专利名称：液体喷射头、液体喷射头单元以及液体喷射装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及从喷嘴喷射液体的液体喷射头、液体喷射头单元以及液体喷射装置。
背景技术：
以往，公知有通过压电元件对液体提供压力来从喷嘴喷出液滴的液体喷射头，其中，所述压电元件通过施加电压而变形，作为所述液体喷射头的代表例公知有从喷嘴喷出墨滴的喷墨式记录头。作为这样的喷墨式记录头公知例如下述的喷墨式记录头，该记录头包括在一个面上接合穿设有多个喷嘴的喷嘴板并且分别与各喷嘴连通的多个压力产生室；各压力产生室的共用墨水室(manifold，岐管)；改变压力产生室内的压力来对喷嘴提供墨水喷出力的压电振子(压电元件)；以及设置在与共用墨水室相对的区域并吸收共用墨水室的液体的压力变动的阻尼用凹部(空间部)(例如，参照专利文献1)。在上述的喷墨式记录头中，为了防止阻尼用凹部内的压力降低，阻尼用凹部被构成为开放在大气中。因此，墨水中的水分从阻尼用凹部蒸发，墨水的粘度上升，由此有时会发生喷出不良。因此，通过使多个阻尼用凹部和开放通路连通并且形成施加了抑制水蒸气扩散的流路阻力的控制通路，由此抑制过量的水蒸气扩散。然而，随着对于墨水的高粘度化以及长时间维持良好的墨水喷出特性的需求，要求比以往进一步抑制液体成分的蒸发。这样的问题不仅存在于喷墨式记录头，同样存在于喷出液体的液体喷射头。本发明是鉴于这样的问题而完成的，其目的在于提供一种能够长期维持良好的喷出特性的液体喷射头、液体喷射头单元以及液体喷射装置。
发明内容
作为本发明的一个方式具有以下的液体喷射头。即，所述液体喷射头包括岐管形成基板，其具有多个歧管，所述歧管被构成为向与喷嘴连通的压力产生室供应液体；压电元件，其被构成为使所述压力产生室内的液体产生压力变化；密封基板，其具有振动部，所述振动部被构成为设置在与所述岐管相对的区域并且吸收所述岐管的液体的压力变动；头壳体，其具有容纳所述压电元件的压电元件容纳部；大气开放路径，其与大气开放口连通；以及空间部，其设置在所述振动部上，并且经由其他空间部与所述大气开放路径连通。本发明的其他方式是具有以下构成的液体喷射装置。即，具有上述的液体喷射头或液体喷射头单元的液体喷射装置。
图1是涉及本发明的 一个实施方式的喷墨式记录头的截面图；图2是涉及本发明的一个实施方式的喷墨式记录头壳体的底面图；图3的(a)和(b)是涉及本发明的一个实施方式的喷墨式记录头的主要部分的截面图；图4是涉及本发明的其他实施方式的喷墨式记录头壳体的底面图；图5是涉及本发明的其他实施方式的喷墨式记录头壳体的底面图；图6是涉及本发明的其他实施方式的喷墨式记录头壳体的底面图；图7是涉及本发明的一个实施方式的喷墨式记录装置的概要图。
具体实施例方式以下，参照附图详细说明本发明的一个实施方式。图1是喷墨式记录头的截面图。如图1 3所示，本实施方式的喷墨式记录头(以下简称为“记录头”)100包括 具有压力产生室11的流路形成基板10、穿设有与各压力产生室11连通的多个喷嘴21的喷嘴板20、以及与在流路形成基板10上的与喷嘴板20相反侧的面接合的振动部件(密封基板)15。另外，本实施方式的记录头100包括压电元件单元30，其具有多个压电元件35， 压电元件35被设置在振动部件15上的与各压力产生室11对应的区域；以及壳体40，经由振动部件15与流路形成基板10的一个面接合。另外，在本实施方式中，在流路形成基板10 上形成有成为各压力产生室11的共用液室的岐管13，流路形成基板10也成为了岐管形成基板。在流路形成基板10上，在其一面侧的表层部分，在其宽度方向上并列设置有多个压力产生室11，所述压力产生室11被隔壁划分。另外，在本实施方式中，由并列设置的多个压力产生室11构成的列形成有2列。