一种精确控制硅片切片装置的制作方法

文档序号:12050754阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种精确控制硅片切片装置,其特征在于,其包括底座,所述底座上安装有两个对称平行布置的横向导轨,所述横向导轨上通过横向滑块安装有切割平台,所述切割平台上安装有切割夹具,在两个所述横线导轨中间,所述底座上安装有丝杆,所述切割平台通过丝杆螺母连接所述丝杆,所述丝杆连接丝杆驱动电机,在两个所述横向导轨外侧,所述底座上安装有与所述横向导轨相互垂直的纵向导轨,所述纵向导轨上通过纵向滑块安装有切割座,所述切割座上安装有转轴,靠近所述横向导轨的所述转轴一端安装有切割轮,所述转轴另一端通过从动轮、皮带和主动轮连接切割驱动电机,所述切割座连接纵向驱动气缸,在所述纵向导轨一侧,所述底座上安装有与之平行的标尺,所述横向导轨两端分别安装有限位块,所述限位块到所述切割轮的距离与所述切割平台的尺寸对应。

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