专利名称：用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及热解氮化硼坩埚制备技术领域，具体地说是一种用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷。
背景技术：
因诸多工艺条件等因素的限制，分子束外延等生产工艺中经常需要使用细颈球形氮化硼坩埚。细颈球形氮化硼坩埚的制备和其他氮化硼坩埚一样，是在沉积炉内，在2000°C左右的高温条件下，由三氯化硼和氨气反应生成气态氮化硼分子，生成的氮化硼沉积在位于沉积炉内的石墨模具表面上，从而形成细颈球形氮化硼坩埚。氮化硼质地较脆，而且氮硼坩埚一般比较薄，在沉积工序完成后，如何从细颈瓶中去除石墨模具，一直是一个工艺难题。目前主要是采用人工打磨的方式去除石墨模具。但人工打磨的方式效率低，且对操作要求高。为此本案的设计人提出采用形状与模具相适应的钢刷放入模具内部对模具进行机械打磨的方式。较人工方式效率有较大提高，但模具在出炉后，因其热膨胀系数比氮化硼大，所以两者产生分离，采用打磨的钢刷转动方式去除石墨模具时，经常因两者分离，发生模具和钢刷同时转动，无法打磨的现象。有鉴于上述现有的用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷在使用中存在的诸多问题，本实用新型的设计人依靠多年的工作经验和丰富的专业知识积极加以研究和创新，最终研发出一种新颖的用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷，避免了石墨模具随钢刷同时转动的问题，保证了钢刷对模具进行有效的打磨。
实用新型内容为了解决现有技术中存在的上述问题，本实用新型提供了一种用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷，避免了石墨模具随钢刷同时转动的问题，保证了钢刷对模具进行有效的打磨。为了解决上述技术问题，本实用新型采用了如下技术方案用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷，包括钢刷轴，钢刷轴上套设有以钢刷轴为中心轴旋转的钢刷套，所述钢刷套的外壁具有刷齿，所述钢刷轴的端部具有至少两个固定凸起或固定凹槽。进一步，所述钢刷套上具有用于与驱动齿轮啮合的传动齿。进一步，所述固定凸起呈圆锥形或棱锥形。进一步，所述钢刷套与钢刷轴之间设有轴承。进一步，所述固定凸起或固定凹槽为三个，呈品字形分布。进一步，所述刷齿为钢丝构成。与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于本实用新型的用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷通过在钢刷轴外套设可周向转动的带有刷齿的钢刷套使钢刷轴固定而钢刷套转动，通过钢刷轴端部的固定凸起或固定凹槽使石墨模具与钢刷轴在周向上相对定位，避免了石墨模具随钢刷套同时转动，保证了钢刷套上的刷齿对模具进行有效的打磨。提高了工作效率。
图1为本实用新型的用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷的一种实施例的结构示意图；图2为本实用新型的用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷的另一种实施例的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细描述，但不作为对本实用新型的限定。实施例1图1为本实用新型的用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷的一种实施例的结构示意图。如图1所示，用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷，包括钢刷轴1，钢刷轴I上套设有以钢刷轴I为中心轴旋转的钢刷套2。本领域技术人员可以找到多种钢刷套与钢刷轴连接的具体方式，如图1所示，在钢刷轴I的一端具有凸块8，另一端螺纹连接有螺母7，钢刷套2沿轴向固定于凸块8与螺母7之间。或者如图2所示，图2为本实用新型的用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷的另一种实施例的结构示意图。钢刷套2与钢刷轴I之间设有轴承5。轴承5保证了钢刷套2与钢刷轴I沿轴向相对固定，而沿周向相对转动。钢刷套2的外壁具有刷齿3，钢刷轴I的端部具有至少两个固定凸起4或固定凹槽。图中给出的为固定凸起4的示意图。通过与石墨模具内的对应的凹槽或凸起相配合，达到限制石墨模具随钢刷一同转动的目的。钢刷套2上具有用于与驱动齿轮啮合的传动齿6。当然也可通过其他形式使驱动装置与钢刷套2驱动连接。作为优选，固定凸起4呈圆锥形或棱锥形。由于固定凸起4具有锐利的尖部，所以在石墨模具没有对应的凹槽的时候也能实现钢刷轴对石墨模具的周向定位，避免其转动。固定凸起或固定凹槽为三个，呈品字形分布。即位于正三角形的三个顶点上。可以更加稳定地控制石墨模具。刷齿为钢丝构成。具有一定弹性，能够伸入到细颈的石墨模具内，并对其实现有效的打磨。刷齿的外形及尺寸根据石墨模具的形状及大小确定。以上实施例仅为本实用新型的示例性实施例，不用于限制本实用新型，本实用新型的保护范围由权利要求书限定。本领域技术人员可以在本实用新型的实质和保护范围内，对本实用新型做出各种修改或等同替换，这种修改或等同替换也应视为落在本实用新型的保护范围内。
权利要求1.用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷，包括钢刷轴，钢刷轴上套设有以钢刷轴为中心轴旋转的钢刷套，其特征在于，所述钢刷套的外壁具有刷齿，所述钢刷轴的端部具有至少两个固定凸起或固定凹槽。
2.根据权利要求1所述的用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷，其特征在于，所述钢刷套上具有用于与驱动齿轮啮合的传动齿。
3.根据权利要求1所述的用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷，其特征在于，所述固定凸起呈圆锥形或棱锥形。
4.根据权利要求1所述的用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷，其特征在于，所述钢刷套与钢刷轴之间设有轴承。
5.根据权利要求1所述的用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷，其特征在于，所述固定凸起或固定凹槽为三个，呈品字形分布。
6.根据权利要求1所述的用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷，其特征在于，所述刷齿为钢丝构成。
专利摘要本实用新型公开了一种用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷，包括钢刷轴，钢刷轴上套设有以钢刷轴为中心轴旋转的钢刷套，所述钢刷套的外壁具有刷齿，所述钢刷轴的端部具有至少两个固定凸起或固定凹槽。所述固定凸起或固定凹槽为三个，呈品字形分布。所述固定凸起呈圆锥形或棱锥形。本实用新型的用于去除热解氮化硼细颈蒸发坩埚中石墨模具的钢刷避免了石墨模具随钢刷同时转动的问题，保证了钢刷对模具进行有效的打磨。
文档编号B08B9/087GK202860943SQ201220429499
公开日2013年4月10日 申请日期2012年8月27日 优先权日2012年8月27日
发明者何军舫, 王军勇 申请人:北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司