另外，在各压力产生室11的列的外侧，每个经由壳体40的作为液体导入路径的墨水导入路径41来供应墨水的岐管13以在厚度方向贯穿流路形成基板10而分别地被设置。另外，岐管13和各压力产生室11经由墨水供应路径12被连通，经由墨水导入路径41、岐管13以及墨水供应路径12对各压力产生室11供应墨水。在本实施方式中，墨水供应路径12以比压力产生室11窄的宽度被形成，起到将从岐管13流入压力产生室11的墨水的流路阻力保持为固定的作用。并且，在压力产生室11的与岐管13相反的端部侧形成有贯穿流路形成基板10的喷嘴连通孔14。即，在本实施方式中，在流路形成基板10上作为液体流路而设有岐管13、 墨水供应路径12、压力产生室11、以及喷嘴连通孔14。如上所述的流路形成基板10在本实施方式中由单晶硅基板构成，设置在流路形成基板10上的上述压力产生室11、岐管13等通过对流路形成基板10进行蚀刻来形成。该流路形成基板10的一个面与喷嘴板20接合，在所述喷嘴板20上穿设有多个喷出墨水的喷嘴21，各喷嘴21经由设置在流路形成基板10的喷嘴连通孔14与各压力产生室 11连通。另外，流路形成基板10的另一个面、即压力产生室11的开口面上与振动部件15 接合，各压力产生室11通过该振动部件15被密封。另外，振动部件15如图所述具有与流路形成基板10的另一个面的面积相同程度的面积，并以覆盖流路形成基板10的另一个面整体的方式被接合。该振动部件15由弹性膜15a和支承该弹性膜15a的支承板15b的复合板形成，其中，弹性膜15a由例如树脂薄膜等弹性部件构成，支承板15b由例如金属材料等构成，并且， 弹性膜15a侧与流路形成基板10接合。在本实施方式中，弹性膜15a由厚度为几μπι左右的聚苯硫醚(PPS)薄膜构成，支承板15b由厚度为几十μ m左右的不锈钢板(SUS)构成。另外，该振动部件15的与各压力产生室11的周边部相对的区域为薄壁部15d，所述薄壁部15d是去除支承板15b后实质上只由弹性膜15a构成的。该薄壁部15d构成压力产生室11的一面。另外，该薄壁部15d的内侧分别设有岛部15c，所述岛部15c由与各压电元件35的顶端抵接的、支承板15b的一部分构成。另外，振动部件15的与岐管13相对的区域为振动部16，所述振动部16是去除支承板15b后只由弹性膜15a构成的。换言之，在振动部件15的与岐管13相对的区域中去除支承板15b，从而设置有第1空间部17。该振动部16起到当在岐管13内产生了压力变化时吸收压力变动而将岐管13内的压力始终保持固定的作用。并且，在该振动部件15上接合壳体40。即，本实施方式的壳体40经由振动部件 15与流路形成基板10接合。在壳体40中，如图1所示，在与第1空间部17相对的区域设置有第2空间部42，第2空间部42具有不阻碍振动部16的变形的程度的高度。如上所述， 在本实施方式中，在与岐管13相对的区域设置有由第1空间部17以及第2空间部42构成的空间部60。对于空间部60后面详细叙述，所述空间部60与设置在壳体40的上表面的大气开放口连通并被向外部空间开放。由此，空间部60(第1空间部17以及第2空间部42) 内的压力始终与外部空间保持不变。另外，在压电元件容纳部43的墨水导入路径41侧设有阶梯部45，后述的压电元件单元30的固定基板36与该阶梯部45接合。另外，在壳体40的与流路形成基板10侧相反侧的面固定有布线基板70，在所述布线基板70上设有多个导电片(conductive pad) 71，所述多个导电片71分别与后述的柔性印刷基板50的各布线层51连接。在布线基板70中，在与壳体40的压电元件容纳部43 相对的区域形成有狭缝状的开口部72，压电元件容纳部43通过该开口部72与外部空间连通。并且，该压电元件容纳部43内容纳有具有压电元件35的压电元件单元30。压电元件单元30与各压力产生室11相对设置，由多个压电元件35和固定基板36 构成，其中所述多个压电元件35改变包括压力产生室11和岐管13的液体流路内的压力， 并且所述固定基板36将该压电元件35安装到壳体40。