专利名称：蒸发台用的圆片放置夹具的制作方法
技术领域：
本发明属于集成电路制造技术领域，是一种圆片背面金属化工艺用的夹具，具体地说是一种蒸发台用的圆片放置夹具。
背景技术：
目前，在圆片背面金属化工艺过程当中，真空蒸发台所使用的夹具只能装载与夹具本身尺寸相对应的圆片，在使用的灵活性上受到很大限制。实际操作过程中，当同时有两种或两种以上尺寸规格的圆片需要进行背面金属化时，只能先对其中一种尺寸规格的圆片进行工艺，然后再对另一种尺寸规格的圆片进行工艺，以此类推，通过这样反复多次的工艺来完成所有的加工需求。这样多批次的重复性作 业，不仅大大增加了人力、动力等运营成本，对于贵重靶材的重复性消耗，更是对资源的极大浪费。如果可以通过设计一种夹具，在不改变现有设备结构的情况下就能应对上述提及的情况，显然是非常有好处的。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术中存在的不足，提供一种结构简单、巧妙、合理的蒸发台用的圆片放置夹具，该夹具可以柔性装载不同尺寸的圆片，使用灵活，应用范围较广。按照本发明提供的技术方案一种蒸发台用的圆片放置夹具，包括圆片保护盖、内沿设置台阶的环状本体，所述台阶上转动设置若干个环形手臂，特征在于所述环形手臂包括上臂，上臂上设置有滑槽，紧定螺栓将下臂固定连接于滑槽下端，所述下臂端部设置圆片台阶。作为本发明的进一步改进，所述环状本体的台阶沿圆周方向均布定位孔，定位栓将环形手臂的上臂固定于台阶的定位孔中，所述定位栓下端部通过定位栓销子卡紧。作为本发明的进一步改进，所述环形手臂的弧度与环状本体的弧度相同。作为本发明的进一步改进，所述下臂上设置有螺纹孔，紧定螺栓下端旋紧在螺纹孔中。本发明与现有技术相比，优点在于本发明蒸发台用的圆片放置夹具在不改变现有设备构造、不增加设备负担的前提下，为多种尺寸的硅片同时进行背面金属化工艺，提供了较好的解决办法，在减少运行成本及贵重靶材消耗的同时，工艺可靠性也能得到保证，可操作性强，本发明结构简单、巧妙、合理，可以有效装载不同尺寸规格的圆片。
图1为本发明的结构示意图。图2为本发明的使用状态结构示意图。
具体实施例方式下面结合具体附图和实施例对本发明作进一步说明。如图1、2所示，包括环状本体1、台阶2、环形手臂3、上臂4、下臂5、定位栓6、滑槽7、紧定螺栓8、圆片台阶9、定位栓销子10、圆片保护盖11、圆片12、定位孔13、螺纹孔14。如图1、2所示，本发明是一种蒸发台用的圆片放置夹具，包括圆片保护盖11、内沿设置台阶2的环状本体1，所述台阶2上转动设置若干个环形手臂3，所述环形手臂3包括上臂4，上臂4上设置有滑槽7，紧定螺栓8将下臂5固定连接于滑槽7下端，所述下臂5端部设置圆片台阶9。所述环状本体I的台阶2沿圆周方向均布定位孔13，定位栓6将环形手臂3的上臂4固定于台阶2的定位孔13中，所述定位栓6下端部通过定位栓销子10卡紧。
所述环形手臂3的弧度与环状本体I的弧度相同。所述下臂5上设置有螺纹孔14，紧定螺栓8下端旋紧在螺纹孔14中。如图1、2所示，将本发明通过行星架上的弹簧片固定后，可以根据不同尺寸规格的圆片12，对该夹具上臂4、下臂5的相对位置作出调整，具体是将环形手臂3向内旋转90°，根据圆片12的尺寸规格，松开紧定螺栓8，在滑槽7中，拉出下臂5至适当位置后，旋紧紧定螺栓8,插入定位栓6固定环形手臂3,在定位栓6的底部通过定位栓销子10卡紧，在调整好夹具后，根据将圆片12图形面朝上放置于环形本体I的圆片台阶9上，盖上圆片保护盖11即可。本发明蒸发台用的圆片放置夹具在不改变现有设备构造、不增加设备负担的前提下，为多种尺寸的硅片同时进行背面金属化工艺，提供了较好的解决办法，在减少运行成本及贵重靶材消耗的同时，工艺可靠性也能得到保证，可操作性强，本发明结构简单、巧妙、合理，可以有效装载不同尺寸规格的圆片。
权利要求
1.一种蒸发台用的圆片放置夹具，包括圆片保护盖(11)、内沿设置台阶(2)的环状本体(1)，所述台阶(2)上转动设置若干个环形手臂(3)，其特征在于所述环形手臂(3)包括上臂(4)，上臂(4)上设置有滑槽(7)，紧定螺栓(8)将下臂(5)固定连接于滑槽(7)下端，所述下臂(5)端部设置圆片台阶(9)。
2.如权利要求1所述的蒸发台用的圆片放置夹具，其特征在于所述环状本体(I)的台阶(2)上沿圆周方向均布定位孔(13)，定位栓(6)将环形手臂(3)的上臂(4)固定于台阶(2)的定位孔(13)中,所述定位栓(6)下端部通过定位栓销子(10)卡紧。
3.如权利要求1所述的蒸发台用的圆片放置夹具，其特征在于所述环形手臂(3)的弧度与环状本体(I)的弧度相同。
4.如权利要求1所述的蒸发台用的圆片放置夹具，其特征在于所述下臂(5)上设置有螺纹孔(14)，紧定螺栓(8)下端旋紧在螺纹孔(14)中。
全文摘要
本发明属于集成电路制造技术领域，是一种圆片背面金属化工艺用的夹具，具体地说是一种蒸发台用的圆片放置夹具，包括内沿设置台阶的环状本体，所述台阶上转动设置若干个环形手臂，特征在于所述环形手臂包括上臂，上臂上设置有滑槽，紧定螺栓将下臂固定连接于滑槽下端，所述下臂端部设置圆片台阶。本发明蒸发台用的圆片放置夹具在不改变现有设备构造、不增加设备负担的前提下，为多种尺寸的硅片同时进行背面金属化工艺，提供了较好的解决办法，在减少运行成本及贵重靶材消耗的同时，工艺可靠性也能得到保证，可操作性强，本发明结构简单、巧妙、合理，可以有效装载不同尺寸规格的圆片。
文档编号C23C14/50GK103014650SQ20121058444
公开日2013年4月3日 申请日期2012年12月28日 优先权日2012年12月28日
发明者李云海, 张顺亮, 黄强 申请人:无锡中微高科电子有限公司