一种复合透明导电薄膜的制作方法

文档序号:13331384阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种复合透明导电薄膜,其特征在于,包括依次叠置的基板、离子阻挡层、透明金属层和透明导电氧化物层。

2.根据权利要求1所述的复合透明导电薄膜,其特征在于,所述基板采用玻璃基板或透明聚合物柔性基板。

3.根据权利要求1所述的复合透明导电薄膜,其特征在于,所述离子阻挡层的材料采用硅的氧化物、铝的氧化物或者钛的氧化物。

4.根据权利要求1所述的复合透明导电薄膜,其特征在于,在离子阻挡层与透明金属层之间还设置有透明导电氧化物缓冲层,该透明导电氧化物缓冲层的材料采用氧化锌、氧化锡、掺铝氧化锌、氧化铟锡或掺氟氧化锡。

5.根据权利要求1所述的复合透明导电薄膜,其特征在于,所述透明金属层的成分采用金、银、铜或者合金。

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