各压电元件35在本实施方式中在一个压电元件单元30中被一体地形成。S卩，形成压电元件形成部件34，并通过将该压电元件形成部件34与各压力产生室11对应地切开为梳齿状来形成各压电元件35，其中所述压电元件形成部件34是将压电材料31和电极形成材料32、33在纵向上交替地以夹成三明治形状层积而成。也就是说，在本实施方式中，多个压电元件35被一体地形成。并且，压电元件35的顶端部通过粘接剂与振动部件15的岛部15c接合，并且在作为不有助于振动的非活动区域的根端部侧被粘合到固定基板36上。 如上所述，粘合有压电元件35的固定基板36在压电元件容纳部43的阶梯部45与壳体40 接合。由此，压电元件单元30被容纳并固定在壳体40的压电元件容纳部43中。另外，通过如上所述的那样将固定基板36与压电元件35 —体地设置来构成压电元件单元30，并且压电元件单元30以位置确定的方式固定在壳体40上。此时，压电元件35相对于振动部件15(岛部15c)的位置匹配是通过固定基板36的外周面和壳体40的压电元件容纳部43的内表面来进行的。由此，与直接握住作为脆性材料的压电元件35进行位置匹配相比，能够容易且高精度地进行位置匹配。构成固定基板36的材料并不是被特别限定的，能够通过例如铝、铜、铁以及不锈钢等来恰当地构成固定基板36。并且，在该压电元件单元30的压电元件35的根端部附近， 在与固定基板36相反侧的面上连接有柔性印刷基板50，所述柔性印刷基板50具有布线层 51，所述布线层51提供用于驱动各压电元件35的信号。柔性印刷基板50由柔性印刷电路(FPC)、带载封装(TCP)等构成。具体来说，柔性印刷基板50是如下基板例如在聚酰亚胺等的带膜52的表面上通过铜薄等形成预定图案的布线层51，并以抗蚀剂等绝缘材料来覆盖布线层51的与同压电元件35连接的端子部等其他的布线连接的区域之外的区域。如上所述的柔性印刷基板50的布线层51在其根端部侧通过例如焊锡、各向异性导电材料等而与构成压电元件35的电极形成材料32、33连接。另一方面，各布线层51在其顶端部侧与设置在壳体40上的布线基板70的导电片 71电连接。柔性印刷基板50从该布线基板70的开口部72被向压电元件容纳部43的外侧引出，使被引出的区域弯曲并与导电片71连接。在如上所述的记录头100中，根据压电元件35以及振动部件15的变形来改变各压力产生室11的容积，由此从各喷嘴21喷出墨滴。具体来说，当从未图示的液体储存单元经由作为液体导入路径的墨水导入路径41对岐管13供应墨水时，经由墨水供应路径12对各压力产生室11分配墨水。并且，通过来自未图示的驱动电路的驱动信号对预定的压电元件35施加或解除电压，从而使压电元件35收缩或伸长，使压力产生室11产生压力变化，从而从喷嘴21喷出墨水。本实施方式的记录头100在与岐管13A、13B对应的区域分别设置空间部60A、60B。 在这里，利用图2以及图3的(a)和(b)，说明空间部60A、60B和连通到大气开放口的大气开放路径44之间的连通状态。图2是头壳体的底面图，图3的(a)和(b)是喷墨式记录头的主要部分的截面图。如图2所示，在头壳体40上，在与岐管13A、13B对应的区域分别设有第2空间部 42A、42B。并且，第2空间部42A和第2空间部42B通过空间部连通路径46连通。S卩，在本实施方式中，通过空间部连通路径46连通第2空间部42A和第2空间部42B。空间部连通路径46是连通各空间部的通路，在本实施方式中，通过去除壳体40的流路形成基板10侧的面的一部分而形成在壳体40的底面。本实施方式的空间部连通路径46在流路形成基板10、振动部件15以及壳体40的层积方向上设置在不与包含压力产生室11的流路重叠的位置上。