制备化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片的方法

文档序号:8030192阅读:308来源:国知局
专利名称:制备化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片的方法
制^七学i惰比铌M或钽M晶片的方法
技术领域
本发明属于晶体制备技术领域,特别是涉及一种用于压电、电光等用途的化学 iti比铌M或钽M晶片的制造方法。背景技术
由 酸锂晶体不是同成分共熔,即摩尔配比Nb丄i^的熔融铌M^体,结 晶出来的固体成分与熔体成分不一致,其Nb:Li〉1,从而《姚体的成分不断发生变化,结晶的固体 成她不断发生变化。因libt以得到成分均匀的铌,晶体。/膽尔配比Nb:1^51.4:48.6的熔 融铌MH^体中结晶出来的固体成分与熔体成f致,可以比较容易地得到成分均匀的铌酸锂晶 体,但是晶体成分偏离化学配比。为了得到成分均匀的化学比铌,晶体,现據用的技术有以下几种1、 助脇岐。在铌酸锂原料中添加氧化钾作为助熔剂,使铌酸锂的同成分共熔点, 化学配比。2、 双坩埚技术。在晶体生长时,禾,Nb:1^42:58 41:59的熔体,生长Nb:Li^的晶 体。同时,随着晶体的生长,《拂体中力口入Nb:L何的固体原料颗粒。《鹏体的成分维持不变。3、 气相平衡法。把同成分配比的铌酸锂晶体,方JtA由氧化锂与氧化!鹏制的陶瓷中, il31T散,使铌,晶片中Li的含量增加,从而得到成分均匀的近化学比铌,晶片。4、 区熔法。在微区内淑七并结晶,使得铌離中熔体的扩散被限制,这附导到化学比 的铌,晶体。以上技术存在的不足是-1、 助條岐只能得到l鹏尔含量为49.5molX左右的晶体,且晶体上下部分组分不均 匀,光学质量很差,生"Kdt^缓漫,《W隹有实用价值。2、 双柑埚技术设备复杂,成品率低,成本很高。3、 传统气相平衡法中气氛中锂靠氧化锂与氧化铌烧制的陶瓷樹共,气氛中锂含量无法 调控,方法錢,且陶瓷j顿一段时间后无法重复利用,成本高。4、 区熔法与助竊岐一样,无法得到锂含量更舰化学计量比的晶体,腿分分布不 均匀,光学质量差,成品率低,区熔尾部的晶体大量浪费。
发明内容本发明的目的是解决现有技术存在的战不足,掛共一种制m学i慢比铌酸锂或钽酸ii晶片的方法。本发明衝共的制^f七学itfi比铌M或钽M!l晶片的方法,经过如下歩骤第一、在密闭容器中,将通常鹏尔含量为48.211101% 48.811101%的铌,或钽,晶片放置在晶片支架上,同时在晶片两侧方^A蒸发源容器,蒸发源容器内方ilA含锂化^t/蒸发源; 第二开启真魏,4雜闭容器内部抽真空,使真空度小于0,5帕,然后关闭真魏;第三、利用密闭容器外周的加热体,升高密闭容器内的鹏,对刊U刷七学i惰比铌,晶片,鹏为1000 1100摄氏度,对刊ij^f七学itt比钽^f里晶片,鹏为1500 1600摄氏度; 第四、社步高温下條60 120小时,即可将原鹏尔含量为48.2mol^ 48.8molX的铌Mf里或钽M晶片转变为li^尔含量为49molX 51molX的化学ifM比铌mM或钽M晶片。 根据需要,可以在第二步抽真空后向密闭容器中ffiA氩气,斷氏密闭容器中气氛的锂浓度,以防止晶片表面出现顿。ffiA氩气的Mi微的方法确定,从不通入氩气开々敏渐增加,直至处理出来的晶片表面不出现,。±^的含锂化,可以^1屯锂、氧化锂、氯化锂。本发明的优点和积极皿本发明与传统VTE方法(申i转利号01144332.4)比较,用含锂化合物代替多晶料,第一 可以反复使用,大大降低成本;第二可以提高气氛中的锂含量,从而提高扩t^度,减少扩散时 间;第三,可以舰氩气来调节气氛中的锂含量,从而可以{顿不同蒸,的含锂化,。

l图i是制剤七学itM比铌酸锂或钽M晶片的装置示意图。其中,1:密闭容器,2:加热体,3:蒸发源容器,4:含锂化,蒸发源,5:晶片支架,6: 铌,里或钽,晶片,7:真空泵,8:氩气。具体实M^:l实施例l:本发明的技术方案构成如图1戶标,在密闭容器1中,m欣置在晶片支架5上的5片铌酸 锂晶片6,晶片6的厚度为0.6mm,直径为78mm,同时在晶片两侧&A盛放有20g氧化锂作为蒸 发源4的蒸发源容器3。首先开启真空泵,将密闭容器l内部抽真空,使真空度小于0.5帕,然后关闭真空泵,利用加 热体2,升高密闭容器l内的鹏,鹏为1100摄氏度;掛匕高温下1斜寺75小时,然后降駆U室 温,打开密闭容器l,即可制得所需的化学itM比铌酸锂晶片。