专利名称：一种闸门及湿法刻蚀设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及薄膜晶体管液晶显示器TFT-IXD生产技术领域，特别涉及一种闸门及湿法刻蚀设备。
背景技术：
在TFT-IXD生产的湿法刻蚀设备中，玻璃基板都是通过闸门(Shutter)来进出每个刻蚀区间的。如图I至图3所示，图I为现有技术中闸门的结构示意图；图2为现有技术中闸门前盖板的结构示意图；图3为现有技术中闸门后盖板的结构示意图。现有技术中的闸门包括第一盖板13、第二盖板10以及位于第一盖板13和第二盖板10之间间隙的芯板1，第一盖板13设置的第一门缝14和第二盖板10与第一门缝14相对设置的第二门缝11形成用于基板通过的基板通道17 ;为描述方便，设定图I中基板通道17的延伸方向为水平方向。第一盖板13设有若干沿第一门缝14的延伸方向分布的第一轴承座15，第二盖板10设有若干沿第二门缝11的延伸方向分布的第二轴承座12，第一轴承座15与第二轴承座12对应设置，且每对第一轴承座15与第二轴承座12之间设有一个轴承16 ;芯板I设有向右倾斜、且与轴承16滑动配合的腰形孔2。芯板I右端的连接头3通过连接板4、传动杆6与气缸9的伸缩杆8实现传动；连接头3与连接板4固定连接。气缸9的伸缩杆8沿水平方向伸缩，而芯板I中腰形孔2的倾斜方向以及与腰形孔2配合的轴承16决定了芯板I只能沿右上左下的方向位移，由此决定了传动杆6的左端与连接板4通过销轴5铰接，右端通过铰接件7与气缸9的伸缩杆8铰接。在具体操作中，当气缸9的伸缩杆8外伸时，与伸缩杆8铰接的传动杆6将伸缩杆8向左的位移向量分解为向下位移和向左位移的分向量，并传递给与传动杆6铰接的连接板4，通过连接板4和连接头3驱动芯板I向左下方位移，将基板通道17关闭；当开启基板通道17时，气缸9的伸缩杆8向右缩回，传动杆6将伸缩杆8向右的位移向量分解为向上位移和向左位移的分向量，并传递给与传动杆6铰接的连接板4，通过连接板4和连接头3驱动芯板I向右上方位移，将基板通道17开启。如图I所示，气缸9通过伸缩杆8、与伸缩杆8的外端铰接的传动杆6、与传动杆6铰接的连接板4以及与连接板4固定连接的芯板I的连接头3实现对芯板I位移的控制，进而实现对基板通道17开启或者关闭的控制；由于气缸9与芯板I之间的传动部件较多，而且存在两处铰接关系，各个部件之间的连接关系不够紧凑；闸门在运行一段时间后，传动杆6与伸缩杆8之间的铰接件7处以及传动杆6与连接板4的销轴5处很容易出现松动现象，从而影响气缸9对芯板I行程控制的精确性，进而导致在基板通道17开启时，经常会出现芯板I向上的位移量比原设定的位移量小，芯板I实际的上升位置比原设定的上升位置低的情况；此时，当基板穿过闸门的基板通道17时，板芯I与基板之间会发生接触，进而导致基板上的图案被芯板I的下边划伤，出现工艺不良事故，严重时将导致原料报废；而且，基板上的图案被划伤的现象不易被发现，加之生产过程中采取的是抽查检验的方式，等发现基板的划伤不良时，已有许多基板的损伤已无法挽回，往往会造成很大的经济损失。而且，芯板I也可能被损伤，对芯板I的更换以及对闸门的维修会导致长时间停机现象，从而造成更大的损失。因此，如何提供一种湿法刻蚀设备的闸门，以增强芯板驱动的稳定性，避免基板因芯板划伤而造成的工艺不良事故的发生，是本领域技术人员需要解决的技术问题之一。