具体来说，空间部连通路径46在各压力产生室11的并列设置方向上被设置在比第2空间部42以及压电元件容纳部43的两端部更靠外侧的区域。空间部连通路径46包括第1空间部连通路径46a和第2空间部连通路径46b构成，其中所述第1空间部连通路径46a与第2空间部42连续并且从各第2空间部42的长边方向的端部沿着压力产生室11的并列设置方向向外侧延伸，所述第2空间部连通路径46b 与第1空间部连通路径46a连续并沿着压力产生室11的长边方向延伸。通过这样的空间部连通路径46来连通各第2空间部42。在本实施方式中，空间部连通路径46形成在壳体 40的流路形成基板10侧的面上。即，空间部连通路径46作为凹部来设置在壳体40的流路形成基板10侧的面上。另外，第2空间部42B经由设置在振动部件15的大气连通路径18(图2中的虚线部分)与大气开放路径44连通。具体来说，第2空间部42B通过在与空间部连通路径46 连通侧的相反侧的端部与大气连通路径18连接，来与大气开放路径44连通。根据如上所述的构成，空间部60A(第1空间部17A以及第2空间部42A)成为经由空间部60B (第1空间部17B以及第2空间部42B)而与大气开放路径44连通的状态。大气连通路径18包括以围绕大气开放路径44的方式设置的第1大气连通路径 18a、与第1大气连通部18a连续并沿着压力产生室11的长边方向延伸的第2大气连通部 18b、与第2大气连通部18b连续并与第1空间部17连续的第3大气连通部18c构成。在本实施方式中，大气连通路径18形成在振动部件15的壳体40侧的面上。S卩，大气连通路径18作为凹部设置在振动部件15的壳体40侧的面上。另外，大气开放路径44以贯穿壳体40的方式设置，并与壳体40上表面的大气开放口连通。如上所述，空间部60B (第1空间部17B以及第2空间部42B)与大气开放路径44 连通，空间部60A(第1空间部17A以及第2空间部42A)经由空间部60B与大气开放路径 44连通。在本实施方式中，空间部60B相当于“一个空间部”、空间部60A相当于“其他空间部”。在本实施方式中，振动部16只由厚度为几ym左右的聚苯硫醚(PPS)薄膜构成。 因此，被容纳在岐管13内的墨水中的水等成分(以下称作“墨水成分”)可能透过振动部16 蒸发。然而，通过采用如上所述的构成，抑制岐管13A以及13B内的墨水成分的蒸发。在以往的构成中，振动部16上的空间部分别直接与大气开放路径44连通，空间部始终处于干燥状态，墨水成分容易透过并蒸发。然而，在本实施方式的构成中，能够使各空间部60成为比以往的空间部更湿润的状态，能够抑制岐管13内的墨水成分的蒸发。在本实施方式中，如图3所示，当岐管13A内的墨水成分向空间部60A蒸发时，蒸发掉的成分的一部分随着岐管13A的压力变化而经由空间部连通路径46被送到空间部 60B。另外，当岐管13B内的墨水成分向空间部60B蒸发时，蒸发掉的成分的一部分随着岐管13的压力变化经由大气连通路径18被送到大气开放路径44。如上所述，空间部60A没有与大气连通路径18直接连通，即与大气连通路径18间接连通，因此抑制成为与外部空间同样的干燥状态。由此，墨水成分不容易蒸发。另外，来自空间部60A的空气流入空间部60B。S卩，向空间部60B供应比较湿润的空气。由此，相比于只与大气开放路径44连接的情况，抑制干燥并且墨水成分不容易蒸发。如上所述，在本实施方式中，通过各空间部60成为比较湿润的状态，能够抑制与各空间部60对应的岐管13内的墨水成分的蒸发，从而能够抑制墨水的粘度的上升。因此， 在本实施方式的喷墨式记录头100中，能够长期维持良好的喷出特性，从而能够进行良好的印刷。另外，在本实施方式中，在与空间部60A对应的岐管13A上连接有储存容易蒸发的液体的液体源90A，在与空间部60B对应的岐管13B上连接有储存难以蒸发的液体的液体源90B。