一种用于石英外套管安装的夹具的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于HVPE设备安装辅助工具领域，具体涉及一种用于石英外套管安装的夹具。
【背景技术】
[0002]用于氮化镓研究和生产的HVPE设备中，以小型的单片机或三片机为主，这种设备反应腔的尺寸较小，其石英外套管直径小于200_，重量小于25kg，高度或者长度小于1.2米。进行维护时，安装人员安装整个石英外套管，只需要两人协同搬运安装，即可保证安装精度和准确度，安装过程简单方便。随着半导体行业的发展，使用HVPE法制备氮化镓衬底取得极大的进展，HVPE设备由单片机向多片机发展，反应腔的尺寸也相应增大，其石英外套管直径突破200mm以上，重量超过25kg，高度或长度大于1.2米，安装时，仅靠少量的安装人员显然不够，需要多人协同安装，可控性很差，安装精度不易保证，安装效率低；且石英材质易碎、表面光滑，存在一定的安全隐患。显然，小型HVPE设备外套管的安装方法，已经难于满足多片机外套管的日常安装维护。如何能保证这种大型设备安装维护的精度，提高效率，降低风险，是亟待解决的问题。
【实用新型内容】
[0003]针对上述问题，本实用新型提供一种用于石英外套管安装的夹具。本实用新型的技术方案是:一种用于石英外套管安装的夹具，包括导轨承重框架、由滑动夹板和固定夹板组成的一对夹板、缓冲垫、定位杆等部件。通过调节定位杆可调整滑动夹板的位置，以达到牢靠夹持石英外套管的作用，缓冲垫贴合于滑动夹板和固定夹板的内侧U型弧面上，它能提供足够的摩擦力，当调节定位杆调整滑动夹板所处的位置，以夹持石英外套管时，即能牢靠夹持石英外套管，又能保护石英外套管防止其碎裂。
[0004]本实用新型所述夹具需配合叉车等载重运输工具使用。
[0005]所述导轨承重框架，为四方体结构，在其框架内，以其定位孔为中轴线，两侧设置有凸型导轨，该凸型导轨用于与滑动夹板的凹型导槽相贴合，其定位杆孔用于穿过定位杆；导轨承重框架的邻近拐角处设有4个固定孔，用于把本实用新型夹具固定在载重运输工具上。其材质是不锈钢或铝合金。
[0006]所述夹板，在其滑动夹板和固定夹板的两侧面，设有凹型导槽，用于与导轨承重框架的凸型导轨相贴合，使滑动夹板沿凸型导轨滑动自如；滑动夹板后端与定位杆固定连接，用于调节滑动夹板与固定夹板间的相对位置；滑动夹板和固定夹板的内侧面为U型弧面，该面牢靠贴合有缓冲垫。其材质是不锈钢或铝合金。
[0007]所述定位杆，为圆柱体结构，其表面有调位螺纹，并装有两颗定位螺母；定位杆穿过导轨承重框架上的无凸型导轨侧边中心处的定位杆孔，与滑动夹板一端固定连接，通过调节调位螺纹，可以调整滑动夹板的所处位置，通过锁住定位螺母，可以固定滑动夹板位置。定位杆其材质是不锈钢或铝合金。
[0008]所述缓冲垫，为软性材质材料，牢靠贴合于滑动夹板和固定夹板的内侧U型弧面上，它提供足够的摩擦力，以便两个夹板在夹持石英外套管时，起到既能加持稳定又可缓冲保护作用。缓冲垫其材质是橡胶或硅胶。
[0009]本实用新型，其结构简单、实施方便，需要与载重运输工具灵活配合使用，免去人力搬运，提高了安装效率，以及安装过程的安全性。滑动夹板可更换不同尺寸，可提高夹具使用的灵活性，具有一定的实用价值。
【附图说明】
[0010]图1为一种用于石英外套管安装的夹具结构示意图。
[0011]图中，1:导轨承重框架2:夹板21:滑动夹板22:固定夹板3:缓冲垫4:定位杆。
【具体实施方式】
[0012]实施例1
[0013]如图1所示，一种用于圆柱体外套管安装的夹具，包括1个导轨承重框架(1)，1对夹板(2)，2个缓冲垫(3)，1根定位杆(4)，其中夹板(2)包含滑动夹板(21)和固定夹板