经检测晶片的 尔含量为49.9mol%±0.1。 織例2:在密闭容器1中,^A方燈在晶片支架5上的5片铌m晶片6,晶片6的厚度为1.2mm,直 径为78mm,同时在晶片两侧^A盛放有20g氧化锂作为蒸发源4的蒸发源容器3。将密闭容器l内部抽真空并升添,于1100摄氏度條100小时,即可制得所需的化学itS 比铌離晶片。经检测晶片的鹏尔含量为49.911101%±0.1。其它同实施例l。实施例3:在密闭容器l中,SA方燈在晶片支架5上的5片铌酸锂晶片6,晶片6的厚度为0.8腿,直 径为76mm,同时在晶片两侧方M盛放有30g锂作为蒸发源4的蒸发源容器3 。将密闭容器l内部抽真空,使真空度小于0.5帕,然后关闭真空泵,^&A高纯氩气,使容器l 内,约为1000帕,于1100摄氏度f親80小时,即可制得所需的化学itS比铌,晶片。经检 测晶片的f鹏尔含量为49.8mol% ±0.1 。其它同实施例1 。实施例4:在密闭容器l中,^A方爐在晶片支架5上的3片钽M!i晶片6,晶片厚度为0.6mm,直径为 52mm,同时在晶片两侧MA盛放有20g氧化锂作为蒸发源4的蒸发源容器3。将密闭容器1内部抽真空后,升高密闭容器1内的M至1500摄氏度。在此高温下鹏90小时,即可制得所需的化学i憎比f胞,晶片。经检测晶片的鹏尔含 量为49.9mol % ± 0.1 。其它同实施例1 。实施例5:在密闭容器l中,装入敬置在晶片支架5上的3片钽勝里晶片6,晶片厚度为l,2mm,直径为 52mm,同时在晶片两侧方jtA盛放有20g氧化锂作为蒸发源4的蒸发源容器3。 将密闭容器1内部抽真空后,升高密闭容器1内的^^至1500摄氏度。 在此高温下鹏100小时,即可制得所需的化学ifi比《跑,晶片。经检测晶片的鹏尔 含量为49.9mol% ±0.1 。其它同实施例1 。
权利要求
1、一种制备化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片的方法,其特征在于该方法经过如下步骤第一、在密闭容器中,将通常锂摩尔含量为48.2mo1%~48.8mol%铌酸锂或钽酸锂晶片放置在晶片支架上,同时在晶片两侧放入蒸发源容器,蒸发源容器内放入含锂化合物蒸发源;第二、开启真空泵,将密闭容器内部抽真空,使真空度小于0.5帕,然后关闭真空泵;第三、利用密闭容器外周的加热体,升高密闭容器内的温度,对于制备化学计量比铌酸锂晶片,温度为1000~1100摄氏度,对于制备化学计量比钽酸锂晶片,温度为1500~1600摄氏度;第四、在上步高温下保持60~120小时,即可将原锂摩尔含量为48.2mol%~48.8mol%的铌酸锂或钽酸锂晶片转变为锂摩尔含量为49mol%~51mol%的化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片。
2、 根据权利要求1所述的方法,,征在于,根据需要,在第二步抽真空后向密闭容器中通 入氩气,降低密闭容器中气氛的锂浓度,以防止晶片表面出现,。
3、 根据权利要求1或2戶脱的方法,赚征在^锂化^/是纯锂、氧化锂、或氯化锂。
全文摘要
一种制备化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片的方法。该方法可以制备化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片。其具体过程是,将铌酸锂或钽酸锂晶片和含锂化合物放置在密闭容器中,将密闭容器内部抽真空,使真空度小于0.5帕,并将容器内部保持一定的高温,用高纯氩气调节内部气氛中各种组分的分压,以防止晶片表面出现龟裂。经过长60小时~120小时的处理,获得化学计量比铌酸锂或钽酸锂晶片。本发明与传统VTE方法(申请专利号01144332.4)比较,用含锂化合物代替多晶料,第一可以反复使用,大大降低成本;第二可以提高气氛中的锂含量,从而提高扩散速度,减少扩散时间;第三可以通过氩气来调节气氛中的锂含量,从而可以使用不同蒸气压的含锂化合物。
文档编号C30B29/30GK101275275SQ20071015117
公开日2008年10月1日 申请日期2007年12月21日 优先权日2007年12月21日
发明者刘士国, 刘宏德, 孔勇发, 军 孙, 玲 张, 楼慈波, 王占银, 王红旗, 许京军, 陈绍林, 峰 高, 黄自恒 申请人:南开大学
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