即，在与大气开放路径44上流侧的空间部60A对应的岐管13A上连接有储存容易蒸发的液体的液体源。通过在作为其他空间部的空间部60A连接容易蒸发的液体源90A，能够有效地抑制容易蒸发的液体成分的蒸发，其中，所述作为其他空间部的空间部60A是与作为一个空间部的空间部60B相比液体成分难以蒸发的空间部。(实施方式2)图4是实施方式2涉及的记录头的头壳体的底面图。对与实施方式1具有相同作用的部分标注相同标号，并省略重复说明。虽然未图示，但是本实施方式的记录头100具有4个岐管13，并在分别与其对应的区域设置有空间部601 (601A、601B、601C、601D)。该空间部601分别包括第1空间部171 (第 1 空间部 171A、171B、171C、171D)以及第 2 空间部 421 (第 2 空间部 421A、421B、421C、421D)。并且，头壳体401的各第2空间部421通过空间部连通路径461连通。即，在本实施方式中通过1个空间部连通路径461连通4个第2空间部421。另外，第2空间部421D经由设置在振动部件15的大气连通路径181 (图4中的虚线部分)与大气开放路径44连通。如上所述，空间部601D (第1空间部171D以及第2空间部421D)与大气开放路径 44连通。另外，空间部601A(第1空间部171A和第2空间部421A)、空间部601B (第1空间部171B和第2空间部421B)、空间部601C(第1空间部171C和第2空间部421C)经由空间部60ID与大气开放路径44连通。在本实施方式中，空间部60ID相当于“一个空间部”、 空间部601A、空间部601B、空间部601C相当于“其他空间部”，各空间部并列连通。在本实施方式的构成中，也与实施方式1的构成同样地能够使各空间部601成为比以往的空间部更湿润的状态，能够抑制岐管13内的墨水成分的蒸发。具体来说，空间部601A、空间部601B、空间部601C没有与大气连通路径181直接连通，即与大气连通路径181间接连通，因此抑制成为与外部空间同样的干燥状态。由此， 墨水成分不容易蒸发。另外，来自空间部601A、空间部601B、空间部601C的空气流入空间部601D。即，向空间部601D供应比较湿润的空气。由此，相比于只与大气开放路径44连接的情况，抑制干燥并且墨水成分不容易蒸发。如上所述，在本实施方式中，通过各空间部601成为比较湿润的状态，抑制与各空间部601对应的岐管13内的墨水成分的蒸发，从而能够抑制墨水的粘度上升。因此，在本实施方式的喷墨式记录头100中，能够长期维持良好的喷出特性，从而能够进行良好的印刷。另外，在如本实施方式这样的构成中，由于只要一个空间部与大气开放路径44连通即可，因此在具有多个岐管13以及与其对应的空间部的情况下，能够减少大气开放路径 44的数量，从而能够使喷墨式记录头100小型化。另外，在本实施方式中，在与空间部601A对应的岐管131A、与空间部601B对应的岐管131B、与空间部601C对应的岐管131C、与空间部601D对应的岐管131D上分别连接有储存最容易蒸发的液体的液体源901A、储存第二个容易蒸发的液体的液体源901B、储存第三个容易蒸发的液体的液体源901C、储存最不容易蒸发的液体的液体源901D。即，在与大气开放路径44上流侧的空间部601对应的岐管131上连接有储存容易蒸发的液体的液体源901。在本实施方式中，液体源901A储存黑色墨水、液体源901B储存品红色墨水、液体源 901C储存黄色墨水、液体源901D储存蓝色墨水。
