专利名称：一种太阳能电池扩散源三氯氧磷的恒温装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种太阳能电池扩散源三氯氧磷(POCl3)的无水干式恒温装置。
背景技术：
扩散工艺是太阳能电池工艺的核心，直接关系到太阳能电池的转换效率，很多因素都会影响扩散工艺，其中扩散源三氯氧磷(POCI3)温度的恒定对扩散工艺至关重要，因此扩散源三氯氧磷(POCI3)温度需要一种恒温装置确保其温度恒定。现在通用的扩散源三氯氧磷(POCl3)恒温方式为水浴恒温式，是将石英源瓶放在恒温水槽中，通过压缩机制冷带动水循环，温度传感器也置于水中，其存在温度控制不精。由于扩散炉的尾气通常是从气源柜中排出，而尾气是酸性气体，如果密封性不好，尾气就会泄漏到气源柜中，同时恒温水槽也放在气源柜中，氯元素及磷元素酸溶于水，因此在容易腐蚀导致恒温槽的压缩机等器件损坏。更重要的是如果石英源瓶爆瓶或者泄漏时三氯氧磷(POCI3)与水会发生剧烈反应，产生大量的热和浓烟，甚至爆炸，给扩散间的生产带来安全隐患。
发明内容
本发明的目的在于，针对现有技术的缺陷，提供一种太阳能电池扩散源三氯氧磷 (POCl3)恒温装置，可实现扩散源三氯氧磷(POCl3)的无水干式恒温。本发明的技术方案为，一种太阳能电池扩散源三氯氧磷的恒温装置，包括石英源瓶，且石英源瓶上设有石英源瓶接口，所述恒温装置还包括源盒、基座、控制盒和电源盒，源盒放置在基座上并在源盒顶部加装源盒盖，所述石英源瓶置于源盒内，石英源瓶内设温度传感器，且温度传感器与补偿导线一端相连而补偿导线另一端接至控制盒；所述基座从上到下依次包括传热铝块、帕尔贴组和散热装置。以下对本发明作进一步描述。所述源盒内装有检测石英源瓶内扩散源液位的液位传感器，当液位传感器检测到液面时，恒温装置的控制器将信号通过通讯模块将信息发送到控制中心提示更换扩散源。源盒侧面设有观察石英源瓶内扩散源液位的液位观察窗，操作人员可以通过液位观察窗观察石英源瓶内液位情况。所述源盒盖上设有使石英源瓶接口穿过的通孔。所述控制盒内设有温度传感器放大模块、液位传感器模块、控制器和通讯模块，控制器装有散热风扇，补偿导线通过补偿导线孔与温度传感器放大模块连接，液位传感器与液位传感器模块通过屏蔽导线连接。电源盒内设有变压器模块和开关基板，变压器模块将市电变为所述恒温装置用电，为所述恒温装置供电，开关基板由控制器控制给帕尔贴组供电。 所述散热装置包括散热风扇和散热片。所述帕尔贴组与传热铝块之间用导热硅胶密封。本发明所述太阳能电池扩散源三氯氧磷(POCl3)的恒温装置通过温度传感器对石英源瓶内的扩散源三氯氧磷(POCI3)的温度进行实时检测，检测到的温度经控制器分析。控制器根据对温度的分析来控制帕尔贴组的开关基板开关，进而控制帕尔贴组电流通断实现温度调节，满足扩散源三氯氧磷(POCI3)的温度要求。 由以上可知，本发明所述太阳能电池扩散源三氯氧磷(POCl3)的恒温装置通过通讯模块可以与控制中心进行数据交换，方便控制中心对恒温装置的实时监控，实现扩散源三氯氧磷(POCI3)的无水干式恒温。
图1为本发明太阳能电池扩散源三氯氧磷的恒温装置结构示意图； 图2为本发明基座俯视示意图3为本发明太阳能电池扩散源三氯氧磷恒温装置俯视示意图； 图4为本发明基座内帕尔贴组示意图； 图5为本发明控制盒示意图； 图6为本发明电源盒示意图； 在上述附图中各序号分别表示
1-基座， 5-温度传感器， 9-散热装置，
2-源盒， 6-控制盒， 10-液位观察窗，
3-石英源瓶， 7-补偿导线， 11-传热铝块，
4-源盒盖， 8-显示屏， 12-电源盒，
13-通讯接口， 14-电源开关， 15-补偿导线孔
16-温度传感器孔，17-石英源瓶接口，18-源盒盖石英瓶接口孔，
19-源盒内壁， 20-帕尔贴组， 21-变压器模块，22-开关基板，
23-温度传感器放大模块，24-液位传感器模块，25-控制器，
26-通讯模块，27-设置按钮，28-液位传感器。
