一种精确控制硅片切片装置的制作方法

文档序号:12050754阅读:来源:国知局
技术总结
本发明涉及硅片加工设备技术领域,具体为一种精确控制硅片切片装置,其能够自动实现硅片的切片操作,保证切割精度,其包括底座,底座上安装有两个对称平行布置的横向导轨,横向导轨上通过横向滑块安装有切割平台,切割平台上安装有切割夹具,在两个横线导轨中间,底座上安装有丝杆,切割平台通过丝杆螺母连接丝杆,丝杆连接丝杆驱动电机,在两个横向导轨外侧,底座上安装有与横向导轨相互垂直的纵向导轨,纵向导轨上通过纵向滑块安装有切割座,切割座上安装有转轴,靠近横向导轨的转轴一端安装有切割轮,切割座连接纵向驱动气缸,在纵向导轨一侧,底座上安装有与之平行的标尺。

技术研发人员:尤梦蝶
受保护的技术使用者:无锡明珠增压器制造有限公司
文档号码:201611101668
技术研发日:2016.12.05
技术公布日:2017.05.24

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