通过在与大气开放路径44上流侧的空间部601对应的岐管131上连接储存容易蒸发的液体的液体源901，能够有效地抑制容易蒸发的液体成分的蒸发。(其他实施方式)以上，对本发明的一个实施方式进行了说明，但本发明包括结构或材质等不限于上述的实施方式。例如，如图5所示，当具有3个以上的岐管13时，即，当设置在与岐管13对应的区域的空间部有3个以上时，也可以设置多个空间部连通路径。另外，对于与实施方式2具有相同作用的部分标注相同标号并省略重复说明。如图5所示，第2空间部421A和第2空间部42IB通过空间部连通路径462连通。另外，第2空间部421C和第2空间部42ID通过空间部连通路径463连通。并且，第2空间部421B的与空间部连通路径462侧相反侧的端部和第2空间部421C的与空间部连通路径463侧相反侧的端部通过空间部连通路径464连通。在该情况下，也与实施方式2同样，空间部601D相当于“一个空间部”，空间部601A、空间部601B、空间部601C相当于“其他空间部”。在图5中，各空间部601串联连通。在图5 所示的构成中，也与实施方式2的构成同样地能够使各空间部601成为比以往的空间部更湿润的状态，能够抑制岐管13内的墨水成分的蒸发。另外，在实施方式2中，如图6所示，也可以使第2空间部421A以及第2空间部 421D分别经由大气连通路径182与大气开放路径44连通。在该情况下，空间部601A相当于“一个空间部”，空间部601B、空间部601C相当于“其他空间部”。另外，空间部601D相当于“一个空间部”，空间部601B、空间部601C相当于“其他空间部”。即，空间部601B、空间部 60IC经由空间部60IA或者空间部60ID与大气开放路径44连通。在图6所示的构成中，也与实施方式2的构成同样地能够使各空间部601成为比以往的空间部更湿润的状态，能够抑制岐管13内的墨水成分的蒸发。另外，也可以将大气连通路径设置成蛇形，进一步抑制岐管内的液体成分的蒸发。 另外，也可以通过设置细的大气连通路径，进一步抑制岐管内的液体成分的蒸发。另外，在上述实施方式中，岐管与储存不同颜色的墨水的液体源连接，但是并不限于此，也可以例如使液体源全部储存相同颜色的墨水。另外，在上述实施方式中，空间部连通路径46、461设置在了壳体40的流路形成基板10侧的面上，但是也可以例如设置在振动部件15的支承板15b的壳体40侧的面上。艮口， 也可以去除支承板15b的一部分，使各第1空间部17连通，将该凹部作为空间部连通路径。在上述实施方式中，大气连通路径18、181被设置在振动部件15的壳体40侧的面上，然而，也可以例如设置在壳体40的流路形成基板10侧的面上。即，可以去除壳体40的一部分，使各第2空间部42连通，将该凹部作为大气连通路径。另外，在上述的实施方式中，在壳体40的与第1空间部17对应的区域上设置了第 2空间部42，然而也可以在与壳体40对应的区域设置第2空间部42。在该情况下，可以在振动部件15设置空间部连通路径。在上述实施方式中，流路形成基板10兼做岐管形成基板，然而，也可以独立地构成流路形成基板10和岐管形成基板。在上述实施方式中，构成振动部件15的一部分的弹性膜15a由PPS薄膜构成，振动部16为PPS薄膜，然而，也可以由聚乙烯等其他的树脂材料构成，也可以由其他薄膜材料构成。另外，在上述的实施方式中，以具有纵向振动型的压电元件的记录头为例进行了说明，所述纵向振动型的压电元件将压电材料和电极形成材料相互交替地层叠并使其在轴向上伸缩。然而，本发明并不限于此，在例如具有厚膜型的压电元件的喷墨式记录头、或者具有通过溶胶_凝胶法、MOD法、溅射法等来形成的压电材料的薄膜型的压电元件的记录头中，也可以获得同样的效果。这些各实施方式的喷墨式记录头构成具有与墨盒等连通的墨水流路的记录头单元的一部分，并被安装在喷墨式记录装置上。图7是示出该喷墨式记录装置的一个例子的概要图。如图7所示，在具有喷墨式记录头的记录头单元IA以及IB上可装卸地设置有构成墨水供应单元的墨盒2A以及2B，并且搭载有该记录头单元IA以及IB的托架3以能够沿轴方向自由移动的方式设置在托架轴5上，所述托架轴5被安装在装置主体4上。该记录头单元IA以及IB设为例如分别喷射黑色墨水组成物以及彩色墨水组成物。