实用新型内容本实用新型提供一种湿法刻蚀设备的闸门，以增强芯板驱动的稳定性，避免基板因芯板划伤而造成的工艺不良事故的发生。为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案一种湿法刻蚀设备的闸门，包括分别具有门缝并通过两个门缝形成基板通道的两个盖板、位于两个盖板之间的芯板、以及驱动所述芯板打开或关闭所述基板通道的驱动装置；其中一个盖板和芯板通过至少一对相互配合的滑槽和滑轨可滑动连接；所述驱动装置包括传动轴、驱动传动轴动作的动力设备、与传动轴同轴固定的至少一个传动齿轮，位于芯板上与每一个传动齿轮啮合的齿条。优选地，所述滑槽的延伸方向垂直于所述基板通道的延伸方向。优选地，所述传动轴枢装于其中一个盖板，且所述传动轴轴心线的延伸方向与所述基板通道的延伸方向平行。优选地，所述与传动轴枢装的盖板上具有贯穿其厚度方向的传动轴观察槽，所述传动轴观察槽的延伸方向与所述基板通道的延伸方向平行。优选地，所述滑槽的两个侧面之间的宽度由所述滑槽开口向所述滑槽的槽底方向逐渐增大，所述滑轨的两个侧面之间的宽度由所述滑轨的顶面向所述芯板的第一侧面方向逐渐减小；且所述滑槽的两个侧面与所述滑轨的两个侧面滑动配合。优选地，所述滑槽的两个侧面沿直线设置有多个滚珠，且所述直线的延伸方向与所述滑槽的延伸方向一致；所述滑轨的两个侧面设置有与所述滚珠配合的限位槽。优选地，所述滑轨可拆卸地安装于所述芯板的第一侧面；所述齿条可拆卸地安装于所述芯板的第二侧面。优选地，每一个盖板上安装有检测基板位置信息的摆动传感器，所述摆动传感器安装在门缝中。优选地，每一个盖板的门缝中具有摆动传感器的安装槽，所述传感器安装在安装槽中。在上述技术方案的基础上，本实用新型还提供了一种湿法刻蚀设备，包括上述技术方案中提到的闸门。本实用新型提供的湿法刻蚀设备的闸门，包括分别具有门缝并通过两个门缝形成基板通道的两个盖板、位于两个盖板之间的芯板、以及驱动所述芯板打开或关闭所述基板通道的驱动装置；其中一个盖板和芯板通过至少一对相互配合的滑槽和滑轨可滑动连接；所述驱动装置包括传动轴、驱动传动轴动作的动力设备、与传动轴同轴固定的至少一个传动齿轮，位于芯板上与每一个传动齿轮啮合的齿条。本实用新型提供的闸门的使用原理如下所述当闸门的基板通道需要打开时，驱动装置的动力设备驱动传动轴旋转，由于传动轴同轴固定的传动齿轮与设置于芯板的齿条相互啮合，因此传动齿轮驱动齿条运动，进而齿条带动芯板相对于沿滑槽的延伸方向指向滑槽的一端滑动，直至芯板让开闸门壳体的基板通道，此时闸门的基板通道打开；闸门的基板通道需要关闭时，驱动装置驱动传动轴反向旋转，传动轴设置的传动齿轮带动芯板设置的齿条，齿条带动芯板沿滑槽的延伸方向指向滑槽的另一端滑动，直至芯板将壳体的基板通道挡住，此时闸门的门缝关闭。芯板设置的齿条与驱动装置的传动轴之间通过齿轮啮合实现传动，且芯板与其中一个盖板之间直接通过滑槽与滑轨之间的配合实现对芯板位移方向的限定，从而保证芯板 位移时的稳定性；同时，在传动轴不旋转时，即驱动系统未对芯板进行驱动时，传动齿轮的哨合齿与齿条的哨合齿相互咬合，芯板不能产生位移，保证芯板在静止时的稳定性。由于芯板直接与驱动装置的传动轴配合，较之上述背景技术中提到的多件连接件系统，芯板与驱动装置之间的连接件较少；而且，芯板设置的齿条与传动轴之间通过齿轮啮合实现传动，较之上述背景技术中提到的双铰接传动关系，本实用新型提供的闸门的芯板与驱动装置之间的传动关系更加稳定。因此，本实用新型提供的湿法刻蚀设备的闸门能够增强芯板驱动的稳定性，避免基板因芯板划伤而造成的工艺不良事故的发生，减少经济损失。另外，本实用新型还提供了一种使用了上述闸门的湿法刻蚀设备，该设备也具有上述闸门的有益效果。