(22) ο
[0014]在所述导轨承重框架(1)两侧边内侧设有凸型导轨，与此相对应的夹板(2)两侧边设有凹型导槽，所述凸型导轨与凹型导槽紧密贴合，使滑动夹板(21)沿导轨滑动自如；所述定位杆(4)穿过导轨承重框架(1)的无凸型导轨侧边中心处的定位杆孔，定位杆(4)顶端与滑动夹板(21) —端为固定连接；所述定位杆(4)为圆柱结构，在其表面有调位螺纹并装有两颗定位螺母，通过调节调位螺纹可调整滑动夹板(21)所处位置，通过锁紧定位螺母可固定滑动夹板(21)所处位置；所述缓冲垫(3)牢靠贴合于滑动夹板(21)、固定夹板
(22)内侧的U型弧面上。
[0015]本实用新型一种用于石英外套管安装的夹具，所述导轨承重框架(1)为四方体结构，在其4个邻近拐角处设有4个固定孔，可用于把本实用新型夹具与载重运输工具互相固定。
[0016]本实用新型一种用于石英外套管安装的夹具，所述导轨承重框架(1)、夹板(2)、定位杆(4)，其材质是不锈钢或铝合金；所述缓冲垫(3)，其材质是橡胶或硅胶。
[0017]安装时，安装人员使用4颗固定螺钉穿过固定孔，把夹具牢靠固定在叉车的车臂上，移动叉车把夹具搬运到外套管中部位置，拧动定位螺母调节滑动夹板牢靠夹持外套管。移动叉车把外套管夹持到合适位置。安装人员完成整个安装过程，只需要拧动定位螺母调节滑动夹板，控制叉车夹持外套管搬运到合适位置。
【主权项】
1.一种用于石英外套管安装的夹具，包括导轨承重框架(1)、夹板(2)、缓冲垫(3)、定位杆(4)，所述夹板(2)包含滑动夹板(21)和固定夹板(22);其特征在于，在所述导轨承重框架(1)两侧边内侧设有凸型导轨，与此相对应的夹板(2)两侧边设有凹型导槽，所述凸型导轨与凹型导槽紧密贴合，使滑动夹板(21)沿导轨滑动自如；所述定位杆(4)穿过导轨承重框架(1)的无凸型导轨侧边中心处的定位杆孔，定位杆(4)顶端与滑动夹板(21) —端为固定连接；所述定位杆(4)为圆柱结构，在其表面有调位螺纹并装有两颗定位螺母，通过调节调位螺纹可调整滑动夹板(21)所处位置，通过锁紧定位螺母可固定滑动夹板(21)所处位置；所述缓冲垫(3)牢靠贴合于滑动夹板(21)、固定夹板(22)内侧的U型弧面上。2.根据权利要求1所述一种用于石英外套管安装的夹具，其特征在于，所述导轨承重框架(1)为四方体结构，在其4个邻近拐角处设有4个固定孔。3.根据权利要求1所述一种用于石英外套管安装的夹具，其特征在于，所述导轨承重框架(1)、夹板(2)、定位杆(4)，其材质是不锈钢或铝合金；所述缓冲垫(3)，其材质是橡胶或硅胶。
【专利摘要】本实用新型一种用于石英外套管安装的夹具，包括导轨承重框架、夹板、缓冲垫、定位杆，所述夹板包含滑动夹板和固定夹板；在所述导轨承重框架两侧边内侧设有凸型导轨，与此相对应的夹板两侧边设有凹型导槽，所述凸型导轨与凹型导槽紧密贴合，使滑动夹板沿导轨滑动自如；所述定位杆穿过导轨承重框架的无凸型导轨侧边中心处的定位杆孔，定位杆顶端与滑动夹板一端为固定连接；所述定位杆为圆柱结构，在其表面有调位螺纹并装有两颗定位螺母，通过调节调位螺纹可调整滑动夹板所处位置，通过锁紧定位螺母可固定滑动夹板所处位置；所述缓冲垫牢靠贴合于滑动夹板、固定夹板内侧的U型弧面上。本实用新型的夹具可提高安装的准确度和便利性。
【IPC分类】B25B11/02
【公开号】CN205057874
【申请号】CN201520798181
【发明人】莫国杰, 王健辉, 刘鹏, 童玉珍, 张国义
【申请人】东莞市中镓半导体科技有限公司
【公开日】2016年3月2日
【申请日】2015年10月15日