运动时，就能够带动转动伺服电机28作同 样的上下往复运动。转动伺服电机28的输出轴可与连接轴26的一端直接相连，也可以通过连轴器30与连接 轴26的一端相连，同时，在两者之间还可加入一个磁流体密封装置31。其中的磁流体密封 装置是一种应用磁流体密封技术在磁性流体的基础上发展而来的，当磁流体注入磁场的间隙 时，它可以充满整个间隙，形成一种"液体的O型密封圈"，磁流体密封装置的功能就是把旋 转运动传递到密封容器内，常用于需要真空密封的领域，例如在单晶硅炉、化学气相沉积、 离子镀膜、液晶再生等真空设备，以及对真空环境要求较高的设备密封中的应用较广。本实施例中，转动伺服电机28和连接轴26之间，即有连轴器30，也有磁流体密封装置 31，其中，转动伺服电机28的输出轴通过连轴器30与磁流体密封装置31的一端轴相连接， 磁流体密封装置31的另一端轴与连接轴26的一端相连接。这样在轴向上，转动伺服电机28的输出轴——连轴器30——磁流体密封装置31——连 接轴26就均为串联的刚性连接，所以，当转动伺服电机28被带动着在垂直方向作上下往复 运动时，就能够带动连接轴26也在垂直方向上作上下往复运动，而当需要连接轴26作轴向 旋转时，就让转动伺服电机28驱动其输出轴在轴向转动，通过连轴器30，致使磁流体密封 装置31的真空、大气两端的输出轴同步旋转，最终就能够带动连接轴26也作同歩轴向旋转 运动。同时，将连接轴26的另一端伸入到真空腔室内，与承接托盘12相连接，这样就能够 带动承载托盘12作上下往复运动和轴向旋转运动，如图5所示，从而调整承载托盘12上产品 的位置。本实施例中还可包括波纹管25和密封圈27，波纹管25的两端分别与真空腔室和磁流体 密封装置31的法兰盘311相连接，且在连接部位安装有密封圈27，通过密封圈27来实现紧密 的真空密封，其中的波纹管25可以随着上下运动的程度进行伸縮运动，从而起到密封调节的作用。综上所述，通过本发明技术方案的实施，能够使得连接轴不但可以作上下往复运动，乂 可以作轴向旋转运动，从而能够带动承载托盘也作相应的运动，达到调整承载托盘上产品位 置的目的，扩大了产品调整范围，有利于机械手的取用，使产品在现代化的机械加工过稃屮 更加地方便、高效。以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式
，但本发明的保护范围并不局限于此，任何 熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵 盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。
权利要求
1. 一种真空旋转升降装置，包括伺服电机(13)，丝杠传动平台(24)和连接轴(26)，伺服电机(13)驱动丝杠转动平台(24)的传动端(241)作上下往复运动，其特征在于，还包括转动伺服电机(28)，所述的丝杠传动平台的传动端(241)与转动伺服电机(28)相连，带动转动伺服电机(28)作上下往复运动；转动伺服电机(28)的输出轴与连接轴(26)的一端相连，驱动连接轴(26)作轴向旋转运动。
2、 如权利要求1所述的真空旋转升降装置，其特征在于，还包括连接块(29)，所述 的丝杠转动平台(24)的传动端(241)通过连接块(29)与转动伺服电机(28)刚性连接。
3、 如权利要求1或2所述的真空旋转升降装置，其特征在于，还包括承载托盘(12)， 所述的连接轴(26)的另一端伸入到真空腔室内，与承载托盘(12)相连接，带动承载托 盘(12)作上下往复运动和轴向旋转运动。
4、 如权利要求3所述的真空旋转升降装置，其特征在于，还包括磁流体密封装置(31), 所述的磁流体密封装置(31)位于转动伺服电机(28)和连接轴(26)之间， 一端轴与转 动伺服电机(28)的输出轴连接，另-一端轴与连接轴(26)刚性连接。
5、 如权利要求4所述的真空旋转升降装置，其特征在于，还包括连轴器(30)，所述 的磁流体密封装置(31)的一端轴通过连轴器(30)与转动伺服电机(28)的输出轴刚性 连接。
6、 如权利要求4所述的真空旋转升降装置，其特征在于，还包括波纹管(25)和密封 圈(27)，所述的波纹管(25)的两端分别与真空腔室和磁流体密封装置(31)的法兰盘(311)连接，在连接部位安装有密封圈(27)，通过密封圈(27)来实现真空密封。
全文摘要
本发明提供了一种真空旋转升降装置，其核心为在轴向上增加了一个转动伺服电机(28)，通过丝杠传动平台(24)的传动端(241)带动转动伺服电机(28)作上下往复运动，再通过转动伺服电机(28)驱动连接轴(26)作轴向旋转运动，这样连接轴(26)不但能够作上下往复运动，又能够作轴向旋转运动，从而可以带动承载托盘(12)也作相应的运动，达到调整承载托盘(12)上产品位置的目的，且扩大了调整范围，使机械手能够更好的发挥作用，更加有利于产品的制作和运输。
文档编号B66F19/00GK101224862SQ200710062730
公开日2008年7月23日 申请日期2007年1月15日 优先权日2007年1月15日
发明者张之山 申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司