图I为现有技术中闸门的结构示意图；图2为现有技术中闸门前盖板的结构示意图；图3为现有技术中闸门后盖板的结构示意图；图4为本实用新型提供的湿法刻蚀设备的闸门的爆炸结构示意图；图5为本实用新型提供的湿法刻蚀设备的闸门中芯板与传动轴以及前盖板的配合结构示意图；图6为本实用新型提供的湿法刻蚀设备的闸门中后盖板的侧视结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。请参考图4和图5，图4为本实用新型提供的湿法刻蚀设备的闸门的爆炸结构示意图；图5为本实用新型提供的湿法刻蚀设备的闸门中芯板与传动轴以及前盖板的配合结构示意图。本实用新型提供的湿法刻蚀设备的闸门，包括分别具有门缝并通过两个门缝形成基板通道的两个盖板、位于两个盖板之间的芯板24、以及驱动芯板24打开或关闭基板通道的驱动装置；其中一个盖板和芯板24通过至少一对相互配合的滑槽和滑轨可滑动连接；驱动装置包括传动轴27、驱动传动轴27动作的动力设备、与传动轴27同轴固定的至少一个传动齿轮28,位于芯板24上与每一个传动齿轮28哨合的齿条25。为便于描述,上述的两个盖板分别称为第一盖板20和第二盖板31,第一盖板20上的门缝称为第一门缝23，第二盖板31上的门缝称为第二门缝33 ;其中，与芯板24滑动配合的为第一盖板20。本实用新型提供的闸门的使用原理如下所述当闸门的基板通道需要打开时，驱动装置的动力设备驱动传动轴27旋转，由于传动轴27同轴固定的传动齿轮28与设置于芯板24的齿条25相互啮合，因此传动齿轮28驱动齿条25运动，进而齿条25带动芯板24相对于第一盖板20沿滑槽22的延伸方向指向滑槽22的一端滑动，直至芯板24让开闸门壳体的基板通道，此时闸门的基板通道打开；闸门的基板通道需要关闭时，驱动装置的动力设 备驱动传动轴27反向旋转，传动轴27设置的传动齿轮28带动芯板24设置的齿条25，齿条25带动芯板24相对于第一盖板20沿滑槽22的延伸方向指向滑槽22的另一端滑动，直至芯板24将壳体的基板通道挡住，此时闸门的门缝关闭。芯板24设置的齿条25与传动轴27之间通过齿轮啮合实现传动，且芯板24与第一盖板20之间直接通过滑槽22与滑轨26之间的配合实现对芯板24位移方向的限定，从而保证芯板24位移时的稳定性；同时，在传动轴27不旋转时，即驱动系统未对芯板24进行驱动时，传动齿轮28的啮合齿与齿条25的啮合齿相互咬合，芯板24不能产生位移，保证芯板24在静止时的稳定性。由于芯板24直接与驱动装置的传动轴27配合，因此芯板24与驱动装置之间的连接件较少；而且，芯板24设置的齿条25与传动轴27之间通过齿轮啮合实现传动，较之上述背景技术中提到的双铰接传动关系，本实用新型提供的闸门的芯板24与驱动装置之间的传动关系更加稳定。因此，本实用新型提供的湿法刻蚀设备的闸门能够增强芯板24驱动的稳定性，避免基板因芯板24划伤而造成的工艺不良事故的发生，减少经济损失.进一步的，如图4所示，上述技术方案中提到的滑槽22与滑轨26可以为三对，且沿芯板24的长度方向均匀分布；滑槽22和滑轨26设置为均匀分布的多对可以增强芯板24在前盖板20滑动时的稳定性。