一种线切机砂浆中转过滤装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种线切机砂浆中转过滤装置，包括支架和设在支架上的中转桶；中转桶的开口上方设有砂浆过滤器，中转桶中设有深度测量尺，中转桶的底部设有砂浆排出管。本实用新型能够精确控制砂浆量，砂浆通过砂浆过滤器过滤后，流入中转桶中，通过深度测量尺可以精确测量中转桶中的液位高度，确定砂浆在中转桶中的体积，以精确控制砂浆在多线切割过程中的使用量；本实用新型降低了成本，并提高了多线切割的质量。
【专利说明】一种线切机砂浆中转过滤装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及硅片多线切割【技术领域】，具体涉及一种线切机砂浆中转过滤装置。
【背景技术】
[0002]众所周知，现代信息技术和现代电子技术的基础是半导体技术，而半导体硅材料是最重要的半导体材料。多线切割机以极高的生产效率和出片率，广泛应用于大直径超薄硅片的切割领域，多线切割机用钢线切割时，所用切削液是碳化硅跟晶硅切削液的悬浮混合体，俗称砂浆。多线切割机生产过程中的更换砂浆量的控制是生产成本中的重要环节，但是，目前在更换砂浆时，在线砂浆回收机更换的砂浆量不能精确控制，用量多时会增加成本，用量少时会影响多线切割的质量。
实用新型内容
[0003]本实用新型要解决的技术问题是提供一种能够精确控制更换砂浆量的中转过滤
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[0004]为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是:一种线切机砂浆中转过滤装置，包括支架和设在支架上的中转桶；中转桶的开口上方设有砂浆过滤器，中转桶中设有深度测量尺，中转桶的底部设有砂浆排出管。
·[0005]其中，所述砂浆排出管上设有砂浆泵。
[0006]其中，所述中转桶的桶口设有导轨，砂浆过滤器装设在导轨上。
[0007]其中，所述中转桶的桶壁上与深度测量尺刻度对应的位置设有透明窗。
[0008]其中，所述支架的底部设有轮子。
[0009]其中，所述中转桶的横截面为圆形或方形。
[0010]采用上述技术方案所产生的有益效果在于:
[0011]本实用新型能够精确控制砂浆量，降低成本，并提高了多线切割的质量。中转桶中设有深度测量尺，可以测量砂浆液位高度，进而计算砂浆体积；当需要从中转桶放出砂浆时，打开砂浆泵，砂浆流出；中转桶上方的砂浆过滤器，用于过滤从在线砂浆回收机中流出的砂浆，保证中转桶中砂浆的质量。并且正常使用时，砂浆过滤器可以在导轨上自由移动；砂浆通过砂浆过滤器过滤后，流入中转桶中，通过深度测量尺可以精确测量中转桶中的液位高度，确定砂浆在中转桶中的体积，以精确控制砂浆在多线切割过程中的使用量；当需要不同量的砂浆时，只需要在中转桶中放入适量的砂浆，使用深度测量尺测量砂浆的液位。支架的底部设有轮子，可以自由旋转，保证中转桶的移动。
【专利附图】
【附图说明】
[0012]图1是本实用新型的结构示意图；
[0013]图2是图1的俯视图；[0014]图中:1、支架，2、中转桶，3、砂浆过滤器，4、砂浆泵，5、深度测量尺，6、横架，7、砂浆
排出管，8、轮子。
【具体实施方式】
[0015]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细的说明。
[0016]如图1、2所示，本实用新型为一种线切机砂浆中转过滤装置，包括支架I和设在支架I上的中转桶2 ;支架I的底部设有轮子8，中转桶2的横截面为圆形或方形，易于测量盛放的砂浆的体积；中转桶2的开口上方设有砂浆过滤器3，中转桶2的桶口设有导轨6，砂浆过滤器3装设在导轨6上；中转桶2中设有深度测量尺5，中转桶2的桶壁上与深度测量尺5刻度对应的位置设有透明窗；中转桶2的底部设有砂浆排出管7，砂浆排出管7上设有砂浆泵4。
[0017]支架I的底部设有轮子8，可以自由旋转，保证中转桶2的移动。中转桶2中设有深度测量尺5，可以测量砂浆液位高度，进而计算砂浆体积。当需要从中转桶2放出砂浆时，打开砂浆泵4，砂浆流出。中转桶2上方的砂浆过滤器3，用于过滤从在线砂浆回收机中流出的砂浆，保证中转桶2中砂浆的质量。并且正常使用时，砂浆过滤器3可以在导轨6上自
由移动。
[0018]砂浆通过砂浆过滤器3过滤后，流入中转桶2中，通过深度测量尺5精确测量中转桶2中的液位高度，确定砂浆在中转桶2中的体积，以精确控制砂浆在多线切割过程中的使用量。当需要不同量的砂浆时，只需要在中转桶2中放入适量的砂浆，使用深度测量尺5测量砂浆的液位。
【权利要求】
1.一种线切机砂浆中转过滤装置，其特征在于:包括支架(I)和设在支架(I)上的中转桶(2);中转桶(2)的开口上方设有砂浆过滤器(3)，中转桶(2)中设有深度测量尺(5)，中转桶(2)的底部设有砂浆排出管(7)。
2.根据权利要求1所述的一种线切机砂浆中转过滤装置，其特征在于:所述砂浆排出管(7)上设有砂浆泵(4)。
3.根据权利要求1所述的一种线切机砂浆中转过滤装置，其特征在于:所述中转桶(2)的桶口设有导轨(6 )，砂浆过滤器(3 )装设在导轨(6 )上。
4.根据权利要求1所述的一种线切机砂浆中转过滤装置，其特征在于:所述中转桶(2)的桶壁上与深度测量尺(5)刻度对应的位置设有透明窗。
5.根据权利要求1所述的一种线切机砂浆中转过滤装置，其特征在于:所述支架(I)的底部设有轮子(8)。
6.根据权利要求1所述的一种线切机砂浆中转过滤装置，其特征在于:所述中转桶(2)的横截面为圆形或方形。
【文档编号】B28D5/04GK203409905SQ201320478949
【公开日】2014年1月29日 申请日期:2013年8月7日 优先权日:2013年8月7日
【发明者】李佩剑, 刘巍, 周为贞, 范靖, 柳恒伟, 曹绍文 申请人:晶伟电子材料有限公司