专利名称：清洗机圆片保护装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种清洗机辅助装置。
背景技术：
原有的清洗机对圆片的保护是通过真空的吸附力使圆片不会在旋转的过程中被 甩出去，但实际应用过程中，圆片还是会因为收到底盘真空度，以及摆放圆片位置等的影响 而产生真空无法完全能吸得住，最终还是会有圆片被甩出去的的情况发生。原来等设备真 空报警的时候，实际这时圆片已经被甩出去了，异常已经发生。
发明内容本实用新型的目的在于提供一种结构合理，使圆片在整个清洗的过程中受到保 护，同时还不影响原有的真空吸附功能的清洗机圆片保护装置。本实用新型的技术解决方案是一种清洗机圆片保护装置，其特征是包括设置在圆片边缘外侧的固定限位座， 固定限位座上装通过销轴与固定限位座连接的活动座，且活动座的上端位于圆片边缘的上 方，活动座的下端悬在销轴的下方。活动座的上端呈抵压圆片的弯钩形式。本实用新型结构合理，解决了原来部分人员在放圆片的时候未能放正，致使旋转 过程中离心力过大，真空不能保护，而甩片的问题，同时也解决了部分人员有时对底盘的水 吹不干净，而影响了底盘真空度的问题；再加上原有的底盘真空功能仍然可以使用，这样的 话，就是在整个清洗过程中是多重保护，保证了产品品质的安全，解决了原有意外的甩片问 题。
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
图1是本实用新型一个实施例的结构示意图。图2是活动座的结构示意图。图3是固定限位座的结构示意图。图4是本实用新型安装状态示意图。
具体实施方式
一种清洗机圆片保护装置，包括设置在圆片1边缘外侧的固定限位座2，固定限位 座2上装通过销轴3与固定限位座连接的活动座4，且活动座的上端位于圆片边缘的上方， 活动座的下端悬在销轴的下方。活动座的上端5呈抵压圆片的弯钩形式。
权利要求1.一种清洗机圆片保护装置，其特征是包括设置在圆片边缘外侧的固定限位座，固 定限位座上装通过销轴与固定限位座连接的活动座，且活动座的上端位于圆片边缘的上 方，活动座的下端悬在销轴的下方。
2.根据权利要求1所述的清洗机圆片保护装置，其特征是活动座的上端呈抵压圆片 的弯钩形式。
专利摘要本实用新型公开了一种清洗机圆片保护装置，包括设置在圆片边缘外侧的固定限位座，固定限位座上装通过销轴与固定限位座连接的活动座，且活动座的上端位于圆片边缘的上方，活动座的下端悬在销轴的下方。本实用新型结构合理，解决了原来部分人员在放圆片的时候未能放正，致使旋转过程中离心力过大，真空不能保护，而甩片的问题，同时也解决了部分人员有时对底盘的水吹不干净，而影响了底盘真空度的问题；再加上原有的底盘真空功能仍然可以使用，这样的话，就是在整个清洗过程中是多重保护，保证了产品品质的安全，解决了原有意外的甩片问题。
文档编号B08B13/00GK201895006SQ201020618858
公开日2011年7月13日 申请日期2010年11月23日 优先权日2010年11月23日
发明者陈建斌, 陈斌 申请人:南通富士通微电子股份有限公司