一种硅片往复切割工艺的制作方法

文档序号:1910164阅读:163来源:国知局
一种硅片往复切割工艺的制作方法
【专利摘要】本发明涉及一种硅片往复切割工艺,属于硅片切割【技术领域】。其通过切割线的往复运动,对切割系统提供更大的行程和线速,达到提高生产效率的目的。本发明通过连续的供线系统和旧线回收系统,能有效减少线的破损,还可促使线的张紧以保证切割线的刚性,有利于提高切片精度,同时,最大限度的利用切割线从而降低消耗。
【专利说明】—种硅片往复切割工艺

【技术领域】
[0001]本发明涉及一种硅片往复切割工艺,具体涉及一种节能降耗,同时能够改善硅片表面质量的工艺,属于硅片切割【技术领域】。

【背景技术】
[0002]目前单向切割是市场的发展需求,但单向切割成本较高。单向切割工艺产生的线痕会对电池栅线造成影响,首先线痕片深度及宽度超差会使硅片外观质量降级,其次导致电池栅线粗细不均:传统的往复切割工艺能够降低1/2的钢线用量,单片加工成本可降低约0.14元/片。虽然这种工艺可以大大降低切割成本,但是这种切割工艺对硅片表面质量的影响非常大,尤其是线痕特别突出。为了将线痕控制在合理的范围,研究硅片的往复切割工艺参数是必要的趋势。


【发明内容】

[0003]本发明的目的在于针对现有技术中存在的不足,提供一种切割精度高,线痕比例率低的硅棒切片工艺。其通过切割线的往复运动,对切割系统提供更大的行程和线速,达到提闻生广效率的目的。
[0004]按照本发明提供的技术方案,一种硅片往复切割工艺,步骤为:
(O固化:选取长度为250-300mm的硅棒,利用固化剂把硅棒粘接在工件板上进行固化,固化时间为6h以上,室温为23-28°C左右;
(2)配置砂浆:即碳化硅的悬浮液,砂浆调试比例按碳化硅:悬浮液水质量比为0.9-0.95:1之间,单刀用砂浆量为225kg ;
(3)切割:采用切割机进行切割,导轮带动钢线,钢线直径0.11-0.115mm,正转2min后,再把导轮反转lmin,利用切割后的钢线再进行一次切割;切割时间9-12h,钢线使用量为200-240km ;操作过程放线与回线的比率在3.5-4.5: 1、工作台速度0.25-0.35mm/min,线速度 630_680m/min ;
(4)脱胶:硅棒切割结束后使用60-65°C的温水浸泡8-10分钟后脱胶;
(5)后处理:脱胶后的硅片进行清洗、甩干,即可。
[0005]所述娃棒的规格为156*156mm。所述碳化娃目数为1500-2000。所述固化剂为AB胶,其中AB胶的比例为1:1。
[0006]尺寸要求:和普通切片规格一样(156*156)。
[0007]放线量与收线量:在钢线与硅锭摩擦时,放线量是使用新钢线在进行摩擦,在摩擦过程中,钢线的椭圆度,直径会变细,韧度也随之发生变化。而收线量是把钢线与硅锭摩擦过的钢线反向在进行摩擦。利用钢线的韧度变化做出2次利用。
[0008]砂浆流量:砂浆流量的大小取决钢线带砂浆的能力;二次切割的钢线带砂能力较差,所以砂浆的变化取决于2次利用的钢线量。
[0009]本发明的有益效果:本发明与现有技术相比,切割效果良好,合格率大幅度提高,极大地提高了机器的工作效率;导轮往复带动钢线,即使切割中钢线带砂不足,也能保证硅片线痕控制在公差之内;采用连续的供线系统和旧线回收系统相比,有效减少线的破损,还可促使线的张紧以保证切割线的刚性,有利于提高切片精度,同时,最大限度的利用切割线从而降低消耗。