并且，通过使驱动马达6的驱动力经由未图示的多个齿轮以及定时带7传递到托架3，搭载有记录头单元IA以及IB的托架3沿着托架轴5移动。另一方面，在装置主体4 上沿着托架轴5设置有压纸卷轴8，记录片材S卷绕在压纸卷轴8上来被运送，所述记录片材S是通过未图示的供纸辊等提供的纸张等记录介质。在图7所示的例子中，假设喷墨式记录头单元1A、1B分别具有1个喷墨式记录头， 然而，并不是特别限于此，例如也可以为1个喷墨式记录头单元IA或IB具有2个以上的喷墨式记录头。另外，在上述的实施方式中，作为液体喷射头以及液体喷射装置而举例说明了喷墨式记录头以及喷墨式记录装置，然而，本发明广泛地以所有液体喷射头以及液体喷射装置作为对象，因此当然也能够适用于喷射墨水以外的液体的液体喷射头以及具有该液体喷射头的液体喷射装置。作为其他液体喷射头，例如可以列举用于打印机等图像记录装置中的各种记录头、用于液晶显示器等的彩色滤波器的制造中的色料喷射头、用于有机EL显示器、FED(场发射显示器)等的电极形成中的电极材料喷射头、用于生物芯片制造中的生物有机物喷射头等。
权利要求
1.一种液体喷射头，包括岐管形成基板，其具有多个歧管，所述歧管被构成为向与喷嘴连通的压力产生室供应液体；压电元件，其被构成为使所述压力产生室内的液体产生压力变化； 密封基板，其具有振动部，所述振动部被构成为设置在与所述岐管相对的区域并且吸收所述岐管的液体的压力变动；头壳体，其具有容纳所述压电元件的压电元件容纳部； 大气开放路径，其与大气开放口连通；以及空间部，其被设置在所述振动部上，并且经由其他空间部与所述大气开放路径连通。
2.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，所述其他空间部通过形成在所述头壳体的所述岐管形成基板侧的面上或所述密封基板的所述头壳体侧的面上的空间部连通路径与所述一个空间部连通。
3.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，所述大气开放路径形成在所述头壳体的所述岐管形成基板侧的面上或者所述密封部件的所述头壳体侧的面上。
4.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，所述的液体喷射头具有2个以上的所述其他空间部，并且各空间部串联连通。
5.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，所述的液体喷射头具有2个以上的所述其他空间部，并且各空间部并列连通。
6.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，在越是与所述大气开放路径上流侧的空间部对应的岐管上连接有储存越容易蒸发的液体的液体源。
7.一种液体喷射头单元，具有权利要求1所述的液体喷射头。
8.一种液体喷射装置，具有权利要求1所述的液体喷射头。
9.一种液体喷射装置，具有权利要求7所述的液体喷射头单元。
全文摘要
本发明涉及液体喷射头、液体喷射头单元以及液体喷射装置。所述液体喷射头包括岐管形成基板，其具有多个歧管，所述歧管被构成为向与喷嘴连通的压力产生室供应液体；压电元件，其被构成为使所述压力产生室内的液体产生压力变化；密封基板，其具有振动部，所述振动部被构成为设置在与所述岐管相对的区域并且吸收所述岐管的液体的压力变动；头壳体，其具有容纳所述压电元件的压电元件容纳部；大气开放路径，其与大气开放口连通；以及空间部，其设置在所述振动部上，并且经由其他空间部与所述大气开放路径连通。
文档编号B41J2/14GK102218920SQ2011100837
公开日2011年10月19日 申请日期2011年3月30日 优先权日2010年3月30日
发明者富樫勇 申请人:精工爱普生株式会社