具体实施例方式如图1-图4所示，一种太阳能电池扩散源三氯氧磷(POCl3)的恒温装置，包括石英源瓶3，且石英源瓶3上设有石英源瓶接口 17，恒温装置还包括源盒2、基座1、控制盒6和电源盒12，源盒2放置在基座1上并在源盒2顶部加装源盒盖4，所述石英源瓶3置于源盒 2内，石英源瓶3内设温度传感器5，且温度传感器5与补偿导线7 —端相连而补偿导线7 另一端接至控制盒6，而将石英源瓶3内的温度信号传导到控制盒6 ；所述基座1从上到下依次包括传热铝块11、帕尔贴组20和散热装置9，散热装置9包括散热风扇和散热片，帕尔贴组20与传热铝块11之间用导热硅胶密封。源盒盖4的中心设有温度传感器孔16，孔的直径略大于温度传感器5直径。源盒盖石英瓶接口孔18为2个，对称内切源盒内壁19，本实施例中孔直径为2cm。源盒盖石英瓶接口 17穿过源盒盖石英瓶接口孔18，本实施例中露出源盒盖2. 5cm。源盒2是空心圆柱体，本实施例中源盒2外壳的材质为硬质聚醚型塑料，源盒内壁 19为白色保温泡沫塑料，液位传感器28安装在距源盒2底部高2cm的地方源盒2侧面设有观察石英源瓶3内扩散源液位的液位观察窗10。源盒盖4上设有可令石英源瓶接口 17穿过的石英源瓶接口孔18。
如图5所示，所控制盒内设有温度传感器放大模块23、液位传感器模块24、控制器 25和通讯模块26，控制器25装有散热风扇，显示屏8、设置按钮27位于控制盒6正面，通讯接口 13、电源开关14位于控制盒6顶部，补偿导线7通过补偿导线孔15与温度传感器放大模块23连接，液位传感器28与液位传感器模块24通过屏蔽导线连接。如图5所示，电源盒12内设有变压器模块21和开关基板22，变压器模块21将市电变为所述恒温装置用电，开关基板22由控制器25控制给帕尔贴组20供电。
权利要求
1.一种太阳能电池扩散源三氯氧磷的恒温装置，包括石英源瓶(3)，且石英源瓶(3)上设有石英源瓶接口(17)，其特征是，所述恒温装置还包括源盒(2)、基座(1)、控制盒(6)和电源盒(12)，源盒(2)放置在基座(1)上并在源盒(2)顶部加装源盒盖(4)，所述石英源瓶 (3)置于源盒(2)内，石英源瓶(3)内设温度传感器(5)，且温度传感器(5)与补偿导线(7) 一端相连而补偿导线(7)另一端接至控制盒(6)；所述基座(1)从上到下依次包括传热铝块(11)、帕尔贴组(20)和散热装置(9)。
2.根据权利要求1所述太阳能电池扩散源三氯氧磷的恒温装置，其特征是，所述源盒 (2)内装有检测石英源瓶(3)内扩散源液位的液位传感器(28)。
3.根据权利要求1所述太阳能电池扩散源三氯氧磷的恒温装置，其特征是，源盒(2)侧面设有观察石英源瓶(3)内扩散源液位的液位观察窗(10)。
4.根据权利要求1所述太阳能电池扩散源三氯氧磷的恒温装置，其特征是，所述源盒盖(4)上设有可令石英源瓶接口(17)穿过的石英源瓶接口孔(18)。
5.根据权利要求1所述太阳能电池扩散源三氯氧磷的恒温装置，其特征是，所述控制盒内设有温度传感器放大模块(23)、液位传感器模块(24)、控制器(25)和通讯模块(26)， 控制器(25)装有散热风扇，补偿导线(7)通过补偿导线孔(15)与温度传感器放大模块 (23)连接，液位传感器(28)与液位传感器模块(24)通过屏蔽导线连接。
6.根据权利要求1所述太阳能电池扩散源三氯氧磷的恒温装置，其特征是，电源盒 (12)内设有变压器模块(21)和开关基板(22)，变压器模块(21)将市电变为所述恒温装置用电，开关基板(22)由控制器(25)控制给帕尔贴组(20)供电。
7.根据权利要求1所述太阳能电池扩散源三氯氧磷的恒温装置，其特征是，所述散热装置(9)包括散热风扇和散热片。
8.根据权利要求1所述太阳能电池扩散源三氯氧磷的恒温装置，其特征是，所述帕尔贴组(20)与传热铝块(11)之间用导热硅胶密封。
全文摘要
本发明涉及一种太阳能电池扩散源三氯氧磷(POCl3)的无水干式恒温装置，恒温装置还包括源盒、基座、控制盒和电源盒，源盒放置在基座上并在源盒顶部加装源盒盖，所述石英源瓶置于源盒内，石英源瓶内设温度传感器，且温度传感器与补偿导线一端相连而补偿导线另一端接至控制盒；所述基座从上到下依次包括传热铝块、帕尔贴组和散热装置。本发明所述太阳能电池扩散源三氯氧磷(POCl3)的恒温装置通过通讯模块可以与控制中心进行数据交换，方便控制中心对恒温装置的实时监控，实现扩散源三氯氧磷(POCl3)的无水干式恒温。
文档编号C30B31/16GK102392307SQ201110386769
公开日2012年3月28日 申请日期2011年11月29日 优先权日2011年11月29日
发明者吕文利, 毛朝斌, 谢建国, 贾京英 申请人:湖南红太阳光电科技有限公司