专利名称：太阳能电池硅片扩散炉的制作方法
技术领域：
本实用新型属于太阳能电池生产技术领域，涉及一种太阳能电池硅片扩散炉。
背景技术：
目前使用的太阳能电池硅片扩散炉，如图1所示，硅片31以垂直于气体流动的方向安装于石英舟21上，石英舟的两端需各安装12片挡风片，以缓解进气管41和出气管51 附近的气体流量和浓度不均勻对硅片31的影响。扩散气体进入炉体11后以垂直于硅片31 表面的方式流动，由于硅片31自身的阻挡和气体流量和浓度不均勻的影响，达到硅片31的背面和挡在其后面的各硅片31表面的扩散气体不均勻，造成硅片31方块电阻均勻性较差， 硅片31中部方阻偏大，而四周偏小，硅片31表面的方块电阻极差达到10 Ω / 口以上，大大降低了硅片的质量。且石英舟21两端安装的12片挡风片影响硅片31的安装数量，影响产品广量。
实用新型内容本实用新型的目的就是解决现有技术中存在的上述问题，提供一种太阳能电池硅片扩散炉，采用该扩散炉对硅片进行扩散处理，其扩散气体在硅片上分布均勻，硅片表面方块电阻均勻性好，极差小。为实现上述目的，本实用新型的技术解决方案是一种太阳能电池硅片扩散炉，包括炉体和石英舟；石英舟两端固定有气体勻流板，石英舟进入炉体后，位于炉体的中心；炉体一端开有石英舟的进口，另一端有与炉体内直通的进气管，进气管正对气体勻流板的中心；石英舟下端有排废气管，炉体进气管下端开有排废气管的出口 ；硅片分为多组，各组硅片依次排列在石英舟的两气体勻流板之间，每组硅片都以表面平行于进气管的方向排列在石英舟上。上述所述的气体勻流板是一平板，平板上开有均布的喇叭形布气孔，喇叭形布气孔靠近硅片的一端孔径大。所述的气体勻流板的布气孔沿石英舟中心位置的垂直轴对称。本实用新型采用石英舟两侧设置气体勻流板和扩散气体平行于硅片表面流动的方式，解决了扩散气体由于硅片自身的阻挡而使到达硅片背面和后面的硅片的扩散气体不均勻，以至方阻均勻性较差的问题，使得扩散气体能够均勻分布在每块硅片表面，进而有效的改善硅片表面方块电阻的均勻性，经测定，硅片表面的方块电阻极差可以达到5 Ω / □以下。且本实用新型采用石英舟两侧设置气体勻流板方式来布气，可以去除挡风片，使石英舟上安装的硅片数量多，提高了产品产量。
图1为现有的太阳能电池硅片扩散炉的内部结构示意图。图2为本实用新型的内部结构示意图。图3为本实用新型中扩散炉管、石英舟的气体勻流板和硅片的位置结构示意图。
具体实施方式
如图2和图3所示，本实施例包括炉体1和石英舟2。石英舟2两端固定有气体勻流板6，气体勻流板6是一平板，平板上开有均布的喇叭形布气孔，喇叭形布气孔靠近硅片3 的一端孔径大；所述的气体勻流板6的布气孔沿石英舟2中心位置的垂直轴对称。石英舟2 进入炉体1后，位于炉体1的中心。炉体1 一端开有石英舟2的进口，另一端有与炉体1直通的进气管4，进气管4正对气体勻流板6的中心。石英舟2下端有排废气管5，炉体进气管4下端开有排废气管5的出口。硅片3分为多组，各组硅片依次排列安装在石英舟2的两气体勻流板6之间，每组硅片3都以表面平行于进气管4的方向排列安装在石英舟2上。
权利要求1.一种太阳能电池硅片扩散炉，包括炉体和石英舟；其特征在于石英舟两端固定有气体勻流板，石英舟进入炉体后，位于炉体的中心；炉体一端开有石英舟的进口，另一端有与炉体内直通的进气管，进气管正对气体勻流板的中心；石英舟下端有排废气管，炉体进气管下端开有排废气管的出口 ；硅片分为多组，各组硅片依次排列在石英舟的两气体勻流板之间，每组硅片都以表面平行于进气管的方向排列在石英舟上。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池硅片扩散炉，其特征在于所述的气体勻流板是一平板，平板上开有均布的喇叭形布气孔，喇叭形布气孔靠近硅片的一端孔径大。
3.根据权利要求2太阳能电池硅片扩散炉，其特征在于所述的气体勻流板的布气孔沿石英舟中心位置的垂直轴对称。
专利摘要本实用新型公开了一种太阳能电池硅片扩散炉，石英舟两端固定有气体匀流板，炉体一端开有石英舟的进口，另一端有与炉体内直通的进气管，进气管正对气体匀流板的中心；石英舟下端有排废气管，炉体进气管下端开有排废气管的出口；硅片分为多组，各组硅片依次排列在石英舟的两气体匀流板之间，每组硅片都以表面平行于进气管的方向排列在石英舟上。本实用新型使得扩散气体能够均匀分布在每块硅片表面，进而有效的改善硅片表面方块电阻的均匀性，经测定，硅片表面的方块电阻极差可以达到5Ω/□以下。且使石英舟上安装的硅片数量多，提高了产品产量。
文档编号C30B31/06GK202297872SQ20112021889
公开日2012年7月4日 申请日期2011年6月27日 优先权日2011年6月27日
发明者王月勤, 王连红 申请人:光为绿色新能源股份有限公司