【具体实施方式】
[0010]以下实施例中所述切割机为日本NTC机型。
[0011]对比实施例1单向切割
(I)选取长度为250-300mm之间,规格为156X156的硅棒,利用AB胶(比例为1:1)把硅棒粘接在工件板上,固化时间6h以上,室温为23-28°C左右。
[0012](2)砂浆调试比例:0.90 (碳化硅):I (悬浮液),单刀用砂浆量250kg。
[0013](3)每分钟钢线使用量为500m,切割时间为10小时30分钟,共用钢线315km。
[0014](4)硅棒切割结束后使用60_65°C的温水浸泡8_10分钟后脱胶;脱胶后的硅片插入花篮进行清洗,甩干,送去检验。
[0015]检验结果确认硅片表片线痕占比例1.5%_2%。
[0016]实施例1往复切割
Cl)固化:选取长度为250-300mm之间,规格为156X156的硅棒,利用AB胶(比例为1:1)把硅棒粘接在工件板上,固化时间6h,温度为25°C。
[0017](2)配置砂浆:砂浆调试比例在0.90 (碳化硅):I (悬浮液),单刀用砂浆量减少10%。
[0018](3)切割:采用切割机进行切割,导轮带动钢线,钢线直径0.11mm,正转2min后,再把导轮反转lmin,利用切割后的钢线再进行一次切割;切割时间9-12h,钢线使用量为200-240km ;操作过程放线与回线的比率3.5:1、工作台速度0.25mm/min,线速度630m/min ;
(4)脱胶:硅棒切割结束后使用60°C的温水浸泡8-10分钟后脱胶;
(5)脱胶后的硅片进行清洗、甩干,即可。
[0019]本实施例中钢线利用率增加35%。
[0020]实施例2往复切割
Cl)固化:选取长度为250-300mm之间,规格为156X156的硅棒,利用AB胶(比例为1:1)把硅棒粘接在工件板上,固化时间6h以上,温度为28°C。
[0021](2)配置砂浆:砂浆调试比例为0.925 (碳化硅):1 (悬浮液),单刀用砂浆量为225kg ;
(3)切割:采用切割机进行切割,导轮带动钢线,钢线直径0.115mm,正转2min后,再把导轮反转lmin,利用切割后的钢线再进行一次切割;切割时间10.5h,钢线使用量为205km ;操作过程放线与回线的比率在4.5: 1、工作台速度0.35mm/min,线速度680m/min。
[0022](4)脱胶:硅棒切割结束后使用65°C的温水浸泡8分钟后脱胶。
[0023](5)脱胶后的硅片插入花篮进行清洗,甩干,送去检验。
[0024]检验结果确认硅片表片线痕占比例0.5%_1%。
[0025]本发明具体的优势如下:1、越细的钢线在往复切割工艺中越占优势,现在行业内普遍应用的0.120mm和
0.115mm直径的钢线,切出来的硅片线痕深度为13 μ m、宽度为132 μ m。本实施例将采用
0.1lOmm直径的钢线,切出来的硅片线痕深度及宽度能降低为12.8 μ m和115 μ m,从而能够从根本上改善电池印刷工序造成的栅线不均情况,并且不会影响组件的表面外观。
[0026]2、通过回线率、工作台速度以及加速度的改进,可以减轻硅片表面产生的线痕深度及览度。
[0027]3、综合成本节约:较传统工艺降低综合成本约22%,每年可节约600万成本。
[0028]4、节能环保:大幅度减少了废钢线,原先钢线用量为2刀/卷,采用往复式切割工艺后预计钢线用量约为3刀/卷。
【权利要求】
1.一种硅片往复切割工艺,其特征是步骤为: (O固化:选取长度为250-300mm的硅棒,利用固化剂把硅棒粘接在工件板上进行固化,固化时间为6h以上,室温为23-28°C左右; (2)配置砂浆:即碳化硅的悬浮液,砂浆调试比例按碳化硅:悬浮液水质量比为0.9-0.95:1之间,单刀用砂浆量为225kg ; (3)切割:采用切割机进行切割,导轮带动钢线,钢线直径0.11-0.115mm,正转2min后,再把导轮反转lmin,利用切割后的钢线再进行一次切割;切割时间9-12h,钢线使用量为200-240km ;操作过程放线与回线的比率在3.5-4.5: 1、工作台速度0.25-0.35mm/min,线速度 630_680m/min ; (4)脱胶:硅棒切割结束后使用60-65°C的温水浸泡8-10分钟后脱胶; (5)后处理:脱胶后的硅片进行清洗、甩干,即可。
2.如权利要求1所述硅片往复切割工艺,其特征是:所述硅棒的规格为156*156mm。
3.如权利要求1所述硅片往复切割工艺,其特征是:所述碳化硅为1500-2000目。
4.如权利要求1所述硅片往复切割工艺,其特征是:所述固化剂为AB胶,其中AB胶的比例为1:1。
【文档编号】B28D5/04GK104191533SQ201410447955
【公开日】2014年12月10日 申请日期:2014年9月4日 优先权日:2014年9月4日
【发明者】杜正兴, 李靖, 华冰 申请人:无锡尚品太阳能电力科技有限公司
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