更进一步的，上述技术方案中提到的驱动装置可以由多种选择如，驱动装置的动力设备可以为气缸29，如图4所示，气缸29的输出轴通过联轴器30与传动轴27传动连接；驱动装置还可以为电机，电机的输出轴通过联轴器与传动轴27传动连接。如图4和图5所示，优选地，滑槽22具体设置于第一盖板20，滑轨26设置于芯板24的第一侧面。另外，上述技术方案中提到的滑轨26与滑槽22，其中，滑轨26与滑槽22的延伸方向与闸门的基板通道之间的夹角可以由多种选择，如45°、° 60以及80°，只要芯板24的位移方向与基板通道的延伸方向具有垂直于基板通道延伸方向的位移分向量即可。为了最大限度地利用芯板24的位移，优选地，滑槽22的延伸方向垂直于基板通道的延伸方向。[0050]为了增加传动轴27对芯板24驱动时，芯板24位移的稳定性，优选地，传动轴27枢装于第一盖板20或者第二盖板31中的一个，且传动轴27的轴心线的延伸方向与基板通道的延伸方向平行。这样，传动轴27与设置于芯板24上齿条25之间啮合时不会产生晃动等不稳定现象。优选地，传动轴27枢装于第二盖板31，这样，传动齿轮28与齿条25啮合时会对芯板24产生压向第一盖板20的压力，从而增强滑槽22与滑轨26之间配合时的稳定性。如图6所示，为增强传动轴27枢装的稳定性，第二盖板31的两个侧边上分别设置有用于枢装传动轴27的安装孔35，安装孔35中可设置轴承等。当然，为了能够随时对传动齿轮28与齿条25之间的啮合关系进行观察，以便及时掌握芯板24以及传动轴27的配合以及损伤状况，第二·盖板31还设置有贯穿其厚度方向的传动轴观察槽36，传动轴观察槽36的延伸方向与基板通道的延伸方向平行。如图4和图6所示。为了增强滑槽22与滑轨26之间配合的紧密性，同时增强芯板24与第一盖板20之间相对位置的稳定性，滑槽22的两个侧面之间的宽度由滑槽22的开口向滑槽22的槽底方向逐渐增大，而滑轨26的两个侧面之间的宽度由滑轨26的顶面向芯板24的第一侧面方向逐渐减小；且滑槽22的两个侧面与滑轨26的两个侧面滑动配合。具体安装时，设置于芯板24的滑轨26沿滑槽22的一端滑入，并且通过滑槽22的两个侧面与滑轨26的两个侧面之间的配合关系，实现对滑轨26在垂直于滑槽22的延伸方向的方向上的限位。请参考图5，为了在保证滑槽22与滑轨26两者之间限位关系的同时，减小滑槽22与滑轨26之间位移时的摩擦，滑槽22的两个侧面沿直线设置有多个滚珠221，且直线的延伸方向与滑槽22的延伸方向一致；滑轨26的两个侧面设置有与滚珠221配合的限位槽。在传动轴27带动芯板24沿滑槽22位移时，滚珠221在滑轨26设置的限位槽内滚动，滑轨26的两个侧面与滑槽22的两个侧面之间由滑动摩擦变为滚动摩擦，大大减小了滑槽22与滑轨26之间的摩擦力。另外，滑轨26可拆卸地安装于芯板24的第一侧面；齿条25可拆卸地安装于芯板24的第二侧面。这样，若芯板24的滑轨26或者齿条25损坏时，只需更换受损的滑轨26或者齿条25即可，无需同现有设备一样必须换掉整个芯板，降低了芯板24的维修成本。为了防止芯板24误操作的发生，第一盖板20和第二盖板31上分别设有检测基板位置信息的摆动传感器，且摆动传感器分别设置于第一盖板20的第一门缝23和第二盖板31的第二门缝33中。当基板通过闸门的基板通道时，安装于第一门缝23的摆动传感器对基板相对于第一盖板20的位置信息进行采集，安装于第二门缝33的摆动传感器对基板相对于第二盖板31的位置信息进行采集，并传送给相应的处理显示系统，便于工作人员对芯板24的控制，防止芯板24误操作的发生。具体的，第一门缝23设有第一摆动传感器安装槽21，第二门缝33设有第二摆动传感器安装槽34，上述的摆动传感器分别安装于第一摆动传感器安装槽21和第二摆动传感器安装槽34中。本实用新型还提供了一种包括上述技术方案中提到的闸门的湿法刻蚀设备，该湿法刻蚀设备具有上述闸门具有的有益效果，这里不再赘述。[0061]显然，本领域的技术人员可以对本实用新型实施例进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。 ·
权利要求1.一种湿法刻蚀设备的闸门，包括分别具有门缝并通过两个门缝形成基板通道的两个盖板、位于两个盖板之间的芯板、以及驱动所述芯板打开或关闭所述基板通道的驱动装置；其特征在于 其中一个盖板和芯板通过至少一对相互配合的滑槽和滑轨可滑动连接； 所述驱动装置包括传动轴、驱动传动轴动作的动力设备、与传动轴同轴固定的至少一个传动齿轮，位于芯板上与每一个传动齿轮啮合的齿条。
2.根据权利要求I所述的闸门，其特征在于，所述滑槽的延伸方向垂直于所述基板通道的延伸方向。
3.根据权利要求2所述的闸门，其特征在于，所述传动轴枢装于其中一个盖板，且所述传动轴轴心线的延伸方向与所述基板通道的延伸方向平行。
4.根据权利要求3所述的闸门，其特征在于，所述与传动轴枢装的盖板上具有贯穿其厚度方向的传动轴观察槽，所述传动轴观察槽的延伸方向与所述基板通道的延伸方向平行。
5.根据权利要求I所述的闸门，其特征在于，所述滑槽的两个侧面之间的宽度由所述滑槽开口向所述滑槽的槽底方向逐渐增大，所述滑轨的两个侧面之间的宽度由所述滑轨的顶面向所述芯板的第一侧面方向逐渐减小；且所述滑槽的两个侧面与所述滑轨的两个侧面滑动配合。
6.根据权利要求5所述的闸门，其特征在于，所述滑槽的两个侧面沿直线设置有多个滚珠，且所述直线的延伸方向与所述滑槽的延伸方向一致；所述滑轨的两个侧面设置有与所述滚珠配合的限位槽。
7.根据权利要求6所述的闸门，其特征在于，所述滑轨可拆卸地安装于所述芯板的第一侧面；所述齿条可拆卸地安装于所述芯板的第二侧面。
8.根据权利要求7所述的闸门，其特征在于，每一个盖板上安装有检测基板位置信息的摆动传感器，所述摆动传感器安装在门缝中。
9.根据权利要求8所述的闸门，其特征在于，每一个盖板的门缝中具有摆动传感器的安装槽，传感器安装在所述安装槽中。
10.一种湿法刻蚀设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的闸门。
专利摘要本实用新型公开了一种闸门及湿法刻蚀设备，其中湿法刻蚀设备的闸门，包括两个盖板、位于两个盖板之间的芯板、以及驱动芯板打开或关闭基板通道的驱动装置；其中一个盖板和芯板通过至少一对滑槽和滑轨可滑动连接；驱动装置包括传动轴、驱动传动轴动作的动力设备、与传动轴同轴固定的至少一个传动齿轮，位于芯板上与每一个传动齿轮啮合的齿条。芯板的位移通过驱动装置的传动轴设有的传动齿轮和设置于芯板的齿条啮合传动实现，由于芯板与驱动装置之间的传动部件结构紧凑，且传动齿轮与齿条之间啮合的关系更加稳定，所以本实用新型提供的湿法刻蚀设备的闸门能够增强芯板驱动的稳定性，降低了芯板破损几率，同时避免基板因芯板划伤而造成的工艺不良的发生。
文档编号C03C15/00GK202729999SQ201220381240
公开日2013年2月13日 申请日期2012年8月2日 优先权日2012年8月2日
发明者陈小伟, 郭坤 申请人:北京京东方光电科技有限公司